JP5211542B2 - スライドテーブルのジャバラ装置 - Google Patents
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- スライドテーブルのガイドレールに沿って往復可能に設けたキャリッジの一側部と前記スライドテーブルのガイドレールの一端部との間に、前記スライドテーブルのガイドレールを覆う伸縮自在のジャバラを設け、複数個のジャバラ毎にその端部の一山を固定したジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートを前記ジャバラのガイドレールのベースに配置した多くのエヤー吹き出し孔を有する多孔質板材に接して配置し、前記多孔質板材にエヤーを供給して、前記ジャバラ支持部材を支持するジャバラ支持プレートを吹き出しエヤーで前記ジャバラのガイドレールのベースに対して浮上させて非接触に中空で支持するようにしたことを特徴とするスライドテーブルのジャバラ装置。
- 前記ジャバラ支持部材は前記ジャバラ側面からみて、ジャバラ支持プレートの一端部から直角に立ち上がるL字形又はジャバラ支持プレートの中間部から直角に立ち上がる逆T字形であり、かつ前記ジャバラ支持プレートは前記多孔質板材の両側をガイドするガイドを有することを特徴とする請求項1記載のスライドテーブルのジャバラ装置。
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