JP2015107529A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
該ガイド手段は、該被加工物保持手段の該加工送り方向の移動を許容する開口と、該開口に隣接し該加工送り方向に沿って設けられた樋と、該開口の加工送り方向端部に設けられた端壁とを具備し、
該蛇腹手段は、該被加工物保持手段に連結する第1の連結部と、該ガイド手段の該端壁に連結する第2の連結部と、該第1の連結部と該第2の連結部に渡り配設された蛇腹部材とを具備しており、
該ガイド手段の該樋に沿って該蛇腹部材を非接触で浮上させる浮上手段が配設されている、
ことを特徴とする加工装置が提供される。
また、該浮上手段は、樋に沿ってエアーを噴出する複数の細孔が蛇腹部材に対向して配設された細孔レールと、該細孔レールに対向して蛇腹部材に配設されたスライダーと、によって構成されている。
図3および図4に示す実施形態における浮上手段8は、第1の樋71および第2の樋72に沿ってそれぞれX軸方向に配設された第1の磁石レール81および第2の磁石レール82と、上記第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621の下面にそれぞれ配設された第1の浮上磁石831および第2の浮上磁石832を具備している。この第1の磁石レール81および第2の磁石レール82はそれぞれ複数の磁石811および821からなっており、複数の磁石811および821がS極またはN極を上記第1の蛇腹手段61および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621と対向して配設されている。なお、第1の磁石レール81を構成する複数の磁石811および第2の磁石レール82を構成する複数の磁石821は、図示の実施形態においては上面(第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621と対向する面)がN極となっている。一方、第1の浮上磁石831および第2の浮上磁石832は、下面(第1の磁石レール81を構成する複数の磁石811および第2の磁石レール82を構成する複数の磁石821と対向する面)が磁石811および磁石821と同極(N極)となるように配設されている。このように、第1の磁石レール81を構成する複数の磁石811および第2の磁石レール82を構成する複数の磁石821と第1の浮上磁石831および第2の浮上磁石832はそれぞれ同極が対向して配設されているので、第1の浮上磁石831および第2の浮上磁石832は第1の磁石レール81を構成する複数の磁石811および第2の磁石レール82を構成する複数の磁石821上で浮上し、第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621が非接触で浮上せしめられる。なお、第1の浮上磁石831および第2の浮上磁石832は、第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621の下面にそれぞれ1個またはX軸方向に複数個配設される。このように第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621の下面にそれぞれ配設された第1の浮上磁石831および第2の浮上磁石832は、第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621の弛みを防止するための支持部材として機能する。
図5および図6に示す実施形態における浮上手段80は、第1の樋71および第2の樋72に沿ってそれぞれX軸方向に配設された第1のエアー噴出レール85および第2のエアー噴出レール86と、上記第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621の下面にそれぞれ配設された第1のスライダー871および第2のスライダー872を具備している。第1のエアー噴出レール85および第2のエアー噴出レール86は、それぞれ中空状に形成されており、上面(第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621と対向する面)にエアーを噴出する複数の細孔851および861が設けられている。このように構成された第1のエアー噴出レール85および第2のエアー噴出レール86は、図示しないエアー供給手段に接続されている。一方、第1のスライダー871および第2のスライダー872は、図示の実施形態においては低摩擦樹脂によって形成されている。このように構成された浮上手段80は、図示しないエアー供給手段を作動して第1のエアー噴出レール85の複数の細孔851および第2のエアー噴出レール86の複数の細孔861からエアーを噴出することにより、第1のスライダー871および第2のスライダー872は第1のエアー噴出レール85および第2のエアー噴出レール86上で浮上し、第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621が非接触で浮上せしめられる。なお、第1のスライダー871および第1のスライダー872は、第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621の下面にそれぞれ1個またはX軸方向に複数個配設される。このように第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621の下面にそれぞれ配設された第1のスライダー871および第2のスライダー872は、第1の蛇腹手段61の蛇腹部材611および第2の蛇腹手段62の蛇腹部材621の弛みを防止するための支持部材として機能する。
カセット11の所定位置に収容された環状のフレームFに装着された保護テープTに貼着された半導体ウエーハW(以下、単に半導体ウエーハWという)は、図示しない昇降手段によってカセットテーブル12が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、被加工物搬出・入機構14が進退作動して搬出位置に位置付けられた半導体ウエーハWを仮置きテーブル13に搬出する。仮置きテーブル13に搬出された半導体ウエーハWは、第1の被加工物搬送機構15の旋回動作によって上記チャックテーブル33上に搬送され、吸引保持される。このようにして半導体ウエーハWを吸引保持したチャックテーブル33は、案内レール31、32に沿ってアライメント領域に移動される。チャックテーブル33がアライメント領域Aに位置付けられると、撮像手段50によって半導体ウエーハWに形成されている分割予定ラインが検出され、スピンドルユニット5を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節して精密位置合わせ作業が行われる。
2:静止基台
3:チャックテーブル機構
33:チャックテーブル
34:チャックテーブル支持機構
343防水カバー
35:加工送り手段
4:スピンドル支持機構
43:可動支持基台
44:割り出し送り手段
5:スピンドルユニット
54:切削ブレード
57:切削水供給ノズル
6:蛇腹手段
61:第1の蛇腹手段
62:第2の蛇腹手段
7:ガイド手段
71:第1の樋
72:第2の樋
8、80:浮上手段
81:第1の磁石レール
82:第2の磁石レール
831:第1の浮上磁石
832:第2の浮上磁石
85:第1のエアー噴出レール
86:第2のエアー噴出レール
11:カセット
12:カセットテーブル
13:仮置きテーブル
14:被加工物搬出・搬入手段
15:第1の被加工物搬送機構
16:洗浄手段
17:第2の被加工物搬送機構
Claims (3)
- 被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、該被加工物保持手段を加工送り方向に加工送りする加工送り手段と、該被加工物保持手段に装着され該被加工物保持手段の加工送り方向を覆う伸縮可能な蛇腹手段と、該蛇腹手段の伸縮を加工送り方向に案内するガイド手段と、を具備する加工装置であって、
該ガイド手段は、該被加工物保持手段の該加工送り方向の移動を許容する開口と、該開口に隣接し該加工送り方向に沿って設けられた樋と、該開口の加工送り方向端部に設けられた端壁とを具備し、
該蛇腹手段は、該被加工物保持手段に連結する第1の連結部と、該ガイド手段の該端壁に連結する第2の連結部と、該第1の連結部と該第2の連結部とに渡り配設された蛇腹部材とを具備しており、
該ガイド手段の該樋に沿って該蛇腹部材を非接触で浮上させる浮上手段が配設されている、
ことを特徴とする加工装置。 - 該浮上手段は、該樋に沿って複数の磁石がS極またはN極を該蛇腹部材に対向して配設された磁石レールと、該磁石レールの磁石と同極を対向させて該蛇腹部材に配設された浮上磁石と、によって構成されている、請求項1記載の加工装置。
- 該浮上手段は、該樋に沿ってエアーを噴出する複数の細孔が該蛇腹部材に対向して配設された細孔レールと、該細孔レールに対向して該蛇腹部材に配設されたスライダーと、によって構成されている、請求項1記載の加工装置。
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