JP2015115600A - インプリント方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係るインプリント装置の構成を示す図である。インプリント装置1は、被転写基板(ウェハWaなどの被加工基板)に、モールド基板であるテンプレート(原版)Tpのテンプレートパターンを転写するリソグラフィ装置である。インプリント装置1は、ステップアンドリピート方式でウェハWa上の各ショットにテンプレートパターンを転写する。
Claims (5)
- 基板をインプリント装置内に搬入した後、前記基板にレジストを滴下する前に、前記基板のうち次にインプリントを行うショットに付着している微小物体を除去し、
前記ショットにレジストを滴下し、
凹凸パターンを有した原版であるテンプレートを前記レジストに接触させることによって、前記基板上に前記凹凸パターンに応じたレジストパターンを形成する、
インプリント方法。 - 前記微小物体を除去してから前記レジストを滴下するまでの間、前記基板に気体を噴き付けながら前記基板を移動させる、
請求項1に記載のインプリント方法。 - 前記レジストを滴下してから前記テンプレートを前記レジストに接触させるまでの間、前記基板に気体を噴き付けながら前記基板を移動させる、
請求項1に記載のインプリント方法。 - 前記微小物体を除去する際には、空気、水、薬液および静電気の少なくとも1つを用いる、
請求項1に記載のインプリント方法。 - 前記基板に噴き付けられる気体は、希ガス、プロパン系のガス、メタン系のガスおよび窒素の少なくとも1つを含んでいる、
請求項2または3に記載のインプリント方法。
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