JP2006030119A - 静圧気体軸受を用いた計測器支持台、計測器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ダイヤルゲージ(2)等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台(10)により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。
【選択図】 図1
Description
計測器支持台と定盤との摩擦による振動で、計測装置の機構に無用の疲労を与え計測器の精度を低下させるため、計測精度を維持できない。
従来、静圧といえばスピンドル軸受、リニアガイド等1軸方向にしか自由度が与えられなかったので、2次元平面上に安定した静圧機構を開放した本発明はこの点で大きな特徴がある。
上部面が平らなので支柱の下端に載置用のマグネット台を有するものならば、支持台上部面の任意の場所に計測器を載置する設置方法もある。この場合でも重心(G3)は、支持台上部面の任意の場所に計測器を載置するたび異なるが底面(11b)は傾斜したまま安定静止状態を維持し計測を継続できる。
排気トンネル(19e)を設け、圧縮空気の逃げを実施する例である。この形態の長所は底面凸部(19a)は溝がない分面積が大きいため、吐出口からの排気量が同じでも高い静圧剛性が得られる。そのため、排気トンネルの成形に手間がかかるという欠点があるものの、重量の大きな物を支持したい場合に採用の可能性を見出せる形態である。
(従来の形態)
25 チャンバー
35 チャンバー
213 チャンバー
h 空隙
h2 空隙
S 空圧源
211 自成絞り
212 オリフィス絞り
Claims (5)
- 計測器支持台の上部に計測器の固定部又は載置部を備え、該計測器支持台底面内側が凹状でありで底面外側が凸状で、該凸状面が静圧軸受面領域となり、そこに圧縮空気の吐出口を設けたことを特徴とする計測器支持台。
- 底面外側の凸状面に圧縮空気の逃げ溝を設けたことを特徴とする請求項1の計測器支持台。
- 外装部を一体にし、その内部面に圧縮空気のチャンバーを形成すための溝構造を設けたことを特徴とする請求項1の計測器支持台。
- 計測器の重心位置を自在に設定できる固定部又は載置部を設けたことを特徴とする請求項1の計測器支持台。
- 計測器の底面内側が凹状であり底面外側が凸状で、該凸状面が静圧軸受面領域となり、そこに圧縮空気の吐出口と圧縮空気の逃げ溝を設けたことを特徴とする計測器。
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JP2004212751A JP2006030119A (ja) | 2004-07-21 | 2004-07-21 | 静圧気体軸受を用いた計測器支持台、計測器 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102706549A (zh) * | 2012-06-01 | 2012-10-03 | 南通市建筑科学研究院有限公司 | 静载试验百分表用便携式支撑装置 |
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2004
- 2004-07-21 JP JP2004212751A patent/JP2006030119A/ja active Pending
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