JP2007335631A - 積層配線板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明では、複数層の配線パターンの形成の操作と絶縁層の導通孔形成の操作とを並行して行うことにより積層配線板の製造納期を短縮することができる、積層配線板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】両面に接着材層23を備えるとともに、この接着層23の上層に剥離可能なカバーフィルム24を備える接着材付き絶縁基材の所定の位置にカバーフィルム24が付いた状態で、導電性樹脂7で充填された複数の貫通孔8を形成し、両面に配線層が形成されるとともに、これら両面の配線層を導通させるフィルドビアが形成された複数の導体付き絶縁基材と、カバーフィルム24を剥がされた前記接着材付き絶縁基材とを積層プレスにて一括に積層する。
【選択図】図4
【解決手段】両面に接着材層23を備えるとともに、この接着層23の上層に剥離可能なカバーフィルム24を備える接着材付き絶縁基材の所定の位置にカバーフィルム24が付いた状態で、導電性樹脂7で充填された複数の貫通孔8を形成し、両面に配線層が形成されるとともに、これら両面の配線層を導通させるフィルドビアが形成された複数の導体付き絶縁基材と、カバーフィルム24を剥がされた前記接着材付き絶縁基材とを積層プレスにて一括に積層する。
【選択図】図4
Description
本発明は、積層配線板の製造方法、特に、ビルドアップ法により多層配線を形成する積層配線板の製造方法に関する。
半導体素子等の電子部品を搭載する配線基板として、層間に絶縁層を介して形成された複数の配線層を電気的に接続しつつ積層して形成した多層配線基板が多く用いられている。従来、この種の多層配線基板はいわゆるビルドアップ法を用いて製造されることが多い(例えば、特許文献1参照)。ビルドアップ法とは、絶縁層に導電性を有するビアを形成し、このビアを介して配線層に形成された配線パターンを層間接続しつつ配線層と絶縁層とを積層していく方法である。
従来のビルドアップ法による多層配線板の製造方法の1例について以下に説明する。
まず、表裏に配線層としての銅箔の付いた絶縁性樹脂または絶縁性樹脂とガラス繊維とからなるコア基板の所定の位置にドリルによって貫通孔を開け、この貫通孔の内表面に無電解メッキと電解メッキを順次施すことによって銅を析出させ、表裏間の導通を取れるようにした銅メッキ付き貫通穴(Plated Through Hole(以下PTHと称する))を形成する。そして、表裏の配線層の銅箔を所定の厚みまでエッチングした後、フォトリソグラフィーで表裏の配線パターンを形成する。
まず、表裏に配線層としての銅箔の付いた絶縁性樹脂または絶縁性樹脂とガラス繊維とからなるコア基板の所定の位置にドリルによって貫通孔を開け、この貫通孔の内表面に無電解メッキと電解メッキを順次施すことによって銅を析出させ、表裏間の導通を取れるようにした銅メッキ付き貫通穴(Plated Through Hole(以下PTHと称する))を形成する。そして、表裏の配線層の銅箔を所定の厚みまでエッチングした後、フォトリソグラフィーで表裏の配線パターンを形成する。
次に、片面に配線層としての銅箔の付いた2枚の絶縁板をそれぞれ銅箔のついた面を外側にして前記コア基板の両面に重ね合わせた状態で、熱間プレスによって積層する。この後、これら2枚の絶縁板の所定の位置の銅箔をフォトリソグラフィーで除去して開口部を形成し、この開口部にレーザーを照射して絶縁板を貫通しコア基板の表面で止まる穴(以下ビアと称する)を形成する。そして、このビアを無電解メッキと電解めっきによって銅で充填し、銅が充填されたビア(以下フィルドビアと称する)を形成する。次に、表裏両面に露出している配線層の銅を所定の厚みまでエッチングして薄くし、フォトリソグラフィーでそれぞれ配線パターンを形成する。
さらに、片面に銅箔の付いた絶縁板を積層する操作、フィルドビア形成の操作、配線パターンの形成の操作を順次繰り返すことによって、所定の配線層数を有する多層配線基板を製造することができる。
しかし、このように従来の製造方法では絶縁層と導体層を順次積み上げていくことによって多層配線基板を製造するので、積層プレス工程を複数回行う必要があるなど、一枚の多層配線基板を製造するための工程数が多く、さらにそれらの操作を順次行う必要があるため納期が長いという問題がある。
特開2004−55633号公報
しかし、このように従来の製造方法では絶縁層と導体層を順次積み上げていくことによって多層配線基板を製造するので、積層プレス工程を複数回行う必要があるなど、一枚の多層配線基板を製造するための工程数が多く、さらにそれらの操作を順次行う必要があるため納期が長いという問題がある。
本発明では、複数の導体層の形成と、複数の絶縁基材に設けられ、これらの導体層間を導通する貫通孔の形成とを並行して行うことができ、納期を短縮することができる、積層配線板の製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供している。
本発明に係る積層配線板を製造する方法は、複数の導体層と複数の絶縁基材とを交互に積層してなるとともに、前記複数の導体層は前記絶縁基材に形成された貫通孔を介して導通状態に接続された積層配線板を製造する方法であって、両面に接着層を備えるとともに、この接着層の上層に剥離可能なカバーフィルムを備える接着材付き絶縁基材の所定の位置に、前記カバーフィルムが付いた状態で前記貫通孔を形成し、この貫通孔の内部に少なくとも表裏導通する導電性材料を付着した後、前記接着材付き絶縁基材の両面の前記カバーフィルムを剥がし、このカバーフィルムを剥がされた前記接着材付き絶縁基材と、両面に前記導体層が形成されるとともに前記両導体層を導通状態とする前記貫通孔が形成された複数の導体付き絶縁基材とを交互に重ね合わせ、積層プレスにて一括に積層することを特徴とする。
本発明に係る積層配線板を製造する方法は、複数の導体層と複数の絶縁基材とを交互に積層してなるとともに、前記複数の導体層は前記絶縁基材に形成された貫通孔を介して導通状態に接続された積層配線板を製造する方法であって、両面に接着層を備えるとともに、この接着層の上層に剥離可能なカバーフィルムを備える接着材付き絶縁基材の所定の位置に、前記カバーフィルムが付いた状態で前記貫通孔を形成し、この貫通孔の内部に少なくとも表裏導通する導電性材料を付着した後、前記接着材付き絶縁基材の両面の前記カバーフィルムを剥がし、このカバーフィルムを剥がされた前記接着材付き絶縁基材と、両面に前記導体層が形成されるとともに前記両導体層を導通状態とする前記貫通孔が形成された複数の導体付き絶縁基材とを交互に重ね合わせ、積層プレスにて一括に積層することを特徴とする。
このような製造方法で積層配線板を製造すると、導体層の形成、およびこれらの導体層間を導通する貫通孔の形成を必要とする複数の絶縁基材の製造を並行して行うことができる。
本発明に係る積層配線板を製造する方法において、前記導電性材料は前記貫通孔に充填された導電性樹脂であることを特徴とする。
カバーフィルムの付いた接着材付き絶縁基材に形成された貫通孔に導電性樹脂からなるペーストを印刷して充填すると、この導電性樹脂を介して接着材付き絶縁基材の両面に積層された導体付き絶縁基材の導体層同士を導通させることができ、無電解メッキおよび電解メッキを用いてPTHを形成する方法に比べ、工程を簡略化して工程数を削減することができる。
本発明によれば、1回の積層プレス工程で複数の導体層付き絶縁基板と複数の接着材付き絶縁基板とを一括して積層して多層配線基板を製造するので、導体層とこの導体層間を導通する貫通孔を有する複数の導体層付き絶縁基材の製造と、導電性の貫通孔を有する複数の接着材付き絶縁基材の製造とを並行して行うことができ、多層配線基板の製造にかかる納期を短縮することができる。
また、カバーフィルムの付いた接着材付き基材に形成された貫通孔に導電性樹脂からなるペーストを印刷して充填することによって、無電解メッキおよび電解メッキを用いてPTHを形成する場合に比べて、工程を簡単化することができるとともに、工程数を削減できるので、納期を短縮することができる。
本発明の一実施形態である積層配線板を製造する方法を図1〜図4に基づいて説明する。
図1は本発明の積層配線板を製造する方法によって製造されたビルドアップ8層積層板1を示す。
ビルドアップ8層積層板1は、図1に示すように、銅(Cu)からなる第1配線層2a、第2配線層2b、第3配線層2c、第4配線層2d、第5配線層2e、第6配線層2f、第7配線層2g、および第8配線層2hと、4層の絶縁層3aおよび3層の絶縁層3bとが交互に積層された構成となっており、第1配線層2aと第2配線層2b、第3配線層2cと第4配線層2d、第5配線層2eと第6配線層2f、および第7配線層2gと第8配線層2hとの間はそれぞれ4層の絶縁層3aに形成された複数のフィルドビア5によって接続され、第2配線層2bと第3配線層2c、第4配線層2dと第5配線層2e、および第6配線層2fと第7配線層2gとはそれぞれ絶縁層3bに形成され、導電性樹脂7が充填された貫通孔8によって接続されている。ここで、フィルドビア5は絶縁層3aに形成された小径の貫通孔(以下ビアと称する)の内部が銅などの導電体材料で充填されたものをいう。
図1は本発明の積層配線板を製造する方法によって製造されたビルドアップ8層積層板1を示す。
ビルドアップ8層積層板1は、図1に示すように、銅(Cu)からなる第1配線層2a、第2配線層2b、第3配線層2c、第4配線層2d、第5配線層2e、第6配線層2f、第7配線層2g、および第8配線層2hと、4層の絶縁層3aおよび3層の絶縁層3bとが交互に積層された構成となっており、第1配線層2aと第2配線層2b、第3配線層2cと第4配線層2d、第5配線層2eと第6配線層2f、および第7配線層2gと第8配線層2hとの間はそれぞれ4層の絶縁層3aに形成された複数のフィルドビア5によって接続され、第2配線層2bと第3配線層2c、第4配線層2dと第5配線層2e、および第6配線層2fと第7配線層2gとはそれぞれ絶縁層3bに形成され、導電性樹脂7が充填された貫通孔8によって接続されている。ここで、フィルドビア5は絶縁層3aに形成された小径の貫通孔(以下ビアと称する)の内部が銅などの導電体材料で充填されたものをいう。
これら第1配線層2aから第8配線層2hに形成された配線パターン20、フィルドビア5、および導電性樹脂7が充填された貫通孔8によって、ビルドアップ8層積層板1には所定の電気回路が形成されている。
次に、このような構成のビルドアップ8層積層板1の製造方法について説明する。
最初に、必要な枚数の導体付き絶縁基材11と接着材付き絶縁基材21とをそれぞれ製造する。本実施形態においては配線層2が8層必要なので、4枚の導体付き絶縁基材11と3枚の接着材付き絶縁基材21とが必要になる。
最初に、必要な枚数の導体付き絶縁基材11と接着材付き絶縁基材21とをそれぞれ製造する。本実施形態においては配線層2が8層必要なので、4枚の導体付き絶縁基材11と3枚の接着材付き絶縁基材21とが必要になる。
以下に、導体付き絶縁基材11の製造方法について説明する。
まず、図2(a)に示すように、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させ半硬化させたプリプレグ12の両面に銅(Cu)箔13を貼った両面コア基板14のエポキシ樹脂を硬化させた後、図2(b)に示すように、両面の銅(Cu)箔13をフォトリソグラフィーでエッチングして、所定の位置に小径の開口部15を形成するとともに、銅(Cu)箔13の厚みを所定の厚みまで薄くする。そして、図2(c)に示すように、この開口部15に炭酸ガスレーザーまたはUV-YAGレーザーを照射してプリプレグ12を貫通する小径の貫通孔であるビア17を形成する。
まず、図2(a)に示すように、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させ半硬化させたプリプレグ12の両面に銅(Cu)箔13を貼った両面コア基板14のエポキシ樹脂を硬化させた後、図2(b)に示すように、両面の銅(Cu)箔13をフォトリソグラフィーでエッチングして、所定の位置に小径の開口部15を形成するとともに、銅(Cu)箔13の厚みを所定の厚みまで薄くする。そして、図2(c)に示すように、この開口部15に炭酸ガスレーザーまたはUV-YAGレーザーを照射してプリプレグ12を貫通する小径の貫通孔であるビア17を形成する。
次に、図2(d)に示すように、無電解銅メッキ、電解銅メッキを順次行うことによってビア17の内部を銅(Cu)で充填しフィルドビア18を形成する。ビア17の内部を導電性金属である銅(Cu)で充填したフィルドビア18にすることによって、プリプレグ12の両面の銅(Cu)箔13およびその表面に析出したメッキ銅19はフィルドビア18を介して導通される。
次に、図2(e)に示すように、フィルドビア18を形成するために行った無電解銅メッキ、および電解銅メッキによって銅(Cu)箔13の表面に過剰に析出したメッキ銅(Cu)19をエッチングすることによって、銅(Cu)箔13の厚みとメッキ銅(Cu)19の厚みとの合計を所定の厚みになるようにして配線層2とし、図2(f)に示すように、この配線層2にフォトリソグラフィーによって配線パターン20を形成することによって導体付き絶縁基材11を製造する。
上記に説明した導体付き絶縁基材11の製造と並行して、導電性樹脂7を充填された貫通孔8を備える接着材付き絶縁基材21を以下のように準備する。
まず、図3(a)に示すように、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させ、この含浸させたエポキシ樹脂を十分に硬化させた絶縁基材22の両面に接着材層23を設け、さらにこの接着材層23の上を剥離可能なカバーフィルム24で覆った接着材付き絶縁基材21を準備する。
まず、図3(a)に示すように、ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させ、この含浸させたエポキシ樹脂を十分に硬化させた絶縁基材22の両面に接着材層23を設け、さらにこの接着材層23の上を剥離可能なカバーフィルム24で覆った接着材付き絶縁基材21を準備する。
次に、図3(b)に示すように、カバーフィルム24が付いたままの状態の接着材付き絶縁基材21の所定の位置に、NCドリリングマシンで貫通孔8を開け、図3(c)に示すように、この貫通孔8に導電性樹脂7のペーストを印刷法によって充填する。
このようにカバーフィルム24が付いたままの状態で貫通孔8に導電性樹脂7を充填すると、図3(d)に示すように、カバーを剥がされた接着材付き絶縁基材21を、貫通孔8に充填した導電性樹脂7の先端部26が両面からカバーフィルム24の厚み分だけ突出した状態にすることができる。また、接着材層23がカバーフィルム24で覆われているので取り扱いが容易である。
以上のように製造された4枚の導体付き絶縁基材11と3枚の接着材付き絶縁基材21とを、図4の組み立て構成図に示すように、3枚の接着材付き絶縁基材21のカバーフィルム24を剥がして交互に積層し一括に熱間プレスする。すると、接着材付き絶縁基材21の両面から突出した導電性樹脂7の先端部26が導体付き絶縁基材11の配線パターン20に当接することによって、配線層2bと配線層2c、配線層2dと配線層2e、および配線層2fと配線層2gとが接続される。
この結果、各導体付き絶縁基材11に形成された配線層2a〜2hは、接着材付き絶縁基材21に形成され、導電性樹脂7で充填された貫通孔8と導体付き絶縁基材11に形成されたフィルドビア5とによって導通される。
さらに、熱間プレスの熱と圧力とによって、各配線層2a〜2hの銅(Cu)が接着材付き絶縁基材21の貫通孔8に充填された導電性樹脂7、および導体付き絶縁基材11に形成されたフィルドビア5の銅(Cu)と強固に接着されるとともに、導体付き絶縁基材11の両面の接着材層が導体付き絶縁基材11と接着材付き絶縁基材21とを隙間がないように密着させた状態で硬化し、4枚の導体付き絶縁基材11と3枚の接着材付き絶縁基材21とは積層される。
すなわち、導体付き絶縁基材11のプリプレグ12が図1の絶縁層3aとされ、接着材付き絶縁基材21が絶縁層3bとされている。
そして、このようにして絶縁層3aおよび絶縁層3bと導体層である配線層3とを積層した後、積層後の両面にソルダーレジストなどの保護膜を貼ることによってビルドアップ8層積層板1を完成することができる。
そして、このようにして絶縁層3aおよび絶縁層3bと導体層である配線層3とを積層した後、積層後の両面にソルダーレジストなどの保護膜を貼ることによってビルドアップ8層積層板1を完成することができる。
本実施形態のビルドアップ8層積層板1を製造する方法では、1回の積層プレス工程で一括して4枚の導体付き絶縁基材11と3枚の接着材付き絶縁基材21とを積層してビルドアップ8層積層板1を積層することができるので、4枚の導体付き絶縁基材11に複数のフィルドビア18を形成する工程、および配線パターン20を形成する工程と、3枚の接着材付き絶縁基材21に導電性樹脂7を充填した貫通孔8を形成する工程とを並行して行うことができる。このことによって、一枚のビルドアップ8層積層板1を製造するのにかかる納期を、導体層と導通孔を形成した絶縁層とを順次積層していく従来の製造方法に比べて大幅に短縮することができる。
また、カバーフィルム24の付いた接着材付き絶縁基材21に形成された貫通孔8に、導電性樹脂7をペースト印刷して充填しているので、無電解メッキおよび電解メッキを用いて貫通孔8をPTHに形成する場合に比べて工程を簡単化することができるとともに、複雑で工程数の多いメッキ工程を経る必要がなく、さらに納期を短縮することができる。
なお、本実施形態ではビルドアップ8層積層板1を製造する方法を示したが、本発明に係る積層基板を製造する方法によれば、8層積層板に限られず、配線層2が8層より少ない積層板や8層より多い積層板を同様にして製造することができる。
また、本実施形態では接着材付き絶縁基材21に形成された貫通孔8に、導電性樹脂7をペースト印刷することにより充填して接着材付き絶縁基材21の上下に積層される配線層2を接続しているが、無電解メッキおよび電解メッキを用いて貫通孔8の内周面に銅(Cu)を析出させたPTHを用いて接着材付き絶縁基材21の上下に積層される配線層2を接続しても良い。
また、本実施形態では、絶縁層2a、2bともにエポキシ樹脂を含浸させたガラスクロス基板を用いているが、これに限られず、絶縁層2a、2bの一方または双方にBTレジン(ビスマレイミド トリアジン レジン)などの非導電性樹脂製基板を用いても良い。
さらに、本実施形態では、接着材付き絶縁基材21の貫通孔8をドリルで孔あけしているが、厚みの薄い接着材付き絶縁基材21を用いてレーザーで貫通孔8を形成することによってさらに高密度の積層基板を形成することもできる。
1・・・ビルドアップ8層積層板(積層配線板)、2・・・配線層(導体層)、2a・・・第1配線層、2b・・・第2配線層、2c・・・第3配線層、2d・・・第4配線層、2e・・・第5配線層、2f・・・第6配線層、2g・・・第7配線層、2h・・・第8配線層、3a、3b・・・絶縁層(絶縁基板)、5・・・フィルドビア、7・・・導電性樹脂(導電性材料)、8・・・貫通孔、11・・・導体層付き絶縁基材、12・・・プリプレグ、13・・・銅箔、14・・・両面コア基板15・・・開口部、17・・・ビア、18・・・フィルドビア(導通孔)、19・・・メッキ銅、20・・・配線パターン、21・・・接着材付き絶縁基材、22・・・絶縁基材、23・・・接着材層、24・・・カバーフィルム、26・・・先端部、
Claims (2)
- 複数の導体層と複数の絶縁基材とを交互に積層してなるとともに、前記複数の導体層は前記絶縁基材に形成された貫通孔を介して導通状態に接続された積層配線板を製造する方法であって、
両面に接着層を備えるとともに、この接着層の上層に剥離可能なカバーフィルムを備える接着材付き絶縁基材の所定の位置に、前記カバーフィルムが付いた状態で前記貫通孔を形成し、
この貫通孔の内部に少なくとも表裏導通する導電性材料を付着した後、
前記接着材付き絶縁基材の両面の前記カバーフィルムを剥がし、
このカバーフィルムを剥がされた前記接着材付き絶縁基材と、両面に前記導体層が形成されるとともに前記両導体層を導通状態とする前記貫通孔が形成された複数の導体付き絶縁基材とを交互に重ね合わせ、積層プレスにて一括に積層する、積層配線板を製造する方法。 - 前記導電性材料は前記貫通孔に充填された導電性樹脂であることを特徴とする、請求項1に記載の積層配線板を製造する方法。
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