JP5211542B2 - スライドテーブルのジャバラ装置 - Google Patents

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Description

本発明は、スライドテーブルのジャバラ装置に関し、特に高精度加工用工作機械、試験機等のスライドテーブルのジャバラ装置に関する。
従来の工作機械のスライドテーブルのジャバラ装置としては、例えば特許文献1に従来技術として紹介する、工作機械のスライドテーブルのガイドレールに沿って往復可能に設けたキャリッジの一側部とスライドテーブルのガイドレールの一端部との間に、スライドテーブルのガイドレールを覆う伸縮自在のジャバラを設け、ジャバラを支持するジャバラ支持部材をジャバラのガイドレールに沿って配置したガイド溝にローラで支持するものや、ジャバラ支持部材を支持するジャバラ用ナットをリニアボールベアリングで支持するものが開示されている。
特開2000−278930号公報
キャリッジがスライドテーブルのガイドレールに沿って往復すると、スライドテーブルのガイドレールを覆うジャバラが伸縮しジャバラ支持部材を支持するローラ又はジャバラ用ナットが摩耗し、摩耗が大きくなるとローラ又はジャバラ用ナットが案内面と接触し、少しの接触衝撃でも機械精度、特に真直度を悪くするので、ジャバラの交換が必要となった。工作機械では、キャリッジをスライドテーブルのガイドレールに沿って空気軸受けで非接触に中空で支持するものはあるが、ジャバラは伸縮するので空気軸受けで支持することが困難であった。
本発明の課題は、かかる課題を解決した、スライドテーブルのガイドレールを覆うジャバラが伸縮してもジャバラ支持部材を支持するローラ又はジャバラ用ナットが摩耗することを防止して、ローラ又はジャバラ用ナットが案内面と接触し、接触部による振動で機械精度、特に真直度を悪くすることがなく、ジャバラの交換の期間を長くできるスライドテーブルのジャバラ装置を提供することにある。
このため本発明は、スライドテーブルのガイドレールに沿って往復可能に設けたキャリッジの一側部と前記スライドテーブルのガイドレールの一端部との間に、前記スライドテーブルのガイドレールを覆う伸縮自在のジャバラを設け、複数個のジャバラ毎にその端部の一山を固定したジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートを前記ジャバラのガイドレールのベースに配置した多くのエヤー吹き出し孔を有する多孔質板材に接して配置し、前記多孔質板材にエヤーを供給して、前記ジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートを吹き出しエヤーで前記ジャバラのガイドレールのベースに対して浮上させて非接触に中空で支持するようにしたことを特徴とするスライドテーブルのジャバラ装置を提供することによって上記課題を解決した。
本発明では、複数個のジャバラ毎にその端部の一山を固定したジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートをジャバラのガイドレールのベースに配置した多くのエヤー吹き出し孔を有する多孔質板材に接して配置し、多孔質板材にエヤーを供給して、ジャバラ支持部材及びジャバラ支持プレートを吹き出しエヤーでジャバラのガイドレールのベースに対して浮上させて非接触に中空で支持するようにしたので、ジャバラ支持部材はジャバラのガイドレールのベースに対して吹き出しエヤーで浮上させて非接触に中空で支持され、接触部がなくなったので、接触部による振動がなくなり、機械精度、特に真直度を格段に向上させ、ジャバラの交換の期間を長くできるスライドテーブルのジャバラ装置を提供するものとなった。
好ましくは、前記ジャバラ支持部材は前記ジャバラ側面からみて、ジャバラ支持プレートの一端部から直角に立ち上がるL字形であってもよく、又は作動安定のためにジャバラ支持プレートの中間部から直角に立ち上がる逆T字形としてもよく、かつ前記ジャバラ支持プレートは前記多孔質板材の両側をガイドするガイドを有する。
本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図1(a)は本発明の実施の形態の高精度加工用工作機械のスライドテーブルのジャバラ装置を示す要部部分立面図で、スライドテーブルの左部分の側面図である、(b)は(a)のB−B線に沿った部分拡大断面図で、ジャバラの取り付け方法を示し、(c)は(b)のC部をさらに拡大した部分拡大図である。
本発明の実施の形態のスライドテーブルのジャバラ装置は、スライドテーブル3のガイドレールに沿って往復可能に設けたキャリッジ20の一側部21とスライドテーブル3のガイドレールの一端部22との間に、スライドテーブル3のガイドレールを覆う伸縮自在のジャバラ1を設け、複数個のジャバラ1毎にその端部の一山11を固定したジャバラ支持部材10を支持するジャバラ支持プレート13をジャバラのガイドレール30のベース31に配置した図示しない多くのエヤー吹き出し孔を有する多孔質板材4に接して配置し、多孔質板材4エヤー供給口18からエヤーを供給して、ジャバラ支持部材10を支持するジャバラ支持プレート13の底面14を吹き出しエヤーでジャバラのガイドレール30のベース31に対して浮上させて非接触に中空で支持するようにした。供給エヤー19はエヤー供給口18から点線のように多孔質板材4を通り、ジャバラ支持プレート13の底面14と多孔質板材4の両側をガイドするガイド5、5との間に噴出する。
本発明の実施の形態では、ジャバラ支持部材10はジャバラ1側面からみて、ジャバラ支持プレート13の一端部から直角に立ち上がるL字形15であるが、作動安定のためにジャバラ支持プレート13の中間部から直角に立ち上がる図示しない逆T字形としてもよい。図1では、ジャバラ支持部材10のL字形15部分に、複数個のジャバラ端部の一山11の外面を押さえ板12にボルト16で止めて固定しており、かつジャバラ支持プレート13は多孔質板材4の両側をガイドするガイド5、5を有する。
本発明の実施の形態では、複数個のジャバラ毎にその端部の一山を固定したジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートをジャバラのガイドレールのベースに配置した多くのエヤー吹き出し孔を有する多孔質板材に接して配置し、多孔質板材にエヤーを供給してジャバラ支持部材及びジャバラ支持プレートを吹き出しエヤーでジャバラのガイドレールのベースに対して浮上させて非接触に中空で支持するようにしたので、ジャバラ支持部材はジャバラのガイドレールのベースに対して吹き出しエヤーで浮上させて非接触に中空で支持され、接触部がなくなったので、接触部による振動がなくなり、機械精度、特に真直度を格段に向上させ、ジャバラの交換の期間を長くできるスライドテーブルのジャバラ装置を提供するものとなった。
(a)は本発明の実施の形態の高精度加工用工作機械のスライドテーブルの ジャバラ装置を示す要部部分立面図で、スライドテーブルの左部分の側面図であり、 (b)は(a)のB−B線に沿った部分拡大断面図で、ジャバラの取り付け方法を示 し、(c)は(b)のC部をさらに拡大した部分拡大図である。
1:ジャバラ、3:スライドテーブル、10:ジャバラ支持部材、11:ジャバラ端部の一山、13:ジャバラ支持プレート、14:多孔質板材、20:キャリッジ、21:キャリッジの一側部、22:スライドテーブルのガイドレールの一端部、30:ジャバラのガイドレール、31:ジャバラのガイドレールのベース

Claims (2)

  1. スライドテーブルのガイドレールに沿って往復可能に設けたキャリッジの一側部と前記スライドテーブルのガイドレールの一端部との間に、前記スライドテーブルのガイドレールを覆う伸縮自在のジャバラを設け、複数個のジャバラ毎にその端部の一山を固定したジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートを前記ジャバラのガイドレールのベースに配置した多くのエヤー吹き出し孔を有する多孔質板材に接して配置し、前記多孔質板材にエヤーを供給して、前記ジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートを吹き出しエヤーで前記ジャバラのガイドレールのベースに対して浮上させて非接触に中空で支持するようにしたことを特徴とするスライドテーブルのジャバラ装置。
  2. 前記ジャバラ支持部材は前記ジャバラ側面からみて、ジャバラ支持プレートの一端部から直角に立ち上がるL字形又はジャバラ支持プレートの中間部から直角に立ち上がる逆T字形であり、かつ前記ジャバラ支持プレートは前記多孔質板材の両側をガイドするガイドを有することを特徴とする請求項1記載のスライドテーブルのジャバラ装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018039061A (ja) * 2016-09-05 2018-03-15 ファナック株式会社 ジャバラの支持構造及びスライドテーブル装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6261967B2 (ja) * 2013-12-03 2018-01-17 株式会社ディスコ 加工装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07156039A (ja) * 1993-11-30 1995-06-20 Disco Abrasive Syst Ltd 切削装置のジャバラ機構
JP2002331439A (ja) * 2001-05-10 2002-11-19 Canon Inc 工作機械
JP4586378B2 (ja) * 2004-02-24 2010-11-24 オイレス工業株式会社 静圧気体直動軸受機構
JP3895748B2 (ja) * 2005-01-28 2007-03-22 株式会社 シコウ 工作機械の伸縮カバー

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018039061A (ja) * 2016-09-05 2018-03-15 ファナック株式会社 ジャバラの支持構造及びスライドテーブル装置
US10280976B2 (en) 2016-09-05 2019-05-07 Fanuc Corporation Bellows support structure and slide table device
DE102017008244B4 (de) 2016-09-05 2023-03-02 Fanuc Corporation Schiebetischvorrichtung

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