JP2006161898A - エアスライド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 エアスライド装置1は、互いに所定の間隔を保持して平行に配置されていると共に夫々丸棒からなる2本のレール2及び3と、レール2及び3の夫々の外周面4に装着されていると共に外周面4との間でしかも外周面4と協同して環状隙間を形成する内周面26を有したエアベアリング5と、エアベアリング5の夫々に固定された弾性支持体6と、各弾性支持体6に固定されていると共にエアベアリング5同士を連結しているテーブル7とを備えている。
【選択図】図1
Description
2、3 レール
4 外周面
5 エアベアリング
6 弾性支持体
7 テーブル
Claims (8)
- 互いに所定の間隔を保持して平行に配置されていると共に夫々丸棒からなる少なくとも2本のレールと、該レールの夫々の外周面に装着されていると共に当該外周面と協同して環状隙間を形成する内周面を有したエアベアリングと、該エアベアリングの夫々に固定された弾性支持体と、該弾性支持体に固定されていると共に該弾性支持体を介して該エアベアリング同士を連結しているテーブルとを備えており、エアによる気体膜が該環状隙間に形成されるようになっているエアスライド装置。
- エアベアリングは、該内周面を有したエアベアリング本体と、エアベアリング本体を内装した保持体とを具備している請求項1に記載のエアスライド装置。
- 弾性支持体は、その一方の端部で保持体に固定されていると共にその他方の端部でテーブルに固定されてエアベアリングとテーブルとの間に介在されている請求項2に記載のエアスライド装置。
- 弾性支持体は、その一方の端部と他方の端部との間にショアA硬度40〜70の弾性体及び/又は粘弾性体を有している請求項1から3のいずれか一項に記載のエアスライド装置。
- エアベアリングの該内周面の内径と当該内周面の軸方向の長さとの比は0.5〜2.0である請求項1から4のいずれか一項に記載のエアスライド装置。
- エアベアリングは、ステンレス鋼からなる円筒状の裏金と、該裏金の内面に該内面に形成された接合層を介して一体に接合された多孔質金属焼結層と、裏金の内面に当該内面側で開口して形成されていると共に当該内面側の開口が該多孔質金属焼結層によって覆われている環状溝と、該裏金に設けられていると共に該環状溝に圧縮空気を供給する圧縮空気供給孔とを具備している請求項1から5のいずれか一項に記載のエアスライド装置。
- 多孔質金属焼結層の粒界には無機物質粒子が含有されている請求項6に記載のエアスライド装置。
- 多孔質金属焼結層は、少なくとも錫、ニッケル、燐及び銅を含んでおり、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カリウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうち少なくとも一つを含有している請求項7に記載のエアスライド装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2004
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