JP2015133487A - 小型smdダイオードパッケージおよびその製造プロセス - Google Patents

小型smdダイオードパッケージおよびその製造プロセス Download PDF

Info

Publication number
JP2015133487A
JP2015133487A JP2014260789A JP2014260789A JP2015133487A JP 2015133487 A JP2015133487 A JP 2015133487A JP 2014260789 A JP2014260789 A JP 2014260789A JP 2014260789 A JP2014260789 A JP 2014260789A JP 2015133487 A JP2015133487 A JP 2015133487A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diode
circuit board
package
electrode
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014260789A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6125486B2 (ja
Inventor
連清宏
Ching-Hohn Lien
黄興祥
Xing-Xiang Huang
黄興材
Hsing-Tsai Huang
許鴻宗
hong-zong Xu
陳逸偉
Yi-Wei Chen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LEADER WELL Tech Co Ltd
Original Assignee
LEADER WELL Tech Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LEADER WELL Tech Co Ltd filed Critical LEADER WELL Tech Co Ltd
Publication of JP2015133487A publication Critical patent/JP2015133487A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6125486B2 publication Critical patent/JP6125486B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/93Batch processes
    • H01L24/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • H01L24/97Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof  ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/86Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
    • H01L29/861Diodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/48Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
    • H01L21/4814Conductive parts
    • H01L21/4846Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
    • H01L21/4853Connection or disconnection of other leads to or from a metallisation, e.g. pins, wires, bumps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/48Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
    • H01L21/4814Conductive parts
    • H01L21/4846Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
    • H01L21/4867Applying pastes or inks, e.g. screen printing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/561Batch processing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/565Moulds
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H01L21/7806Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices involving the separation of the active layers from a substrate
    • H01L21/7813Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices involving the separation of the active layers from a substrate leaving a reusable substrate, e.g. epitaxial lift off
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02Containers; Seals
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/13Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/14Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
    • H01L23/15Ceramic or glass substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49805Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers the leads being also applied on the sidewalls or the bottom of the substrate, e.g. leadless packages for surface mounting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49833Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers the chip support structure consisting of a plurality of insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/93Batch processes
    • H01L24/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • H01L24/96Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being encapsulated in a common layer, e.g. neo-wafer or pseudo-wafer, said common layer being separable into individual assemblies after connecting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0655Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/11Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K1/117Pads along the edge of rigid circuit boards, e.g. for pluggable connectors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/14Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/144Stacked arrangements of planar printed circuit boards
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/14Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/145Arrangements wherein electric components are disposed between and simultaneously connected to two planar printed circuit boards, e.g. Cordwood modules
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/403Edge contacts; Windows or holes in the substrate having plural connections on the walls thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/06Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
    • H01L2224/061Disposition
    • H01L2224/0618Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
    • H01L2224/06181On opposite sides of the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/27Manufacturing methods
    • H01L2224/273Manufacturing methods by local deposition of the material of the layer connector
    • H01L2224/2731Manufacturing methods by local deposition of the material of the layer connector in liquid form
    • H01L2224/27312Continuous flow, e.g. using a microsyringe, a pump, a nozzle or extrusion
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/27Manufacturing methods
    • H01L2224/273Manufacturing methods by local deposition of the material of the layer connector
    • H01L2224/2731Manufacturing methods by local deposition of the material of the layer connector in liquid form
    • H01L2224/2732Screen printing, i.e. using a stencil
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29199Material of the matrix
    • H01L2224/29294Material of the matrix with a principal constituent of the material being a liquid not provided for in groups H01L2224/292 - H01L2224/29291
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29299Base material
    • H01L2224/293Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29301Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of less than 400°C
    • H01L2224/29311Tin [Sn] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29299Base material
    • H01L2224/293Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29338Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29339Silver [Ag] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29299Base material
    • H01L2224/293Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29338Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29344Gold [Au] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29299Base material
    • H01L2224/293Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29338Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29347Copper [Cu] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29299Base material
    • H01L2224/293Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29338Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29355Nickel [Ni] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29299Base material
    • H01L2224/293Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29363Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
    • H01L2224/29364Palladium [Pd] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/29001Core members of the layer connector
    • H01L2224/29099Material
    • H01L2224/29198Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • H01L2224/29298Fillers
    • H01L2224/29299Base material
    • H01L2224/293Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/29363Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
    • H01L2224/29369Platinum [Pt] as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32153Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • H01L2224/32155Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being arranged next to each other, e.g. on a common substrate the item being non-metallic, e.g. being an insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/32168Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being arranged next to each other, e.g. on a common substrate the item being non-metallic, e.g. being an insulating substrate with or without metallisation the layer connector connecting to a bonding area protruding from the surface of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/32227Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the layer connector connecting to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/33Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors
    • H01L2224/331Disposition
    • H01L2224/3318Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
    • H01L2224/33181On opposite sides of the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/831Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
    • H01L2224/83101Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus as prepeg comprising a layer connector, e.g. provided in an insulating plate member
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • H01L2224/83191Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • H01L2224/83192Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/838Bonding techniques
    • H01L2224/83801Soldering or alloying
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/838Bonding techniques
    • H01L2224/8385Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
    • H01L2224/83851Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester being an anisotropic conductive adhesive
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/93Batch processes
    • H01L2224/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • H01L2224/97Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/27Manufacturing methods
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L24/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L24/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L24/33Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of a plurality of layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0652Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next and on each other, i.e. mixed assemblies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1203Rectifying Diode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1203Rectifying Diode
    • H01L2924/12032Schottky diode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1203Rectifying Diode
    • H01L2924/12035Zener diode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/12Passive devices, e.g. 2 terminal devices
    • H01L2924/1203Rectifying Diode
    • H01L2924/12036PN diode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/156Material
    • H01L2924/15786Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
    • H01L2924/15787Ceramics, e.g. crystalline carbides, nitrides or oxides
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/156Material
    • H01L2924/1579Material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/156Material
    • H01L2924/15798Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation
    • H01L2924/186Material

Abstract

【課題】小型SMDダイオードパッケージを提供すること。【解決手段】小型SMDダイオードパッケージは、底面が正電極および負電極を有するダイオードチップを使用すること、パッケージング中に従来のリードフレームの代わりに回路基板を使用すること、ならびに、チップボンディングを行うために電荷結合デバイス(CCD)画像登録技術を使用することを含む。同小型SMDダイオードパッケージを製造するためのプロセスによってもたらされる有益な利点は、製造プロセスを簡略化し、製作費を低減すること、従来使用されているリードフレームの代わりに回路基板を使用することによって、小型SMDダイオードパッケージを製造する際の精度および精密度を改良すること、ならびに、製造された小型SMDダイオードパッケージが、歪みまたは欠陥なく、確実に優れたダイオード特性を備えるようにすることを含む。【選択図】なし

Description

本発明は、表面実装デバイス(SMD)ダイオードパッケージに関し、より詳細には、従来のリードフレームの代わりに使用される回路基板を有する小型SMDダイオードパッケージ、および、その製造プロセスに関する。
ICまたは半導体パッケージ(あるいはICデバイスと呼ばれる)を作るための所定のプロセスにおいて、従来、リードフレームは、ICまたは半導体ダイ(あるいはICチップと呼ばれる)を保持し、さらに、エポキシ樹脂のパッケージを行う前に、ICチップとの電気接続を行うために使用され、ICデバイスとして形成される。
パッケージ後のリードフレームは、ICデバイスの内部電極の役割を果たし、さらに、同ICデバイスのための外部電極として働くように外部に露出したピン(または接触点)を有する。従って、ICデバイスを、いわゆるリードフレームから形成された外部電極を介して印刷回路基板(PCB)に接続可能であり、ICチップからPCBまで、そしてその逆にも、使用可能な機能を送ることが可能である。
従って、リードフレームはICチップをパッケージするための必須の要素である。機能、使用、形状および/またはサイズがどのようなものを備えるICチップにも応じて、さまざまな異なるリードフレームが、それらICチップをパッケージする際の使用のために設計される。
小型SMDダイオードパッケージを一例として挙げると、小型ダイオードパッケージはチップスケールのようなパッケージサイズを有するため、小型ダイオードチップが精確かつ精密にいわゆるリードフレーム上に設置可能であることはほとんどない。ダイオードチップのためのリードフレームよるパッケージが精確でない場合、ゆがみ、さらには破損に至るという不可避の問題がある。
従って、ダイオードチップのための内部電極として、さらには外部電極としての役割を果たすリードフレームを使用する従来のパッケージング方法は、小型SMDダイオードパッケージを製造する際の使用に適切に適用されない。
上記を考慮して、小型SMDダイオードパッケージの既存のパッケージングプロセスを改良するために、本発明は、底面が正電極および負電極を有するダイオードチップを使用すること、パッケージング中に従来のリードフレームの代わりに回路基板を使用すること、ならびに、チップボンディングを行うために電荷結合デバイス(CCD)画像登録技術を使用することを含む、小型SMDダイオードパッケージを製造するためのプロセスを開示する。
小型SMDダイオードパッケージを製造するための開示されたプロセスによってもたらされる有益な利点は以下である。
1.製造プロセスを簡略化し、製作費を低減すること。
2.従来使用されているリードフレームの代わりに回路基板を使用することによって、小型SMDダイオードパッケージを製造する際の精度および精密度を改良すること。
3.製造された小型SMDダイオードパッケージが、歪みまたは欠陥なく、確実に優れたダイオード特性を備えるようにすること。
4.いっそう小型のSMD電子デバイスをより適切に製造すること。
本発明のSMDのダイオードチップパッケージを示す概略図である。 本発明の配列型SMDダイオードチップパッケージの別の実施形態を示す概略図である。 1つまたは複数のダイオードチップとの電気接続を行うために、従来使用されているリードフレームの代わりに回路基板を使用するパッケージングプロセスの過程における、図1または図2のSMDダイオードチップパッケージを示す図である。 本発明のSMDダイオードチップパッケージの第1または第2の実施形態を製造するためのフローチャートである。 本発明のSMDダイオードチップパッケージの第1の実施形態の製造法を示す説明図である。 本発明のSMDダイオードチップパッケージの第2の実施形態の製造法を示す説明図である。 本発明のSMDダイオードチップパッケージの第3または第4の実施形態を製造するためのフローチャートである。 本発明のSMDダイオードチップパッケージの第3の実施形態の製造法を示す説明図である。 本発明のSMDダイオードチップパッケージの第4の実施形態の製造法を示す説明図である。
図1および図3を参照する。本発明のSMDダイオードチップパッケージ10は、チップスケールのような全体のパッケージサイズで小型化され、2つの端部に外部電極80a、80bがそれぞれ形成されているダイオードパッケージとして、本明細書において定義されている。
SMDダイオードチップパッケージ10は、単一ダイオードチップ30でパッケージされ、かつ、従来使用されているリードフレームの代わりに回路基板を使用すること、いわゆるリードフレームから延在した外ピンを含まないこと、および、優れたダイオード特性を備えることを含む3つの基本的特徴を有する。
本発明のSMDダイオードチップパッケージ10は、以下のように記載される4つの実施形態を含む。
本発明の第1の実施形態として形成された図1、図3および図5を参照する。ダイオードパッケージ10aは、ダイオードチップ30a、底面回路基板50、2つの回路電極56a、56b、カプセル封じ75、および、2つの外部電極80a、80bで構成される。
電気接続の機能を有するダイオードチップ30aは、その底面に、それぞれ正電極および負電極の役割を果たす2つの下部電極31を備えている。
回路電極56a、56bは、底面回路基板50上に別個に置かれ、それぞれダイオードチップ30aの対応する下部電極31に対応しかつ電気的に接続する。
カプセル封じ75は底面回路基板50に取り付けられ、一体構造として底面回路基板50と一体化されることで、ダイオードチップ30aおよび回路電極56a、56bが中に含まれ、回路電極56a、56bはそれぞれの1端部が、カプセル封じ75の端部まで延在しかつ当該端部に触れている。
外部電極80a、80bはそれぞれ、カプセル封じ75および底面回路基板50によって形成された一体構造の1端部を覆い、それぞれは、対応する回路電極56a、56bそれぞれに電気的に接続される。
本発明の第2の実施形態として形成された図6を参照する。ダイオードパッケージ10bは、前述のダイオードパッケージ10a上に与えられた全ての基本構造を含み、さらに、カプセル封じ75の上面に取り付けられた上部カバー53を有し、カプセル封じ75および底面回路基板50と共に、一体構造を形成する。
従って、外部電極80a、80bはそれぞれ、上部カバー53、カプセル封じ75および底面回路基板50によって形成された一体構造の1端部を覆い、それぞれは、対応する回路電極56a、56bそれぞれに電気的に接続されている。
本発明の第3の実施形態として形成された図1、図3および図8を参照する。ダイオードパッケージ10cは、3つの電極を有するダイオードチップ30b、底面回路基板50、2つの回路電極56a、56b、上面回路基板60、上部回路電極66a、カプセル封じ75、および、2つの外部電極80a、80bで構成されている。
電流容量を増やすダイオードチップ30bは、その底面に、それぞれ正電極および負電極の役割を果たす2つの下部電極31を備えており、かつ、その上面に、正電極または負電極の役割を果たす高位の電極32を備えている。
回路電極56a、56bは、底面回路基板50上に別個に置かれ、それぞれダイオードチップ30bの対応する下部電極31に対応しかつ電気的に接続する。
上部回路電極66aは上面回路基板60上に置かれ、ダイオードチップ30bの高位の電極32に対応しかつ電気的に接続する。
カプセル封じ75は底面回路基板50と上面回路基板60との間に取り付けられ、かつ、一体構造としてそれらと一体化されることで、ダイオードチップ30b、回路電極56a、56b、および、上部回路電極66aが全て中に含まれ、回路電極56a、56bおよび上部回路電極66aは、それぞれの1端部が、カプセル封じ75の端部まで延在しかつ当該端部に触れている。
外部電極80a、80bはそれぞれ、底面回路基板50、カプセル封じ75、および、上面回路基板60によって形成された一体構造の1端部を覆い、それぞれは、対応する回路電極56a、56bに電気的に接続され、それらのうちの1つはさらに、上部回路電極66aに電気的に接続されている。
本発明の第4の実施形態として形成された図1、図3および図9を参照する。ダイオードパッケージ10dは、4つの電極を有するダイオードチップ30c、底面回路基板50、2つの回路電極56a、56b、上面回路基板60、2つの上部回路電極66a、66b、カプセル封じ75、および、2つの外部電極80a、80bで構成されている。
電流容量を増やすダイオードチップ30cは、それぞれ、その底面に、正電極および負電極の役割を果たす2つの下部電極31を備えており、その上面に、正電極および負電極の役割を果たす2つの高位の電極32を備えている。
回路電極56a、56bは、底面回路基板50上に別個に置かれ、それぞれダイオードチップ30cの対応する下部電極31に対応しかつ電気的に接続する。
上部回路電極66a、66bは上面回路基板60上に別個に置かれ、それぞれは、ダイオードチップ30cの対応する高位の電極32に対応しかつ電気的に接続する。
従って、外部電極80a、80bはそれぞれ、底面回路基板50、カプセル封じ75、および、上面回路基板60によって形成された一体構造の1端部を覆い、それぞれは、対応する回路電極56a、56b、および、対応する上部回路電極66a、66bにそれぞれ電気的に接続される。
図2を参照する。配列型SMDダイオードチップパッケージ20(ダイオードアレイパッケージ20とも略される)が、1アレイに分離されかつ配置される2つ以上のダイオードチップ30a、30bまたは30cでパッケージされることで形成される本発明の別の代替実施形態が開示されている。
ダイオードアレイパッケージ20は、開示されている前述のSMDダイオードチップパッケージ10のような下部構造を有し、この基本構造は、少なくとも、底面回路基板50、2つ以上のダイオードチップ30a、30bまたは30cを入れるためのカプセル封じ75、および、対応するダイオードチップ30a、30bまたは30cにそれぞれ電気的に接続された外部電極80a、80bの2つ以上の対を含む。
例えば、第1のダイオードアレイパッケージ20は、それぞれが2つの下部電極31を有する2つの同一のダイオードチップ30aを入れるための1つのカプセル封じ75を有し、底面回路基板50には回路電極56aおよび56bの2つの対が置かれており、各対は、各対応するダイオードチップ30aの対応する下部電極31にそれぞれ対応し、かつ、電気的に接続し、外部電極80aおよび80bの各対は、それぞれ対応するダイオードチップ30aに対応し、カプセル封じ75の2つの対向する端部上に別個に配置され、回路電極56aおよび56bの各対応する対にそれぞれ電気的に接続する。
同様に、第2のダイオードアレイパッケージ20は、2つの同一のダイオードチップを入れるための1つのカプセル封じ75を有する。2つの同一のダイオードチップのそれぞれは、3つの電極を有するダイオードチップ30b(または4つの電極を有するダイオードチップ30c)から選択される。
ダイオードアレイパッケージ20はさらに、上部回路電極66a(または上部回路電極66a、66bの対)が置かれた上面回路基板60を有し、前記上部回路電極66a(または前記上部回路電極66aおよび66bの対)は、それぞれ、各対応するダイオードチップ30b(または30c)の対応する高位の電極32に対応し、かつ、電気的に接続する。そして、外部電極80aおよび80bの各対は、各対応するダイオードチップ30b(または30c)に対応し、カプセル封じ75の2つの対向する端部上に別個に配置され、回路電極56aおよび56bの各対応する対、ならびに、前記対応する上部回路電極66a(または前記上部回路電極66aおよび66bの対)にそれぞれ電気的に接続する。
図1、図2および図3を参照する。本発明の小型SMDダイオードチップパッケージ10またはダイオードアレイパッケージ20を製造するためのプロセスは、SMDダイオードパッケージを作るための既存のパッケージングプロセスとは非常に異なる以下の特定の特徴を有する。
1.パッケージングプロセスの過程で、パッケージングのために従来使用されているリードフレームの代わりに底面回路基板50が使用される。
2.図3を参照すると、底面回路基板50には、1アレイに分離されかつ配置される複数の薄膜または厚膜回路55(以降、配列膜回路55という)が置かれており、底面回路基板50上で互いに分離しかつ互いに隣接する位置に位置する2つの配列膜回路55は、以降、2つの間隔があけられた配列膜回路56という。
3.ペーストを施すプロセスは、底面回路基板50の各配列膜回路55の2つの端部上でCCD画像登録を使用して行われ、それによって、無鉛の導体ペースト40は、その所定の場所に精確につけられかつ施される。
4.チップボンディングプロセスは、CCD画像登録を使用して行われ、それによって、図3に示されるように、小型ダイオードチップ30は、底面回路基板50の2つの間隔をあけられた配列膜回路56の1つの対応する端部を精確に配列したその底部表面上に既に形成されているそれ自体の正電極および負電極を有することが可能である。さらに詳細には、対応する位置で被覆された無鉛の導体ペースト40によって、2つの間隔をあけられた配列膜回路56との電気接続を行うことによるダイオードチップ30の正電極および負電極には、短絡の危険性はない。
図4および図5を参照する。本発明の第1の実施形態の小型SMDダイオードパッケージ10aを製造するためのプロセスは、
A1.正電極および負電極の役割を果たす2つの下部電極31を備える底面を有するダイオードチップ30aを前もって製造するステップと、
A2.配列膜回路55を有する底面回路基板50を前もって製造するステップと、
A3.底面回路基板50の各配列膜回路55の2つの端部に対して無鉛の導体ペースト40をつけるまたは施すために、CCD画像登録によってペーストを施すステップと、
A4.図3に示されるように、底面回路基板50の2つの間隔があけられた配列膜回路56の2つの対向する対応端部ごとを既定の接続端子とし、かつ、ダイオードチップ30aの2つの下部電極31を、無鉛の導体ペースト40によって底面回路基板50の既定の接続端子に確実にかつ電気的に接続できるようにするために、CCD画像登録によってチップボンディングを行うステップと、
A5.全てのダイオードチップ30aおよび全ての配列膜回路55を入れるための絶縁パッケージ70のパッケージングを行うステップであって、チップボンディング後、底面回路基板50上にパッケージされた絶縁材料を使用することによって行われる、パッケージングを行うステップと、
A6.CCD画像登録によって底面回路基板50の全ての配列膜回路55上で切線73を画成し、かつ、切線73に沿って絶縁パッケージ70および底面回路基板50を切断することによって半製品のダイオードパッケージ15aを達成するようにして、底面回路基板50上に置かれた全ての配列膜回路55を、2つの別個の回路電極に切断できるようにする、すなわち、半製品のダイオードパッケージ15aが、ダイオードチップ30aと、底面回路基板50と、配列膜回路55を切断することによって形成された2つの回路電極56a、56bと、絶縁パッケージ70を切断することによって形成されたカプセル封じ75とで構成されるステップと、
A7.半製品のダイオードパッケージ15aの2つの端部上に外部電極80a、80bを形成するために、被覆プロセス、銀浸漬プロセス、または、製膜プロセスを行い、かつ、第1の実施形態のダイオードパッケージ10aを達成するために、外部電極80a、80bを対応する回路電極56a、56bに電気的に接続させるステップと、
を含む。
図4および図6を参照する。本発明の第2の実施形態の小型SMDダイオードパッケージ10bを製造するためのプロセスは、
B1.ステップA1と同じステップと、
B2.ステップA2と同じステップと、
B3.ステップA3と同じステップと、
B4.ステップA4と同じステップと、
B5.ステップA5と同じステップと、
B6.絶縁パッケージ70の硬化表面上に接着剤層45を被覆し、かつ、その上に上部カバー53を覆うステップと、
B7.ステップA6と同様のステップであって、ダイオードチップ30aと、底面回路基板50と、配列膜回路55を切断することによって形成された2つの回路電極56a、56bと、絶縁パッケージ70および上部カバー53を切断することによって形成されたカプセル封じ75とで構成される半製品のダイオードパッケージ15bを達成するステップと、
B8.ステップA7と同様のステップであって、半製品のダイオードパッケージ15bの2つの端部上に外部電極80a、80bを作り、第2の実施形態のダイオードパッケージ10bを達成するステップと、
を含む。
図7〜図9を参照する。本発明の第3(または第4)の実施形態の小型SMDダイオードパッケージ10c(または10d)を製造するためのプロセスは、
C1.底面が2つの下部電極31を備え、上面が高位の電極32(または2つの高位の電極32)を備えたダイオードチップ30b(または30c)を前もって製造するステップと、
C2.配列膜回路55が上に置かれた底面回路基板50、および、配列膜回路65が上に置かれた上面回路基板60を前もって製造するステップと、
C3.底面回路基板50の各配列膜回路55の2つの端部に対して無鉛の導体ペースト40をつけるまたは施すために、CCD画像登録によってペーストを施すステップと、
C4.ダイオードチップ30b(または30c)の2つの底部回路31を、ステップC3の無鉛の導体ペースト40によって底面回路基板50の既定の接続端子に確実にかつ電気的に接続できるように、CCD画像登録によってチップボンディングを行うステップと、
C5.ダイオードチップ30b(または30c)の高位の電極32ごとに無鉛の導体ペースト40をつけるまたは施すために、CCD画像登録によってペーストを施すステップと、
C6.CCD画像登録によって上面回路基板60で覆って、上面回路基板60の既定の接続端子を、ステップC5の無鉛の導体ペースト40によってダイオードチップ30b(または30c)の高位の電極32に精確に接続できるようにするステップと、
C7.全てのダイオードチップ30b(または30c)および全ての配列膜回路55および65を入れるための絶縁パッケージ70のパッケージングを行うステップであって、チップボンディング後、底面回路基板50と上面回路基板60との間の空間に対してパッケージされた絶縁材料を使用することによって行われる、パッケージングを行うステップと、
C8.CCD画像登録によって底面回路基板50の全ての配列膜回路55上で切線73を画成し、かつ、切線73に沿って上面回路基板60、絶縁パッケージ70および底面回路基板50を切断することによって半製品のダイオードパッケージ15c(または15d)を達成するようにするステップと、
C9.半製品のダイオードパッケージ15c(または15d)の2つの端部上に外部電極80a、80bを形成するために、被覆プロセス、銀浸漬プロセス、または、製膜プロセスを行い、かつ、本発明の第3(または第4)の実施形態のダイオードパッケージ10c(または10d)を達成するために、外部電極80a、80bを対応する回路電極56a、56bおよび66a(または56a、56b、66aおよび66b)に電気的に接続させるようにするステップと、
を含む。
本発明のSMDダイオードパッケージ10またはダイオードアレイパッケージ20を作る際に使用されるダイオードチップ30は、過度伝達抑制ダイオード(TVSダイオード)、ショットキーダイオード、スイッチダイオード、ツェナーダイオード、または、整流ダイオードから選択されるのが好ましいが、これらに限定されない。
従って、本発明のSMDダイオードパッケージ10またはダイオードアレイパッケージ20は、TVSダイオードパッケージ、ショットキーダイオードパッケージ、スイッチダイオードパッケージ、ツェナーダイオードパッケージ、または、整流ダイオードパッケージであるのが好ましいが、これらに限定されない。
図3に示されるように、底面回路基板50(または上面回路基板60)の配列膜回路55(または65)は、本発明のSMDダイオードチップパッケージ10またはダイオードアレイパッケージ20を作る際に使用される内部電極の役割を果たす。
本発明のSMDダイオードチップパッケージ10またはダイオードアレイパッケージ20を作る際に使用される絶縁パッケージ70またはカプセル封じ75は、セラミック材料またはプラスチック材料、好ましくは、エポキシ樹脂から形成される。
本発明のSMDダイオードチップパッケージ10またはダイオードアレイパッケージ20を作る際に使用される底面回路基板50または上面回路基板60は、セラミック板、プラスチック板、複合材シート、または、放熱板から形成される。この場合、セラミック板は、アルミナ板または窒化アルミニウム板から選択され、プラスチック板は、PE板、PP板、PC板、またはポリアミド板から選択され、複合材シートは、炭素繊維板またはガラス繊維板から形成される。
本発明のSMDダイオードチップパッケージ10またはダイオードアレイパッケージ20を作る際に使用される外部電極80a、80bは、銀(Ag)、スズ(Sn)、銅(Cu)、金(Au)、ニッケル(Ni)、パラジウム(Pd)、および、白金(Pt)で構成される族から選択される1つまたは複数の無鉛の導体金属またはその合金から形成されるが、これらに限定されない。
本発明のSMDダイオードチップパッケージ10またはダイオードアレイパッケージ20を作る際に使用される無鉛の導体ペースト40は、銀(Ag)、スズ(Sn)、銅(Cu)、金(Au)、ニッケル(Ni)、パラジウム(Pd)、および、白金(Pt)で構成される族から選択される1つまたは複数の無鉛の導体金属を含むが、これらに限定されない。
従来使用されているリードフレームの代わりに回路基板を使用することによって、本発明の小型SMDダイオードパッケージを製造するためのプロセスは、小型ダイオードチップをパッケージする間の設定精度を改良し、かつ、0.4〜1.0mmの長さ(L)、0.2〜0.5mmの幅(W)、および、0.2〜0.5mmの厚さ(T)を有する、図1に示されるダイオードチップパッケージ10を製造するために、好ましくは、表1に列挙した特定の仕様に合わせてそれらダイオードチップパッケージ10を製造するために、より適切に使用される。
Figure 2015133487
開示された製作方法は、1.0〜2.4mmの長さ(L)、0.5〜1.0mmの幅(W)、および、0.4〜0.8mmの厚さ(T)を有する、図2に示されるダイオードアレイパッケージ20にも適切である。好ましくは、当該方法は、表2に列挙される仕様に合わせてダイオードアレイパッケージ20を作るために使用される。
本発明の小型SMDダイオードパッケージを製造するためのプロセスは、1.0〜2.4mmの長さ(L)、0.5〜1.0mmの幅(W)、および、0.4〜0.8mmの厚さ(T)を有する、図2に示されるダイオードアレイパッケージ20を製造する、好ましくは、表2に列挙された特定の仕様に合わせてそれらダイオードチップパッケージ10を製造するためにも適切に使用される。
Figure 2015133487
さらに、鉛含有のスズペーストを使用しないことによる、本発明の小型SMDダイオードパッケージを製造するためのプロセスは、環境保護の要件に適合する。

Claims (8)

  1. TVSダイオード、ショットキーダイオード、スイッチダイオード、ツェナーダイオード、または、整流ダイオードから形成され、かつ、正電極および負電極を備えた底面を有する第1のダイオードチップと、
    セラミック板、プラスチック板、複合材シート、または、放熱板から形成される底面回路基板と、
    前記底面回路基板上に別個に置かれ、かつ、それぞれ、前記第1のダイオードチップの前記底面上の前記正電極および前記負電極に電気的に接続される2つの回路電極と、
    カプセル封じであって、前記第1のダイオードチップおよび前記2つの回路電極を入れるために、かつ、前記2つの回路電極が、前記カプセル封じの1端部まで延在しかつ当該端部に触れている1端部を有することを可能とするために、前記底面回路基板と一体化させるように、セラミック材料またはプラスチック材料から形成されるカプセル封じと、
    銀(Ag)、スズ(Sn)、銅(Cu)、金(Au)、ニッケル(Ni)、パラジウム(Pd)、および、白金(Pt)から形成され、それぞれが、前記カプセル封じおよび前記底面回路基板によって形成された一体構造の1端部を覆い、かつ、それぞれが、前記カプセル封じの1端部に触れている対応する回路電極に電気的に接続される、2つの外部電極と、を含む、小型SMDダイオードパッケージ。
  2. 前記カプセル封じの上面に取り付けられた上部カバーをさらに含み、各前記外部電極は、前記上部カバー、前記カプセル封じ、および、前記底面回路基板によって形成された前記一体構造の1端部を覆い、かつ、それぞれが前記カプセル封じの1端部に触れている前記対応する回路電極に電気的に接続する、請求項1に記載のSMDダイオードパッケージ。
  3. 前記第1のダイオードチップの第1のダイオードの全体の機能を備えるのに加えて、前記第1のダイオードチップの代わりに使用される第2のダイオードチップであって、高位の電極を備えた上面をさらに有する第2のダイオードチップと、
    セラミック板、プラスチック板、複合材シート、または、放熱板から形成され、上部回路電極が上に置かれており、前記第2のダイオードチップの前記高位の電極に電気的に接続される上面回路基板と、をさらに含み、
    前記カプセル封じは、前記上面回路基板および底面回路基板と一体化して、さらに、中に前記上部回路電極を入れ、かつ、前記上部回路電極が前記カプセル封じの1端部まで延在しかつ当該1端部で触れている1端部を有することを可能にし、各前記外部電極は、前記上面回路基板、前記カプセル封じ、および、前記底面回路基板によって形成された前記一体構造の1端部を覆って、前記カプセル封じの1端部に触れている前記対応する回路電極に電気的に接続し、前記2つの外部電極のうちの1つはさらに、前記上部回路電極に電気的に接続することを特徴とする、請求項1に記載のSMDダイオードパッケージ。
  4. 前記第1のダイオードチップの第1のダイオードの全体の機能を備えるのに加えて、前記第1のダイオードチップの代わりに使用される第3のダイオードチップであって、正電極および負電極を備えた上面をさらに有する第3のダイオードチップと、
    セラミック板、プラスチック板、複合材シート、または、放熱板から形成され、2つの分離した上部回路電極が上に置かれており、それぞれ、前記第3のダイオードチップの前記上面における前記正電極および負電極に電気的に接続される上面回路基板と、をさらに含み、
    前記カプセル封じは、前記上面回路基板および前記底面回路基板と一体化して、さらに、前記2つの上部回路電極を中に入れ、かつ、前記上部回路電極が前記カプセル封じの1端部まで延在しかつ当該1端部に触れている1端部を有することを可能にし、各前記外部電極は、前記上面回路基板、前記カプセル封じ、および、前記底面回路基板によって形成された前記一体構造の1端部を覆って、それぞれ、前記カプセル封じの1端部に触れている対応する回路電極および上部回路電極に電気的に接続することを特徴とする、請求項1に記載のSMDダイオードパッケージ。
  5. 前記SMDダイオードパッケージは、0.4〜1.0mmの長さ(L)、0.2〜0.5mmの幅(W)、および、0.2〜0.5mmの厚さ(T)の小型サイズを有することを特徴とする、請求項1〜4のうちいずれか一項に記載のSMDダイオードパッケージ。
  6. 前記SMDダイオードパッケージは、1.0〜2.4mmの長さ(L)、0.5〜1.0mmの幅(W)、および、0.4〜0.8mmの厚さ(T)の小型サイズを有し、かつ、1アレイに分離されかつ配置される2つ以上の前記第1のダイオードチップ、前記第2のダイオードチップ、または、前記第3のダイオードチップを含むことを特徴とする、請求項1〜4のうちいずれか一項に記載のSMDダイオードパッケージ。
  7. 小型SMDダイオードパッケージを製造するためのプロセスであって、
    1)TVSダイオード、ショットキーダイオード、スイッチダイオード、ツェナーダイオード、または、整流ダイオードから形成され、かつ、正電極および負電極を備えた底面を有するダイオードチップを前もって製造するステップと、
    2)セラミック板、プラスチック板、複合材シート、または、放熱板から形成され、かつ、複数の配列膜回路が上に置かれている底面回路基板を前もって製造するステップと、
    3)前記底面回路基板の各配列膜回路の2つの端部に対して無鉛の導体ペーストをつけるまたは施すために、CCD画像登録によってペーストを施すステップと、
    4)前記ダイオードチップの前記正電極および前記負電極を、前記底面回路基板上で互いから分離されかつ互いに隣接する位置に位置する2つの配列膜回路に確実にかつ電気的に接続できるようにするために、CCD画像登録によってチップボンディングを行うステップと、
    5)前記底面回路基板上の全てのボンディング済みダイオードチップおよび全ての配列膜回路を入れるために、セラミック材料またはプラスチック材料から形成された絶縁パッケージのパッケージングを行うステップと、
    6)前記絶縁パッケージの硬化表面上に接着剤層を被覆し、かつ、その上に上部カバーを載置する任意のステップと、
    7)それぞれが2つの逆回路電極を有する半製品のダイオードパッケージを達成するようにCCD画像登録によって切断を行うステップであって、当該2つの逆回路電極のそれぞれが、前記半製品のダイオードパッケージの1つの対向する端部に対応して触れている1端部を有する、切断を行うステップと、
    8)外部電極を、前記半製品のダイオードパッケージの2つの端部で覆うようにし、かつ、被覆プロセス、銀浸漬プロセス、または、製膜プロセスによって、ステップ7)の前記半製品のダイオードパッケージの対応する触れている回路電極に電気的に接続させることによって、前記小型SMDダイオードパッケージが達成されるステップと、を含む、小型SMDダイオードパッケージを製造するためのプロセス。
  8. 小型SMDダイオードパッケージを製造するためのプロセスであって、
    1)TVSダイオード、ショットキーダイオード、スイッチダイオード、ツェナーダイオード、または、整流ダイオードから形成され、底面が第1の正電極および第1の負電極を備え、上面が第2の正電極および/または第2の負電極を備えるダイオードチップを前もって製造するステップと、
    2)双方が、セラミック板、プラスチック板、複合材シート、または、放熱板から形成され、かつ、複数の配列膜回路が上に置かれている底面回路基板および上面回路基板を前もって製造するステップと、
    3)前記底面回路基板の各配列膜回路の2つの端部に対して無鉛の導体ペーストをつけるかまたは施すために、CCD画像登録によってペーストを施すステップと、
    4)前記ダイオードチップの前記第1の正電極および前記第1の負電極を、前記無鉛導体ペーストによって、前記底面回路基板上で互いから分離されかつ互いに隣接する位置に位置する2つの配列膜回路に確実にかつ電気的に接続できるようにするために、CCD画像登録によってチップボンディングを行うステップと、
    5)前記ダイオードチップの前記第2の正電極および/または前記第2の負電極上に無鉛の導体ペーストをつけるまたは施すために、CCD画像登録によってペーストを施すステップと、
    6)前記ダイオードチップの前記第2の正電極および/または前記第2の負電極が、前記無鉛の導体ペーストによって、前記上面回路基板の各対応する配列膜回路に電気的に接続できるようにするために、CCD画像登録によって、前記上面回路基板を前記ダイオードチップの上面上で覆うように載置することを行うステップと、
    7)セラミック材料またはプラスチック材料から形成され、かつ、前記底面回路基板および前記上面回路基板双方上の全てのボンディング済みダイオードチップおよび全ての配列膜回路を入れるために、前記底面回路基板と前記上面回路基板との間の空間に充填される絶縁パッケージのパッケージングを行うステップと、
    8)それぞれが3つまたは4つの逆回路電極を有する半製品のダイオードパッケージを達成するようにCCD画像登録によって切断を行うステップであって、当該3つまたは4つの逆回路電極のそれぞれが、前記半製品のダイオードパッケージの1つの対向する端部で対応して触れている1端部を有する、切断を行うステップと、
    9)前記半製品のダイオードパッケージの2つの端部で外部電極を覆うようにし、かつ、被覆プロセス、銀浸漬プロセス、または、製膜プロセスによって、ステップ8)の前記半製品のダイオードパッケージの対応する触れている回路電極に電気的に接続させることによって、前記小型SMDダイオードパッケージが達成されるステップと、を含む、小型SMDダイオードパッケージを製造するためのプロセス。
JP2014260789A 2014-01-10 2014-12-24 小型smdダイオードパッケージおよびその製造プロセス Active JP6125486B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW103101019A TWI501363B (zh) 2014-01-10 2014-01-10 一種小型化表面黏著型二極體封裝元件及其製法
TW103101019 2014-01-10

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015133487A true JP2015133487A (ja) 2015-07-23
JP6125486B2 JP6125486B2 (ja) 2017-05-10

Family

ID=52911378

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014260789A Active JP6125486B2 (ja) 2014-01-10 2014-12-24 小型smdダイオードパッケージおよびその製造プロセス

Country Status (6)

Country Link
US (2) US9691735B2 (ja)
JP (1) JP6125486B2 (ja)
KR (1) KR101650896B1 (ja)
CN (1) CN104465553B (ja)
DE (1) DE102015100129B4 (ja)
TW (1) TWI501363B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016152416A (ja) * 2015-02-17 2016-08-22 立昌先進科技股▲分▼有限公司 多機能小型表面実装部品、及び、これを製造する方法
JP2021007141A (ja) * 2019-06-27 2021-01-21 立昌先進科技股▲分▼有限公司 パッチ式で単粒小サイズ、及び配列型のチップ半導体ユニットに用いる封入方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9899330B2 (en) * 2014-10-03 2018-02-20 Mc10, Inc. Flexible electronic circuits with embedded integrated circuit die
CN104637914B (zh) * 2015-02-28 2018-02-13 立昌先进科技股份有限公司 多功能表面黏着型电子组件及其制法
EA201890637A1 (ru) 2015-09-03 2018-09-28 Шлюмбергер Текнолоджи Б.В. Смешивание в процессе закачивания кислот и отклоняющих жидкостей с водорастворимыми замедляющими действие средствами
WO2017040562A1 (en) 2015-09-03 2017-03-09 Schlumberger Technology Corporation Diversion acid containing a water-soluble retarding agent and methods of making and using
US11091689B2 (en) 2015-09-03 2021-08-17 Schlumberger Technology Corporation Emulsions containing water-soluble acid retarding agents and methods of making and using
JP6631114B2 (ja) * 2015-09-17 2020-01-15 富士電機株式会社 半導体装置及び半導体装置の計測方法
US10504767B2 (en) * 2016-11-23 2019-12-10 Rohinni, LLC Direct transfer apparatus for a pattern array of semiconductor device die
TWI656612B (zh) * 2017-03-16 2019-04-11 佳邦科技股份有限公司 半導體封裝件
TWI664683B (zh) * 2017-03-16 2019-07-01 佳邦科技股份有限公司 半導體封裝件的製造方法
RU193911U1 (ru) * 2019-09-10 2019-11-21 Акционерное общество «Оптрон-Ставрополь» Силовой полупроводниковый диод
CN114171422B (zh) * 2022-02-11 2022-06-03 浙江里阳半导体有限公司 半导体器件的制造方法及其蒸镀缺陷的检测方法
CN115216117B (zh) * 2022-09-21 2022-12-16 深圳市板明科技股份有限公司 一种线路板用改性塞孔树脂及其制备方法

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5939950U (ja) * 1982-09-04 1984-03-14 富士電機株式会社 高圧ダイオ−ドアレ−
JPH10275702A (ja) * 1997-03-31 1998-10-13 Taiyo Yuden Co Ltd チップ抵抗器
JPH11204519A (ja) * 1998-01-08 1999-07-30 Matsushita Electron Corp 半導体装置及びその製造方法
JPH11298035A (ja) * 1998-04-08 1999-10-29 Matsushita Electron Corp 半導体発光装置
JP2000349187A (ja) * 1999-06-01 2000-12-15 Nec Corp 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP2001352084A (ja) * 2000-06-09 2001-12-21 Fuji Electric Co Ltd 薄膜太陽電池とその製造方法
JP2002043623A (ja) * 2000-07-27 2002-02-08 Nichia Chem Ind Ltd 光半導体素子とその製造方法
JP2003031600A (ja) * 2001-07-18 2003-01-31 Sony Corp 半導体チップ・マウント方法および装置
JP2005322773A (ja) * 2004-05-10 2005-11-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
JP2008021987A (ja) * 2006-06-16 2008-01-31 Shinko Electric Ind Co Ltd 半導体装置及び半導体装置の製造方法及び基板
JP2008198805A (ja) * 2007-02-13 2008-08-28 Sony Corp 半導体装置の製造方法
US20080283971A1 (en) * 2007-04-13 2008-11-20 Siliconware Precision Industries Co., Ltd. Semiconductor Device and Its Fabrication Method
US20090321911A1 (en) * 2006-12-23 2009-12-31 Kyung Joo Son Semiconductor Package and Manufacturing Method Thereof

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5491111A (en) * 1994-10-26 1996-02-13 Tai; George Method of making a semiconductor diode
JPH11251477A (ja) * 1998-03-03 1999-09-17 Canon Inc 半導体パッケージ、半導体装置、およびこれらの製造方法
JP3318655B2 (ja) * 1999-08-10 2002-08-26 ニュー・クリエイト株式会社 薄膜積層体の製造方法および製造装置
TW521555B (en) 2000-08-25 2003-02-21 Hitachi Aic Inc Electronic device sealing electronic element therein and manufacturing method thereof, and printed wiring board suitable for such electronic device
KR100452819B1 (ko) * 2002-03-18 2004-10-15 삼성전기주식회사 칩 패키지 및 그 제조방법
KR100461718B1 (ko) * 2002-03-18 2004-12-14 삼성전기주식회사 칩 패키지 및 그 제조방법
JP4047760B2 (ja) * 2003-04-28 2008-02-13 ローム株式会社 チップ抵抗器およびその製造方法
US8102657B2 (en) * 2003-12-02 2012-01-24 Super Talent Electronics, Inc. Single shot molding method for COB USB/EUSB devices with contact pad ribs
KR20060103864A (ko) * 2005-03-28 2006-10-04 타이코 일렉트로닉스 코포레이션 Pptc 층들 사이에 능동 소자를 갖는 표면 장착식 다층전기 회로 보호 장치
US20070208395A1 (en) * 2005-10-05 2007-09-06 Leclerc Norbert H Phototherapy Device and Method of Providing Phototherapy to a Body Surface
US8963314B2 (en) * 2008-06-26 2015-02-24 Nxp B.V. Packaged semiconductor product and method for manufacture thereof
US20110089557A1 (en) * 2009-10-19 2011-04-21 Jeng-Jye Shau Area reduction for die-scale surface mount package chips
CN103180919B (zh) * 2010-10-21 2016-05-18 Tdk株式会社 线圈部件及其制造方法
EP2453476A1 (en) * 2010-11-12 2012-05-16 Nxp B.V. Semiconductor device packaging method and semiconductor device package
US8709945B2 (en) * 2011-01-26 2014-04-29 Jeng-Jye Shau Area efficient through-hole connections
JP5927056B2 (ja) * 2012-06-14 2016-05-25 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
TWM454630U (zh) * 2013-01-22 2013-06-01 Unity Opto Technology Co Ltd 混光發光二極體結構

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5939950U (ja) * 1982-09-04 1984-03-14 富士電機株式会社 高圧ダイオ−ドアレ−
JPH10275702A (ja) * 1997-03-31 1998-10-13 Taiyo Yuden Co Ltd チップ抵抗器
JPH11204519A (ja) * 1998-01-08 1999-07-30 Matsushita Electron Corp 半導体装置及びその製造方法
JPH11298035A (ja) * 1998-04-08 1999-10-29 Matsushita Electron Corp 半導体発光装置
JP2000349187A (ja) * 1999-06-01 2000-12-15 Nec Corp 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP2001352084A (ja) * 2000-06-09 2001-12-21 Fuji Electric Co Ltd 薄膜太陽電池とその製造方法
JP2002043623A (ja) * 2000-07-27 2002-02-08 Nichia Chem Ind Ltd 光半導体素子とその製造方法
JP2003031600A (ja) * 2001-07-18 2003-01-31 Sony Corp 半導体チップ・マウント方法および装置
JP2005322773A (ja) * 2004-05-10 2005-11-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
JP2008021987A (ja) * 2006-06-16 2008-01-31 Shinko Electric Ind Co Ltd 半導体装置及び半導体装置の製造方法及び基板
US20090321911A1 (en) * 2006-12-23 2009-12-31 Kyung Joo Son Semiconductor Package and Manufacturing Method Thereof
JP2008198805A (ja) * 2007-02-13 2008-08-28 Sony Corp 半導体装置の製造方法
US20080283971A1 (en) * 2007-04-13 2008-11-20 Siliconware Precision Industries Co., Ltd. Semiconductor Device and Its Fabrication Method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016152416A (ja) * 2015-02-17 2016-08-22 立昌先進科技股▲分▼有限公司 多機能小型表面実装部品、及び、これを製造する方法
JP2021007141A (ja) * 2019-06-27 2021-01-21 立昌先進科技股▲分▼有限公司 パッチ式で単粒小サイズ、及び配列型のチップ半導体ユニットに用いる封入方法
JP7017192B2 (ja) 2019-06-27 2022-02-08 立昌先進科技股▲分▼有限公司 パッチ式で単粒小サイズ、及び配列型のチップ半導体ユニットに用いる封入方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE102015100129A1 (de) 2015-07-16
KR20150083781A (ko) 2015-07-20
TW201528455A (zh) 2015-07-16
CN104465553A (zh) 2015-03-25
US9691735B2 (en) 2017-06-27
DE102015100129B4 (de) 2021-07-15
US9691736B2 (en) 2017-06-27
JP6125486B2 (ja) 2017-05-10
US20150200147A1 (en) 2015-07-16
KR101650896B1 (ko) 2016-08-24
TWI501363B (zh) 2015-09-21
US20160035697A1 (en) 2016-02-04
CN104465553B (zh) 2017-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6125486B2 (ja) 小型smdダイオードパッケージおよびその製造プロセス
JP2014179476A (ja) モジュールおよびその製造方法
US10600703B2 (en) Process for packaging circuit component having copper circuits with solid electrical and thermal conductivities and circuit component thereof
CN111627865B (zh) 一种半导体封装结构及其制造方法
CN105514053B (zh) 半导体封装件及其制法
US10186366B2 (en) Electrode structure and the corresponding electrical component using the same and the fabrication merhod thereof
US10062649B2 (en) Package substrate
US10529680B2 (en) Encapsulated electronic device mounted on a redistribution layer
US10373930B2 (en) Package structure and the method to fabricate thereof
KR20140045461A (ko) 집적회로 패키지
KR101650895B1 (ko) 외부 리드 핀들을 포함하지 않는 칩 스케일 다이오드 패키지 및 이를 생산하기 위한 공정
TWI719517B (zh) 一種貼片式單顆小尺寸及陣列型之晶片半導體元件之封裝方法
US10186503B2 (en) Module and manufacturing method thereof
CN210296344U (zh) 一种无引线框架的半导体封装结构
TWI483437B (zh) 發光二極體封裝體及其製造方法
CN106298749B (zh) 发光二极管、电子器件及其制作方法
CN215069957U (zh) 一种mosfet芯片结构
KR20040075754A (ko) 컨덴서 장치
CN105590920B (zh) 半导体封装
TW200847301A (en) Process for making leadless package for discrete circuit components
JP2009224547A (ja) 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP2005197593A (ja) リードフレームおよびその製造方法
JP2003007740A (ja) 回路装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20151113

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151201

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160229

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160614

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20160913

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161115

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170328

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170405

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6125486

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250