JPH07156039A - 切削装置のジャバラ機構 - Google Patents
切削装置のジャバラ機構Info
- Publication number
- JPH07156039A JPH07156039A JP32602093A JP32602093A JPH07156039A JP H07156039 A JPH07156039 A JP H07156039A JP 32602093 A JP32602093 A JP 32602093A JP 32602093 A JP32602093 A JP 32602093A JP H07156039 A JPH07156039 A JP H07156039A
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- JP
- Japan
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- bellows
- guide plates
- chuck table
- guide
- sides
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- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 切削水によってガイドプレートが内側に倒れ
込んだり或は歪や捩じれを生じることがなく、防水用ジ
ャバラの動きを常に円滑に出来るようにした、切削装置
のジャバラ機構を提供する。 【構成】 ダイシング装置等の切削装置のジャバラ機構
において、このジャバラ機構はチャックテーブルの両側
に配設されたジャバラと、このジャバラのたわみを防止
するためのガイドプレートと、このガイドプレートを案
内するジャバラガイドと、前記チャックテーブルを挟ん
で配設されている両側のガイドプレートを連結する連結
アームと、から構成される。
込んだり或は歪や捩じれを生じることがなく、防水用ジ
ャバラの動きを常に円滑に出来るようにした、切削装置
のジャバラ機構を提供する。 【構成】 ダイシング装置等の切削装置のジャバラ機構
において、このジャバラ機構はチャックテーブルの両側
に配設されたジャバラと、このジャバラのたわみを防止
するためのガイドプレートと、このガイドプレートを案
内するジャバラガイドと、前記チャックテーブルを挟ん
で配設されている両側のガイドプレートを連結する連結
アームと、から構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、切削装置のジャバラ機
構に関する。
構に関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置等の切削装置において
は、通常半導体ウェーハ等の被切削物に切削水を掛けな
がら切削するため、飛散した切削水が装置の内部に入り
込まないように防水対策が採られている。その防水対策
としては例えば図６に示すように、半導体ウェーハ等の
被切削物を保持するチャックテーブル１の周囲に防水カ
バー２を取り付け、チャックテーブル１がＸ軸方向に動
くことから、その動きに追従出来るように図７に示すよ
うに両側に防水用のジャバラ３、３′を取り付け、回転
ブレード４による切削時に切削水が装置内部に浸入しな
いようにしている。
は、通常半導体ウェーハ等の被切削物に切削水を掛けな
がら切削するため、飛散した切削水が装置の内部に入り
込まないように防水対策が採られている。その防水対策
としては例えば図６に示すように、半導体ウェーハ等の
被切削物を保持するチャックテーブル１の周囲に防水カ
バー２を取り付け、チャックテーブル１がＸ軸方向に動
くことから、その動きに追従出来るように図７に示すよ
うに両側に防水用のジャバラ３、３′を取り付け、回転
ブレード４による切削時に切削水が装置内部に浸入しな
いようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のジャバラ
３、３′によると、図８のように上部に切削水５が溜る
とその重みでジャバラ３、３′がたわみ、ガイドプレー
ト６、６′が内側に倒れ込んだり或は図９に示すように
歪や捩じれを生じることがある。すると、ガイドプレー
ト６、６′は下部に取り付けられたローラー７、７′を
介して図１０に示すジャバラガイド８、８′上での動き
が悪くなり、ジャバラ３、３′の伸縮動作が円滑に出来
ない。このため、チャックテーブルのＸ軸真直度に支障
を来し、延いては切削精度に悪影響を及ぼすことにな
る。尚、図１０において１０２は切削水を排出する排出
孔であり、１０３は排出孔に連通する排出パイプであ
る。１０はモーター１００の駆動により回転するボール
スクリュー１０１によってテーブルガイド１１に沿って
移動する移動テーブルであり、この移動テーブル１０に
より前記チャックテーブル１をＸ軸方向に移動する。前
記のような欠点を防止するために、図１１に示すように
ジャバラ３、３′の上部にパンタグラフＰを取り付けて
切削水５の重さに耐えられるようにしたものもあるが、
パンタグラフＰ自身が下向きに湾曲して却ってジャバラ
３、３′の動きを阻害する等の問題があった。本発明
は、このような従来の問題を解消するためになされ、切
削水によってガイドプレートが内側に倒れ込んだり或は
歪や捩じれを生じることがなく、防水用ジャバラの動き
を常に円滑に保持出来るようにした、切削装置のジャバ
ラ機構を提供することを課題としたものである。
３、３′によると、図８のように上部に切削水５が溜る
とその重みでジャバラ３、３′がたわみ、ガイドプレー
ト６、６′が内側に倒れ込んだり或は図９に示すように
歪や捩じれを生じることがある。すると、ガイドプレー
ト６、６′は下部に取り付けられたローラー７、７′を
介して図１０に示すジャバラガイド８、８′上での動き
が悪くなり、ジャバラ３、３′の伸縮動作が円滑に出来
ない。このため、チャックテーブルのＸ軸真直度に支障
を来し、延いては切削精度に悪影響を及ぼすことにな
る。尚、図１０において１０２は切削水を排出する排出
孔であり、１０３は排出孔に連通する排出パイプであ
る。１０はモーター１００の駆動により回転するボール
スクリュー１０１によってテーブルガイド１１に沿って
移動する移動テーブルであり、この移動テーブル１０に
より前記チャックテーブル１をＸ軸方向に移動する。前
記のような欠点を防止するために、図１１に示すように
ジャバラ３、３′の上部にパンタグラフＰを取り付けて
切削水５の重さに耐えられるようにしたものもあるが、
パンタグラフＰ自身が下向きに湾曲して却ってジャバラ
３、３′の動きを阻害する等の問題があった。本発明
は、このような従来の問題を解消するためになされ、切
削水によってガイドプレートが内側に倒れ込んだり或は
歪や捩じれを生じることがなく、防水用ジャバラの動き
を常に円滑に保持出来るようにした、切削装置のジャバ
ラ機構を提供することを課題としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ダイシング装置等の
切削装置のジャバラ機構において、このジャバラ機構は
チャックテーブルの両側に配設されたジャバラと、この
ジャバラのたわみを防止するためのガイドプレートと、
このガイドプレートを案内するジャバラガイドと、前記
チャックテーブルを挟んで配設されている両側のガイド
プレートを連結する連結アームと、から構成された切削
装置のジャバラ機構を要旨とするものである。
するための手段として、本発明は、ダイシング装置等の
切削装置のジャバラ機構において、このジャバラ機構は
チャックテーブルの両側に配設されたジャバラと、この
ジャバラのたわみを防止するためのガイドプレートと、
このガイドプレートを案内するジャバラガイドと、前記
チャックテーブルを挟んで配設されている両側のガイド
プレートを連結する連結アームと、から構成された切削
装置のジャバラ機構を要旨とするものである。
【０００５】
【作 用】両側のガイドプレートを連結アームで連結し
たのでガイドプレートが堅固に保持され、ジャバラに切
削水が溜ってもガイドプレートが内側に倒れ込んだり、
或は歪や捩じれが生じることはない。従って、ジャバラ
の伸縮動作が常に円滑になされ、チャックテーブルのＸ
軸制御が正確に遂行される。
たのでガイドプレートが堅固に保持され、ジャバラに切
削水が溜ってもガイドプレートが内側に倒れ込んだり、
或は歪や捩じれが生じることはない。従って、ジャバラ
の伸縮動作が常に円滑になされ、チャックテーブルのＸ
軸制御が正確に遂行される。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面により詳説
する。但し、従来例に対応する部材は前記と同一の符号
を付す。図１において、１はチャックテーブルであって
周囲に防水カバー２が取り付けられ、その両側にはジャ
バラ３、３′が装着されている。ジャバラ３、３′の端
部には固定プレート９、９′がそれぞれ取り付けられ、
この固定プレート９、９′を介して従来と同様に所定の
位置（図６参照）に装着されている。
する。但し、従来例に対応する部材は前記と同一の符号
を付す。図１において、１はチャックテーブルであって
周囲に防水カバー２が取り付けられ、その両側にはジャ
バラ３、３′が装着されている。ジャバラ３、３′の端
部には固定プレート９、９′がそれぞれ取り付けられ、
この固定プレート９、９′を介して従来と同様に所定の
位置（図６参照）に装着されている。
【０００７】６、６′は前記ジャバラ３、３′のほぼ中
間位置に取り付けられたガイドプレートであり、図２
(イ) に示すように下部にローラー７、７′がそれぞれ取
り付けられている。図２(ロ) はガイドプレートの他の実
施例を示すもので、ガイドプレート１６、１６′の下部
に一対のローラー１７、１７′をそれぞれ取り付けてあ
る。
間位置に取り付けられたガイドプレートであり、図２
(イ) に示すように下部にローラー７、７′がそれぞれ取
り付けられている。図２(ロ) はガイドプレートの他の実
施例を示すもので、ガイドプレート１６、１６′の下部
に一対のローラー１７、１７′をそれぞれ取り付けてあ
る。
【０００８】前記ガイドプレート６、６′はローラー
７、７′が図１０に示すジャバラガイド８、８′上を動
くことによりジャバラ３、３′を軽く移動出来るように
してある。
７、７′が図１０に示すジャバラガイド８、８′上を動
くことによりジャバラ３、３′を軽く移動出来るように
してある。
【０００９】１２、１２′は前記ガイドプレート６、
６′の側部同士を連結した連結アームであり、この連結
アーム１２、１２′によってガイドプレート６、６′が
堅固に保持されると共に、ガイドプレート６、６′の間
隔が一定に保持される。従って、ジャバラ３、３′の上
部に切削水が溜ったとしてもガイドプレート６、６′が
内側に倒れ込むことはなく、或は歪や捩じれが生じるこ
ともない。
６′の側部同士を連結した連結アームであり、この連結
アーム１２、１２′によってガイドプレート６、６′が
堅固に保持されると共に、ガイドプレート６、６′の間
隔が一定に保持される。従って、ジャバラ３、３′の上
部に切削水が溜ったとしてもガイドプレート６、６′が
内側に倒れ込むことはなく、或は歪や捩じれが生じるこ
ともない。
【００１０】図４(イ) はチャックテーブル１が矢印Ａ方
向に移動する時の状態を示すもので、ジャバラ３が伸び
ると共にジャバラ３′が縮まり、(ロ) はその反対にチャ
ックテーブル１が矢印Ｂ方向に移動する時の状態を示す
もので、ジャバラ３′が伸びると共にジャバラ３が縮ま
る様子を示す。
向に移動する時の状態を示すもので、ジャバラ３が伸び
ると共にジャバラ３′が縮まり、(ロ) はその反対にチャ
ックテーブル１が矢印Ｂ方向に移動する時の状態を示す
もので、ジャバラ３′が伸びると共にジャバラ３が縮ま
る様子を示す。
【００１１】図５は本発明の他の実施例を示すもので、
ガイドプレートが片側に２枚ずつ合計４枚のガイドプレ
ート２６、２６′、３６、３６′が取り付けられ、この
場合にはガイドプレート２６、２６′が連結アーム１１
２、１１２′で連結されると共に、ガイドプレート３
６、３６′が連結アーム２１２、２１２′で連結された
構成になっている。
ガイドプレートが片側に２枚ずつ合計４枚のガイドプレ
ート２６、２６′、３６、３６′が取り付けられ、この
場合にはガイドプレート２６、２６′が連結アーム１１
２、１１２′で連結されると共に、ガイドプレート３
６、３６′が連結アーム２１２、２１２′で連結された
構成になっている。
【００１２】この実施例においても、連結アーム１１
２、１１２′、２１２、２１２′によってガイドプレー
ト２６、２６′３６、３６′が堅固に保持されると共
に、ガイドプレート２６、２６′及び３６、３６′の間
隔がそれぞれ一定に保持される。従って、ジャバラの上
部に切削水が溜ったとしてもガイドプレートが内側に倒
れ込むことはなく、或は歪や捩じれが生じることもな
い。尚、本発明の実施例においては、チャックテーブル
の両側に連結アームを連結しているが、スペース等を考
慮して片側のみに連結アームを連結しても良い。例えば
図１においては連結アーム１２のみとし、図５において
は連結アーム１１２、２１２のみとする等である。
２、１１２′、２１２、２１２′によってガイドプレー
ト２６、２６′３６、３６′が堅固に保持されると共
に、ガイドプレート２６、２６′及び３６、３６′の間
隔がそれぞれ一定に保持される。従って、ジャバラの上
部に切削水が溜ったとしてもガイドプレートが内側に倒
れ込むことはなく、或は歪や捩じれが生じることもな
い。尚、本発明の実施例においては、チャックテーブル
の両側に連結アームを連結しているが、スペース等を考
慮して片側のみに連結アームを連結しても良い。例えば
図１においては連結アーム１２のみとし、図５において
は連結アーム１１２、２１２のみとする等である。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
チャックテーブルの両側に装着されたジャバラのガイド
プレートを連結アームによって連結したのでガイドプレ
ートが堅固に保持され、ジャバラの上部に切削水が溜っ
てもガイドプレートが内側に倒れ込むことはなく、歪や
捩じれが生じることもない。従って、ジャバラの動きが
常に円滑になされ、チャックテーブルのＸ軸制御が正確
に遂行され、高い切削精度が得られる等の優れた効果を
奏する。
チャックテーブルの両側に装着されたジャバラのガイド
プレートを連結アームによって連結したのでガイドプレ
ートが堅固に保持され、ジャバラの上部に切削水が溜っ
てもガイドプレートが内側に倒れ込むことはなく、歪や
捩じれが生じることもない。従って、ジャバラの動きが
常に円滑になされ、チャックテーブルのＸ軸制御が正確
に遂行され、高い切削精度が得られる等の優れた効果を
奏する。
【図１】 本発明の一実施例を示す要部の概略斜視図で
ある。
ある。
【図２】 (イ) 、(ロ) はガイドプレートの実施例を示す
それぞれ斜視図である。
それぞれ斜視図である。
【図３】 図１の概略平面図である。
【図４】 (イ) 、(ロ) はジャバラの動きを示すそれぞれ
説明図である。
説明図である。
【図５】 本発明の他の実施例を示す概略平面図であ
る。
る。
【図６】 従来のジャバラを組み込んだ切削装置を示す
外観図である。
外観図である。
【図７】 従来例を示す要部の概略斜視図である。
【図８】 従来のジャバラに切削水が溜った状態を示す
説明図である。
説明図である。
【図９】 従来のジャバラのガイドプレートに捩じれが
生じた状態を示す説明図である。
生じた状態を示す説明図である。
【図１０】ジャバラガイド周辺部を示す概略斜視図であ
る。
る。
【図１１】従来のジャバラの上部にパンタグラフを設け
た例を示す一部の平面図である。
た例を示す一部の平面図である。
１…チャックテーブル ２…防水カバー ３、３′
…ジャバラ ４…回転ブレード ５…切削水
６、６′…ガイドプレート ７、７′…ローラー
８、８′…ジャバラガイド ９、９′…固定プレート
１０…移動テーブル １１…テーブルガイド
１２、１２′…連絡アーム
…ジャバラ ４…回転ブレード ５…切削水
６、６′…ガイドプレート ７、７′…ローラー
８、８′…ジャバラガイド ９、９′…固定プレート
１０…移動テーブル １１…テーブルガイド
１２、１２′…連絡アーム
Claims (1)
- 【請求項１】 ダイシング装置等の切削装置のジャバラ
機構において、このジャバラ機構はチャックテーブルの
両側に配設されたジャバラと、このジャバラのたわみを
防止するためのガイドプレートと、このガイドプレート
を案内するジャバラガイドと、前記チャックテーブルを
挟んで配設されている両側のガイドプレートを連結する
連結アームと、から構成された切削装置のジャバラ機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32602093A JPH07156039A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 切削装置のジャバラ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32602093A JPH07156039A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 切削装置のジャバラ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07156039A true JPH07156039A (ja) | 1995-06-20 |
Family
ID=18183203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32602093A Pending JPH07156039A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 切削装置のジャバラ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07156039A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008272895A (ja) * | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Nachi Fujikoshi Corp | スライドテーブルの非接触ジャバラ |
| DE102013008564A1 (de) * | 2013-05-17 | 2014-11-20 | Dürr Systems GmbH | Abdichtvorrichtung für ein längs einer Öffnung bewegtes Maschinenteil |
| KR20150060523A (ko) | 2013-11-25 | 2015-06-03 | 토와 가부시기가이샤 | 주름상자 기구 및 그것을 구비한 기판 절단 장치 및 장치 |
| DE102017008244A1 (de) | 2016-09-05 | 2018-03-08 | Fanuc Corporation | Balgstützstruktur und schiebetischvorrichtung |
| CN109560015A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 东和株式会社 | 加工装置 |
| CN110449975A (zh) * | 2019-09-18 | 2019-11-15 | 河北速博机械制造有限公司 | 鳞片固定结构、伸缩护罩及机床 |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP32602093A patent/JPH07156039A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008272895A (ja) * | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Nachi Fujikoshi Corp | スライドテーブルの非接触ジャバラ |
| DE102013008564A1 (de) * | 2013-05-17 | 2014-11-20 | Dürr Systems GmbH | Abdichtvorrichtung für ein längs einer Öffnung bewegtes Maschinenteil |
| DE102013008564B4 (de) | 2013-05-17 | 2022-03-17 | Dürr Systems Ag | Abdichtvorrichtung für ein längs einer Öffnung bewegtes Maschinenteil |
| KR20150060523A (ko) | 2013-11-25 | 2015-06-03 | 토와 가부시기가이샤 | 주름상자 기구 및 그것을 구비한 기판 절단 장치 및 장치 |
| DE102017008244A1 (de) | 2016-09-05 | 2018-03-08 | Fanuc Corporation | Balgstützstruktur und schiebetischvorrichtung |
| JP2018039061A (ja) * | 2016-09-05 | 2018-03-15 | ファナック株式会社 | ジャバラの支持構造及びスライドテーブル装置 |
| US10280976B2 (en) | 2016-09-05 | 2019-05-07 | Fanuc Corporation | Bellows support structure and slide table device |
| DE102017008244B4 (de) | 2016-09-05 | 2023-03-02 | Fanuc Corporation | Schiebetischvorrichtung |
| CN109560015A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 东和株式会社 | 加工装置 |
| CN109560015B (zh) * | 2017-09-27 | 2023-06-02 | 东和株式会社 | 加工装置 |
| CN110449975A (zh) * | 2019-09-18 | 2019-11-15 | 河北速博机械制造有限公司 | 鳞片固定结构、伸缩护罩及机床 |
| CN110449975B (zh) * | 2019-09-18 | 2024-03-08 | 河北速博机械制造有限公司 | 鳞片固定结构、伸缩护罩及机床 |
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