JP2015095562A - 導電ペーストの充填方法、および多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の主面および前記第1の主面の反対側の第2の主面を有する絶縁基材と、前記絶縁基材の前記第2の主面に設けられた金属箔とを有する金属箔張積層板を準備する工程と、
前記金属箔張積層板の前記第1の主面に保護フィルムを設ける工程と、
前記保護フィルムおよび前記絶縁基材を部分的に除去することにより、底面に前記金属箔が露出した有底ビアホールを形成する穿孔工程と、
前記保護フィルムを表面から途中まで除去して、底面に前記有底ビアホールが露出した導電ペースト流動用溝を形成する溝形成工程と、
導電ペースト注入用流路および真空排気用流路が設けられたハウジング部材であって、前記導電ペースト注入用流路および前記真空排気用流路の一端が開口した開口面を有する、ハウジング部材を準備するハウジング部材準備工程と、
前記開口面が前記保護フィルムに対向するように前記ハウジング部材を前記保護フィルム上に配置することにより、前記導電ペースト注入用流路および前記真空排気用流路を、前記有底ビアホール、前記導電ペースト流動用溝および前記ハウジング部材の前記開口面により画成される導電ペースト流動空間に連通させるハウジング部材配置工程と、
前記真空排気用流路を介して前記導電ペースト流動空間を減圧する工程と、
前記導電ペースト注入用流路を介して導電ペーストを前記導電ペースト流動空間に注入することにより、前記有底ビアホール内に前記導電ペーストを充填する充填工程と、
を備えることを特徴とする。
前記導電ペーストの充填方法により前記金属箔張積層板に形成された有底ビアホールに導電ペーストが充填された第1および第2の配線基材を準備する工程と、
前記保護フィルムが有する接着剤層を前記第1の配線基材に残すように前記第1の配線基材の前記保護フィルムを剥離し、前記有底ビアホールに充填された導電ペーストの一部を突出させる工程と、
前記第2の配線基材の前記保護フィルムを、前記保護フィルムが有する微粘着性の接着剤層とともに剥離し、前記有底ビアホールに充填された導電ペーストの一部を突出させる工程と、
前記第1および第2の配線基材を、前記導電ペーストの突出部同士が当接するように積層し、前記積層された第1および第2の配線基材を加熱して一体化する一体化工程と、
を備えることを特徴とする。
1a,1b 主面
2 金属箔
2a 穿孔加工用マスク
2b 受けランド
3 金属箔張積層板
4 接着剤層
5 絶縁フィルム
6 保護フィルム
7,8,9,12,14,15,16 有底ビアホール
10,17 ダミー有底ビアホール
11,13 導電ペースト流動用溝
19 穿孔基材
20 導電ペースト
21,22,23 (有底ビアホールに充填された)導電ペースト
21a,22a,23a 突出部
24 導電ビア
25,25A,26 配線基材
27,28 配線パターン
29 多層プリント配線板
30,30P,30Q ハウジング部材
30a 開口面
30b 上面
30c 側面
31 導電ペースト注入用流路
32 真空排気用流路
33,35 モニタ用貫通孔
34 透明材料
S 導電ペースト流動空間
Claims (10)
- 第1の主面および前記第1の主面の反対側の第2の主面を有する絶縁基材と、前記絶縁基材の前記第2の主面に設けられた金属箔とを有する金属箔張積層板を準備する工程と、
前記金属箔張積層板の前記第1の主面に保護フィルムを設ける工程と、
前記保護フィルムおよび前記絶縁基材を部分的に除去することにより、底面に前記金属箔が露出した有底ビアホールを形成する穿孔工程と、
前記保護フィルムを表面から途中まで除去して、底面に前記有底ビアホールが露出した導電ペースト流動用溝を形成する溝形成工程と、
導電ペースト注入用流路および真空排気用流路が設けられたハウジング部材であって、前記導電ペースト注入用流路および前記真空排気用流路の一端が開口した開口面を有する、ハウジング部材を準備するハウジング部材準備工程と、
前記開口面が前記保護フィルムに対向するように前記ハウジング部材を前記保護フィルム上に配置することにより、前記導電ペースト注入用流路および前記真空排気用流路を、前記有底ビアホール、前記導電ペースト流動用溝および前記ハウジング部材の前記開口面により画成される導電ペースト流動空間に連通させるハウジング部材配置工程と、
前記真空排気用流路を介して前記導電ペースト流動空間を減圧する工程と、
前記導電ペースト注入用流路を介して導電ペーストを前記導電ペースト流動空間に注入することにより、前記有底ビアホール内に前記導電ペーストを充填する充填工程と、
を備えることを特徴とする導電ペーストの充填方法。 - 前記穿孔工程において、前記有底ビアホールを複数形成し、
前記溝形成工程において、前記複数の有底ビアホールを繋ぐように前記導電ペースト流動用溝を形成することを特徴とする請求項1に記載の導電ペーストの充填方法。 - 前記溝形成工程において、前記複数の有底ビアホールを一回ずつ通るように前記導電ペースト流動用溝を一筆書き状に形成することを特徴とする請求項2に記載の導電ペーストの充填方法。
- 前記充填工程の間、前記ハウジング部材に対して前記保護フィルムの方向に前記導電ペーストの注入圧力よりも大きい圧力を加えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の導電ペーストの充填方法。
- 前記保護フィルムおよび前記絶縁基材を部分的に除去することによりダミー有底ビアホールを形成し、前記ダミー有底ビアホールは、前記ハウジング部材が前記保護フィルム上に配置された状態において、前記導電ペースト流動空間に連通し、かつ、前記有底ビアホールと前記真空排気用流路の間に位置する、工程をさらに備え、
前記充填工程において、前記ダミー有底ビアホールに前記導電ペーストが流入した時点で、前記導電ペーストの注入を終了することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の導電ペーストの充填方法。 - 前記ハウジング部材準備工程において、
前記ハウジング部材が前記保護フィルム上に配置された状態において前記ダミー有底ビアホールの上方に位置する開口面に一端が開口し且つ前記ハウジング部材を前記金属箔張積層板の厚さ方向に貫通するモニタ用貫通孔が設けられ、前記モニタ用貫通孔に透明材料が気密に嵌め込まれたハウジング部材を準備し、
前記充填工程において、
前記ダミー有底ビアホールに導電ペーストが流入したことを、前記モニタ用貫通孔を介して検出した時点で、前記導電ペーストの注入を終了することを特徴とする請求項5に記載の導電ペーストの充填方法。 - 前記ハウジング部材準備工程において、
前記ハウジング部材が前記保護フィルム上に配置された状態において前記有底ビアホールの上方に位置する開口面に一端が開口し且つ前記ハウジング部材を前記金属箔張積層板の厚さ方向に貫通するモニタ用貫通孔が設けられ、前記モニタ用貫通孔に透明材料が気密に嵌め込まれたハウジング部材を準備し、
前記充填工程において、
導電ペーストが前記有底ビアホール内を充填したことを、前記モニタ用貫通孔を介して検出した時点で、前記導電ペーストの注入を終了することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の導電ペーストの充填方法。 - 20〜30℃における前記導電ペーストの粘度は、500〜2000dPa・secであることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の導電ペーストの充填方法。
- 前記充填工程において、揮発する溶剤を含まない導電ペーストを使用することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の導電ペーストの充填方法。
- 請求項1〜9のいずれかに記載の導電ペーストの充填方法により前記金属箔張積層板に形成された有底ビアホールに導電ペーストが充填された第1および第2の配線基材を準備する工程と、
前記保護フィルムが有する接着剤層を前記第1の配線基材に残すように前記第1の配線基材の前記保護フィルムを剥離し、前記有底ビアホールに充填された導電ペーストの一部を突出させる工程と、
前記第2の配線基材の前記保護フィルムを、前記保護フィルムが有する微粘着性の接着剤層とともに剥離し、前記有底ビアホールに充填された導電ペーストの一部を突出させる工程と、
前記第1および第2の配線基材を、前記導電ペーストの突出部同士が当接するように積層し、前記積層された第1および第2の配線基材を加熱して一体化する一体化工程と、
を備えることを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018166173A (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | 日本メクトロン株式会社 | プリント配線板の製造方法、および保護フィルム |
US10765000B2 (en) | 2018-07-25 | 2020-09-01 | Nippon Mektron, Ltd. | Method for manufacturing multilayer printed circuit board |
CN114585160A (zh) * | 2020-11-18 | 2022-06-03 | 深南电路股份有限公司 | 一种电路板切割余料的清除方法、系统及电路板 |
WO2023018180A1 (ko) * | 2021-08-10 | 2023-02-16 | 삼성전자 주식회사 | 회로 기판 모듈 및 그 제조 방법 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9578735B2 (en) | 2015-07-13 | 2017-02-21 | International Business Machines Corporation | Embedded venting system |
DE102016006813B4 (de) * | 2016-06-03 | 2021-04-08 | Ksg Austria Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Mehrlagenleiterplatte mit Kontaktierung von Innenlagen sowie Mehrlagenleiterplatte |
KR102652604B1 (ko) * | 2016-06-08 | 2024-04-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
CN108933154B (zh) * | 2017-05-26 | 2021-04-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 有机发光二极管显示基板的制备方法、显示基板及显示装置 |
JPWO2019107289A1 (ja) * | 2017-11-28 | 2020-11-19 | 住友電工プリントサーキット株式会社 | フレキシブルプリント配線板の製造方法及びフレキシブルプリント配線板 |
CN110213893A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-06 | 江西景旺精密电路有限公司 | 一种梯形板的制作方法 |
DE102019208330A1 (de) * | 2019-06-07 | 2020-12-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung eines Verbindungs-Bereichs auf einem Substrat für eine elektrische Baugruppe und Substrat dazu |
US11197384B1 (en) * | 2020-06-29 | 2021-12-07 | Quanta Computer Inc. | Tool-less latch system for a node sled |
CN116487293B (zh) * | 2023-04-24 | 2024-04-12 | 湖北通格微电路科技有限公司 | 一种微孔填充装置及微孔填充方法 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60502282A (ja) * | 1983-09-21 | 1985-12-26 | アライド コ−ポレイシヨン | プリント回路基板の製造方法 |
GB2212333A (en) * | 1987-11-11 | 1989-07-19 | Gen Electric Co Plc | Method of fabricating multi-layer circuits |
JPH03104614A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-01 | Omron Corp | 複合成形回路基板の製造方法 |
JPH04328893A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-17 | Toshiba Chem Corp | 電気回路成形品の製造方法 |
JPH08148805A (ja) * | 1994-11-22 | 1996-06-07 | Sony Corp | プリント配線板の製造方法 |
US5673846A (en) * | 1995-08-24 | 1997-10-07 | International Business Machines Corporation | Solder anchor decal and method |
JP3092348B2 (ja) * | 1992-09-09 | 2000-09-25 | 株式会社デンソー | 射出成形用金型 |
JP2004105978A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Dowa Mining Co Ltd | 金属−セラミックス複合部材の製造装置、製造用鋳型、並びに製造方法 |
JP2007081053A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Fujikura Ltd | 複合基板及びその製造方法、並びに電子装置 |
JP2010129662A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Napura:Kk | 微細空間への金属充填方法 |
WO2010071574A1 (en) * | 2008-12-16 | 2010-06-24 | Cheng Shi | Stretchable high-frequency electronics |
JP2010228104A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-14 | Denso Corp | 導電材料の充填装置およびそれを用いた充填方法 |
US20100314041A1 (en) * | 2008-02-20 | 2010-12-16 | Agency For Science, Technology And Research | Method of making a multilayer substrate with embedded metallization |
DE102010009452A1 (de) * | 2009-09-22 | 2011-04-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Träger zum elektrischen Verbinden mehrerer Kontakte mindestens eines auf den Träger aufgebrachten Chips und Verfahren zum Herstellen des Trägers |
WO2012132325A1 (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | 住友ベークライト株式会社 | プリント配線基板、プリント配線基板の製造方法および半導体装置 |
WO2013027718A1 (ja) * | 2011-08-23 | 2013-02-28 | 株式会社フジクラ | 部品実装プリント基板及びその製造方法 |
JP2013171862A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-02 | Tokyo Electron Ltd | 金属ペースト充填方法及び金属ペースト充填装置及びビアプラグ作製方法 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1346993A (en) * | 1970-05-20 | 1974-02-13 | Dowty Seals Ltd | Method for the production of shaped articles |
DE3630211A1 (de) * | 1985-09-04 | 1987-07-09 | Helmut Fuchs | Verfahren zum vergiessen von giessharzen, insbesondere epoxydmischungen in giessformen (blisters), hergestellt im folientiefziehverfahren zur herstellung insbesondere von kunststoffglaesern und brillenrohlingen sowie von kunststoffteilen aller art |
US5238381A (en) * | 1992-07-20 | 1993-08-24 | Ford Motor Company | Disposable vent lines with reusable monitors for fabricating molded workpiece |
US6231333B1 (en) * | 1995-08-24 | 2001-05-15 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for vacuum injection molding |
US6193910B1 (en) * | 1997-11-11 | 2001-02-27 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Paste for through-hole filling and printed wiring board using the same |
TW409383B (en) * | 1998-12-31 | 2000-10-21 | World Wiser Electronics Inc | Apparatus of plug hole process and the method thereof |
US6452117B2 (en) * | 1999-08-26 | 2002-09-17 | International Business Machines Corporation | Method for filling high aspect ratio via holes in electronic substrates and the resulting holes |
US6461136B1 (en) * | 1999-08-26 | 2002-10-08 | International Business Machines Corp. | Apparatus for filling high aspect ratio via holes in electronic substrates |
JP4486196B2 (ja) | 1999-12-08 | 2010-06-23 | イビデン株式会社 | 多層プリント配線板用片面回路基板およびその製造方法 |
FR2803228B1 (fr) * | 2000-01-03 | 2002-02-08 | Novatec Sa Soc | Dispositif de remplissage collectif de cavites borgnes |
JP2002217509A (ja) | 2001-01-15 | 2002-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板へのペースト充填方法およびその装置 |
JP2003037360A (ja) | 2001-05-18 | 2003-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | ペースト充填装置及びペースト充填方法 |
JP3952872B2 (ja) | 2001-10-10 | 2007-08-01 | 株式会社デンソー | 流動状物質の充填装置および充填方法 |
US7263769B2 (en) * | 2004-10-20 | 2007-09-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Multi-layered flexible print circuit board and manufacturing method thereof |
JP4996838B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-08-08 | 三菱樹脂株式会社 | 多層配線基板 |
KR100796524B1 (ko) | 2006-09-20 | 2008-01-21 | 삼성전기주식회사 | 다층 인쇄회로기판 제조방법 |
US20090039140A1 (en) * | 2007-08-06 | 2009-02-12 | Raschid Jose Bezama | Solder Mold With Venting Channels |
JP2011066293A (ja) | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Murata Mfg Co Ltd | 樹脂基板およびその製造方法、ならびに導電性ペースト |
JP5595363B2 (ja) | 2011-09-30 | 2014-09-24 | 富士フイルム株式会社 | 穴付き積層体の製造方法、穴付き積層体、多層基板の製造方法、下地層形成用組成物 |
AT512318B1 (de) * | 2011-12-22 | 2016-06-15 | Elast Kunststoffverarbeitungs-Gmbh & Co Keg | Verfahren zur herstellung von spritzgussteilen und vorrichtung zur durchführung dieses verfahrens |
US20140093643A1 (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Tyco Electronics Services Gmbh | Method and system of depositing a viscous material into a surface cavity |
-
2013
- 2013-11-12 JP JP2013234267A patent/JP6138026B2/ja active Active
-
2014
- 2014-11-10 US US14/892,345 patent/US10321578B2/en active Active
- 2014-11-10 CN CN201480033848.2A patent/CN105309055B/zh active Active
- 2014-11-10 WO PCT/JP2014/079754 patent/WO2015072431A1/ja active Application Filing
- 2014-11-12 TW TW103139229A patent/TWI601468B/zh active
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60502282A (ja) * | 1983-09-21 | 1985-12-26 | アライド コ−ポレイシヨン | プリント回路基板の製造方法 |
GB2212333A (en) * | 1987-11-11 | 1989-07-19 | Gen Electric Co Plc | Method of fabricating multi-layer circuits |
JPH03104614A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-01 | Omron Corp | 複合成形回路基板の製造方法 |
JPH04328893A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-17 | Toshiba Chem Corp | 電気回路成形品の製造方法 |
JP3092348B2 (ja) * | 1992-09-09 | 2000-09-25 | 株式会社デンソー | 射出成形用金型 |
JPH08148805A (ja) * | 1994-11-22 | 1996-06-07 | Sony Corp | プリント配線板の製造方法 |
US5673846A (en) * | 1995-08-24 | 1997-10-07 | International Business Machines Corporation | Solder anchor decal and method |
JP2004105978A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Dowa Mining Co Ltd | 金属−セラミックス複合部材の製造装置、製造用鋳型、並びに製造方法 |
JP2007081053A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Fujikura Ltd | 複合基板及びその製造方法、並びに電子装置 |
US20100314041A1 (en) * | 2008-02-20 | 2010-12-16 | Agency For Science, Technology And Research | Method of making a multilayer substrate with embedded metallization |
JP2010129662A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Napura:Kk | 微細空間への金属充填方法 |
WO2010071574A1 (en) * | 2008-12-16 | 2010-06-24 | Cheng Shi | Stretchable high-frequency electronics |
JP2010228104A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-14 | Denso Corp | 導電材料の充填装置およびそれを用いた充填方法 |
DE102010009452A1 (de) * | 2009-09-22 | 2011-04-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Träger zum elektrischen Verbinden mehrerer Kontakte mindestens eines auf den Träger aufgebrachten Chips und Verfahren zum Herstellen des Trägers |
WO2012132325A1 (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | 住友ベークライト株式会社 | プリント配線基板、プリント配線基板の製造方法および半導体装置 |
WO2013027718A1 (ja) * | 2011-08-23 | 2013-02-28 | 株式会社フジクラ | 部品実装プリント基板及びその製造方法 |
JP2013171862A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-02 | Tokyo Electron Ltd | 金属ペースト充填方法及び金属ペースト充填装置及びビアプラグ作製方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018166173A (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-25 | 日本メクトロン株式会社 | プリント配線板の製造方法、および保護フィルム |
US10765000B2 (en) | 2018-07-25 | 2020-09-01 | Nippon Mektron, Ltd. | Method for manufacturing multilayer printed circuit board |
CN114585160A (zh) * | 2020-11-18 | 2022-06-03 | 深南电路股份有限公司 | 一种电路板切割余料的清除方法、系统及电路板 |
WO2023018180A1 (ko) * | 2021-08-10 | 2023-02-16 | 삼성전자 주식회사 | 회로 기판 모듈 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105309055B (zh) | 2018-06-08 |
CN105309055A (zh) | 2016-02-03 |
TWI601468B (zh) | 2017-10-01 |
US10321578B2 (en) | 2019-06-11 |
WO2015072431A1 (ja) | 2015-05-21 |
JP6138026B2 (ja) | 2017-05-31 |
TW201531189A (zh) | 2015-08-01 |
US20160095227A1 (en) | 2016-03-31 |
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