JP2008272895A - スライドテーブルの非接触ジャバラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スライドテーブル 3のガイドレール30に沿って往復可能に設けたキャリッジ20の一側部21と前記ガイドレールの一端部22との間に、ガイドレール30を覆う伸縮自在のジャバラ 1を設け、複数個のジャバラ 1毎にその端部の一山11を固定したジャバラ支持部材10を支持するジャバラ支持プレート13をガイドレール30のベース31に配置した図示しない多くのエヤー吹き出し孔を有する多孔質板材4に接して配置し、多孔質板材4にエヤー供給口18からエヤーを供給して、ジャバラ支持部材10を支持するジャバラ支持プレート13を吹き出しエヤーでガイドレール30のベース31に対して浮上させて非接触に中空で支持するようにした。
【選択図】図1
Description
Claims (2)
- スライドテーブルのガイドレールに沿って往復可能に設けたキャリッジの一側部と前記ガイドレールの一端部との間に、前記ガイドレールを覆う伸縮自在のジャバラを設け、複数個のジャバラ毎にその端部の一山を固定したジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートを前記ガイドレールのベースに配置した多くのエヤー吹き出し孔を有する多孔質板材に接して配置し、前記多孔質板材にエヤーを供給して、前記ジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートを吹き出しエヤーで前記ガイドレールのベースに対して浮上させて非接触に中空で支持するようにしたことを特徴とするスライドテーブルの非接触ジャバラ。
- 前記ジャバラ支持部材は前記ジャバラ側面からみて、ジャバラ支持プレートの一端部から直角に立ち上がるL字形又はジャバラ支持プレートの中間部から直角に立ち上がる逆T字形であり、かつ前記ジャバラ支持プレートは前記多孔質板材の両側をガイドするガイドを有することを特徴とする請求項1記載のスライドテーブルの非接触ジャバラ。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07156039A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置のジャバラ機構 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07156039A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置のジャバラ機構 |
JP2002331439A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-19 | Canon Inc | 工作機械 |
JP2005240825A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体直動軸受機構 |
JP2006205307A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Shikou:Kk | 工作機械の伸縮カバー |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104690599A (zh) * | 2013-12-03 | 2015-06-10 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
JP2015107529A (ja) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
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