JP2015126193A - 縦型半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】周辺領域6では、半導体基板の表面に臨む位置に、リサーフ層32とガードリング30・・を形成する。リサーフ層32よりガードリング30・・を深く形成する。ガードリング30が浅いと、リサーフ層32の不純物濃度が薄くて抵抗が低いことから、リサーフ層32の深部の電位が不安定となり、リサーフ層32によって耐圧を高める作用が十分に発揮されない。ガードリング30が深いと、ガードリング30の不純物濃度が高くて抵抗が低いことから、リサーフ層32の深部の電位がガードリングによって規制され、リサーフ層32によって耐圧を高める作用が十分に発揮される。
【選択図】図1
Description
特許文献1の図9には、周辺領域での耐圧をさらに向上させるために、ガードリング構造に加えて、裏面側第1導電型領域(ドリフト領域)の中間深さに第2導電型領域(特許文献1ではP+電位固定層と称している)を形成する技術を開示している。特許文献1の技術では、複数個の第2導電型領域をとびとびに(すなわち相互に離反した位置に)配置する。
特許文献2には、周辺領域での耐圧を向上させるために、ガードリング構造に加えて、半導体基板の表面に臨む範囲に第2導電型不純物層(特許文献2ではリサーフ層と称している)を形成する技術が開示されている。リサーフ層もガードリングも第2導電型であるが、前者の不純物濃度が後者の不純物濃度より薄いことから、リサーフ層とガードリングが区別される。特許文献2では、リサーフ層に包まれる範囲内にガードリング構造が形成されている。
特許文献1に記載されている「ガードリング構造+裏面側第1導電型領域の中間深さに複数個の第2導電型領域をとびとびに配置する」構造では、とびとびに配置されている第2導電型領域と裏面側第1導電型領域の界面から空乏層が十分に発達しない。周辺領域での耐圧を十分に向上させることができない。
特許文献2に記載されている「リサーフ層の内部にガードリング構造を配置する」構造でも、周辺領域での耐圧を十分に向上させることができない。特に半導体基板がSiCで形成されている場合、リサーフ層の抵抗が高いことから、リサーフ層内で空乏層が広がらないという問題が生じる。
本明細書では、周辺領域での耐圧を十分に向上させることができる半導体構造を提案する。
素子領域では、半導体基板の表面に形成されている表面電極と、半導体基板の裏面に形成されている裏面電極と、表面電極に導通する表面側第1導電型領域(MOSの場合はソース領域であり、IGBTの場合はエミッタ領域)と、裏面電極に導通する裏面側第1導電型領域(ドリフト領域)と、表面側第1導電型領域と裏面側第1導電型領域を分離する第2導電型領域(ボディ領域)と、表面側第1導電型領域と裏面側第1導電型領域を分離する位置にある第2導電型領域にゲート絶縁膜を介して対向するゲート電極を備えている。上記の半導体構造を備えていると、ゲート電極の電圧によって表面電極と裏面電極の間の抵抗が変化する。
第2導電型不純物低濃度層は、不純物濃度が低くて抵抗が高い。第2導電型不純物低濃度層内には第2導電型不純物高濃度リング状領域が形成されており、高濃度リング状領域の抵抗は低い。しかしながら、第2導電型不純物高濃度リング状領域の形成範囲は第2導電型不純物低濃度層の形成範囲よりも浅く、第2導電型不純物低濃度層の深部の電位は、第2導電型不純物高濃度リング状領域の電位から大きく離れてしまう。第2導電型不純物低濃度層の深部の電位が第2導電型不純物高濃度リング状領域の電位によって規制されなくなると、第2導電型不純物低濃度層と第2導電型不純物高濃度リング状領域を併用することによって耐圧を向上させる効果が十分に得られない。従来の技術では、第2導電型不純物低濃度層と第2導電型不純物高濃度リング状領域を併用するものの、後者が前者よりも浅いために、意図した効果が得られないことを見出した
上記構造によると、低抵抗の第2導電型不純物高濃度リング状領域が、高抵抗の第2導電型不純物低濃度層の深部に達しており、第2導電型不純物低濃度層の深部の電位が第2導電型不純物高濃度リング状領域の電位によって規制される。すると、第2導電型不純物低濃度層と第2導電型不純物高濃度リング状領域を併用する技術が意図したように機能し、第2導電型不純物低濃度層の広い範囲に空乏層が広がる。周辺領域での耐圧が十分に向上する。
また、第2導電型不純物高濃度領域の不純物濃度>第2導電型不純物高濃度リング状領域の不純物濃度>第2導電型不純物低濃度層の不純物濃度の関係であることが好ましい。
(第1特徴)半導体基板はSiCであり、半導体装置はMOSである。本明細書でいう第1導電型はn型であり、第2導電型はp型である。素子領域では、半導体基板の表面から裏面に向けて、表面側第1導電型領域(n型ソース領域)と第2導電型領域(p型ボディ領域)と裏面側第1導電型領域(n型ドリフト領域)と第1導電型領域(n型ドレイン領域)の順に積層されている積層構造が形成されている。半導体基板の表面から、n型ソース領域とp型ボディ領域を貫通してn型ドリフト領域に達するトレンチが形成されている。トレンチの壁面はゲート絶縁膜によって被覆されており、その内側にトレンチゲート電極が充填されている。
(第2特徴)周辺領域に形成されている第2導電型(p型)不純物低濃度層は、p型ボディ領域に連続しており、リサーフ層と称される。第2導電型不純物高濃度リング状領域は、素子領域の周囲を多重に取り囲んでおり、ガードリングと称される。
(第3特徴)半導体基板がSiCで形成されており、第2導電型不純物低濃度層の表面の一部に表面電極とオーミック接触する第2導電型不純物高濃度領域が形成されている。第2導電型不純物高濃度領域の不純物濃度>第2導電型不純物高濃度リング状領域の不純物濃度>第2導電型不純物低濃度層の不純物濃度である。
参照番号10は半導体基板9の表面に形成されている表面電極であり、MOSのソース電極となる。参照番号18は半導体基板9の裏面に形成されている裏面電極であり、MOSのドレイン電極となる。
ゲート絶縁膜24を介してトレンチゲート電極26の側面に対向する位置には、半導体基板の表面側からソース領域20とボディ領域12とドリフト領域14の順に積層された積層構造が形成されている。本実施例では、第1導電型がn型であり、第2導電型がp型である。ソース領域20はn型であり、表面側第1導電型領域の実施例である。ボディ領域12はp型であり、第2導電型領域の実施例である。ドリフト領域14はn型であり、裏面側第1導電型領域の実施例である。ドリフト領域14と裏面電極(ドレイン電極)18の間にドレイン領域16が形成されている。ドレイン領域16はn型であり、第1導電型領域の実施例である。トレンチゲート電極26の側面には、ゲート絶縁膜24を介してソース領域20とドリフト領域14を分離しているボディ領域12が対向している。参照番号22は、ボディコンタクト層であり、表面電極(ソース電極)10にオーミック接触し、ボディ領域12の電位をソース電位に維持する。
周辺領域6では、リサーフ層32と、ガードリング群30が形成されている。図示の便宜上、一部のガードリングに対してのみ参照番号30が付されている。リサーフ層32はp型であり、ガードリング群30よりも不純物濃度が低い。リサーフ層32は、第2導電型不純物低濃度層の実施例である。リサーフ層32の不純物濃度は一様であってもよいが、半導体基板9の外周8に近づくほど徐々に薄くなってもよい。個々のガードリング30もp型であり、第2導電型不純物高濃度リング状領域の実施例である。複数本のガードリング30が形成されている。複数本のガードリング30が素子領域4の周囲を多重に取り囲んでいる。最外周のガードリング30bは、リサーフ層32の外側に形成されている。リサーフ層32の外側に形成されているガードリングはなくてもよいし、1本以上を形成してもよい。周辺領域6では、半導体基板9の表面が絶縁膜28で覆われている。また半導体基板の外周8に接する位置の表面側には、n型の不純物高濃度領域36が形成されている。最外周トレンチの外側に隣接する範囲には、コンタクト領域23が形成されている。コンタクト領域23の表面の一部は絶縁膜28で覆われておらず、表面電極10にオーミック接触している。
コンタクト領域23とリサーフ層32は、拡散長が短くてよいことから、リンを注入して製造する。ガードリング30は、リンを注入して製造することもできるが、拡散深さが深いのでボロンを注入して製造するのが有利である。
従前の構造では、ガードリング30がリサーフ層32よりも薄く、リサーフ層32によって耐圧を向上させる効果が不十分であることが確認される。
図2に示すように、第2実施例の半導体装置の周辺領域6では、ドリフト領域14の中間深さにp型層40が形成されている。p型層40はn型のドリフト領域14によって取り囲まれており、フローティング状態にある。p型層40は、第2導電型フローティング層の実施例である。p型層40は、素子領域4と周辺領域6の境界位置Aから、最外周のガードリング30bの存在位置Bまで、連続的に形成されている。第1実施例と同等の部位については同一の参照番号を付すことで重複説明を省略する。
第2導電型フローティング層(p型層)40は、最内周ガードリングより内側の位置から、リサーフ層の外周側位置まで、切れ目なく連続的に延びていることが好ましい。最外周ガードリングがリサーフ層の外周側位置より内周側にある場合には、最外周ガードリングの位置まで切れ目なく連続的に延びていることが好ましい。
リサーフ層32より深いガードリング群30と、p型フローティング層40を併用すると、周辺領域の耐圧はさらに向上する。
図3に示すように、ゲート電極にはプレーナゲート電極26を利用することもできる。第1実施例と同等の部位については同一の参照番号を付すことで重複説明を省略する。この実施例でも、プレーナゲート電極26に正電圧を印加すると、ソース領域20とドレイン領域14を分離している位置にあるボディ領域12に反転層が形成され、表面電極10と裏面電極18の間の抵抗が低下する。プレーナゲート電極26を利用する縦型半導体装置の場合も、周辺領域にリサーフ層32を設け、リサーフ層32よりも深いガードリング群30を形成することで、半導体装置の耐圧が向上する。
例えば、第1導電型をp型として第2導電型をn型とすることができる。また、MOSに代えてIGBTに適用することもできる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
4:素子領域
6:周辺領域
8:半導体基板の外周
10:表面電極(ソース電極)
12:第2導電型領域(p型ボディ領域)
14:裏面側第1導電型領域(n型ドリフト領域)
16:第1導電型領域(n型ドレイン領域)
18:裏面電極(ドレイン電極)
20:表面側第1導電型領域(n型ソース領域)
22:ボディコンタクト層
24:ゲート絶縁膜
26:トレンチゲート電極
30:第2導電型不純物高濃度リング状領域(ガードリング)
32:第2導電型不純物低濃度層(リサーフ層)
36:第1導電型領域
40:第2導電型フローティング層(p型フローティング層)
Claims (3)
- 半導体基板を平面視したときに素子領域と素子領域を一巡する周辺領域を備えており、
前記素子領域では、半導体基板の表面に形成されている表面電極と、半導体基板の裏面に形成されている裏面電極と、前記表面電極に導通する表面側第1導電型領域と、前記裏面電極に導通する裏面側第1導電型領域と、前記表面側第1導電型領域と前記裏面側第1導電型領域を分離する第2導電型領域と、前記表面側第1導電型領域と前記裏面側第1導電型領域を分離する位置にある前記第2導電型領域にゲート絶縁膜を介して対向するゲート電極を備えており、前記ゲート電極の電圧によって前記表面電極と前記裏面電極の間の抵抗が変化し、
前記周辺領域では、半導体基板の表面に臨む範囲に形成されている第2導電型不純物低濃度層と、半導体基板の表面に臨む範囲において前記素子領域を一巡している第2導電型不純物高濃度リング状領域の多重構造を備えており、前記第2導電型不純物高濃度リング状領域が前記第2導電型不純物低濃度層より裏面側に深く延びていることを特徴とする縦型半導体装置。 - 前記半導体基板がSiCで形成されており、
前記第2導電型不純物低濃度層の表面の一部に前記表面電極とオーミック接触する第2導電型不純物高濃度領域が形成されており、
前記第2導電型不純物高濃度領域の深さ<前記第2導電型不純物低濃度層の深さ<前記第2導電型不純物高濃度リング状領域の深さの関係であることを特徴とする請求項1に記載の縦型半導体装置。 - 前記半導体基板がSiCで形成されており、
前記第2導電型不純物低濃度層の表面の一部に前記表面電極とオーミック接触する第2導電型不純物高濃度領域が形成されており、
前記第2導電型不純物高濃度領域の不純物濃度>前記第2導電型不純物高濃度リング状領域の不純物濃度>前記第2導電型不純物低濃度層の不純物濃度の関係であることを特徴とする請求項1または2に記載の縦型半導体装置。
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