JP2015069806A5

JP2015069806A5 - エレクトロルミネッセンス表示装置並びにその製造方法及びその製造用母基板

Info

Publication number: JP2015069806A5
Application number: JP2013202359A
Authority: JP
Filing date: 2013-09-27
Publication date: 2016-11-10

Description

本発明はエレクトロルミネッセンス表示装置並びにその製造方法及びその製造用母基板に関する。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、歩留り低下を抑制可能なエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を実現することを目的とする。

（１）本発明のエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法は、表示領域と端子形成領域とを有する、エレクトロルミネッセンス表示装置形成領域が第１方向及び第２方向にマトリクス状に配列された母基板の、前記表示領域それぞれの上に薄膜トランジスタを形成する工程と、前記薄膜トランジスタ上に下部電極を形成する工程と、前記下部電極上に、発光層を有する有機層を形成する工程と、前記有機層上に上部電極を形成する工程と、前記母基板を前記表示領域同士の境界に沿って切断することで複数の個片に分割する工程と、を備え、前記上部電極を形成する工程が、枠状のフレームと前記端子形成領域に対応する領域を覆う帯状の遮蔽部とを有するマスクを用いて前記表示領域上に前記上部電極の材料を成膜する工程を有し、前記遮蔽部が前記フレームの対向する辺同士の間に架け渡されて前記第１方向への張力が印加された状態で固定され、平面視で前記フレームの内周の内側において前記第１方向にのみ延在する、ことを特徴とする。

（２）本発明のエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法は、前記遮蔽部が、遮蔽部材に前記第１方向に延在する開口が設けられることにより形成されたものであってもよい。

本発明におけるエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法によれば、遮蔽部が基板や上部電極に接触して製品に不良が発生することが抑えられ、歩留りの高い製造方法を実現することができる。

Claims

表示領域と端子形成領域とを有する、エレクトロルミネッセンス表示装置形成領域が第１方向及び第２方向にマトリクス状に配列された母基板の、前記表示領域それぞれの上に薄膜トランジスタを形成する工程と、
前記薄膜トランジスタ上に下部電極を形成する工程と、
前記下部電極上に、発光層を有する有機層を形成する工程と、
前記有機層上に上部電極を形成する工程と、
前記母基板を前記表示領域同士の境界に沿って切断することで複数の個片に分割する工程と、を備え、
前記上部電極を形成する工程が、
枠状のフレームと前記端子形成領域に対応する領域を覆う帯状の遮蔽部とを有するマスクを用いて前記表示領域上に前記上部電極の材料を成膜する工程を有し、
前記遮蔽部が前記フレームの対向する辺同士の間に架け渡されて前記第１方向への張力が印加された状態で固定され、平面視で前記フレームの内周の内側において前記第１方向にのみ延在する、
ことを特徴とするエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
請求項１に記載のエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、
前記遮蔽部が、遮蔽部材に前記第１方向に延在する開口が設けられることにより形成されたものである、
ことを特徴とするエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
表示領域と端子形成領域とを有する複数のエレクトロルミネッセンス表示装置形成領域が第１方向及び第２方向にマトリクス状に配置された母基板であって、
前記表示領域は、
複数の薄膜トランジスタと、
前記複数の薄膜トランジスタに電気的に接続された複数の下部電極と、
前記複数の下部電極上に形成された有機層と、
前記有機層上に形成された上部電極と、
前記上部電極上に形成された封止膜と、を有し、
前記上部電極は、前記複数のエレクトロルミネッセンス表示装置形成領域のうち、前記第１方向に隣接する２つに亘って連続的に形成されると共に、前記第２方向に隣接する２つの間では離間して形成されていることを特徴とする、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造用母基板。
請求項３に記載されたエレクトロルミネッセンス表示装置の製造用母基板において、
前記端子形成領域は、互いに離間した複数の端子を有し、
前記複数の端子は、前記第１方向に配列されていることを特徴とする、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造用母基板。
第１方向に延びる、互いに対向する２端と、前記第１方向と交差する第２方向に延びる、互いに対向する２端と、を有する基板上に、
複数のエレクトロルミネッセンス表示素子がマトリクス状に配置された表示領域と、
複数の端子が、前記第１方向に配列された端子形成領域と、を有し、
前記複数のエレクトロルミネッセンス表示素子はそれぞれ、
薄膜トランジスタに接続された下部電極と、
前記下部電極上に形成された有機層と、
前記有機層上に形成された上部電極と、
前記上部電極上に形成された封止膜と、を有し、
前記上部電極は、前記第１方向に延びる、互いに対向する前記２端よりも前記表示領域に近い側に端部を有すると共に、前記第２方向に延びる、互いに対向する前記２端の一方から他方まで連続的に設けられていることを特徴とする、エレクトロルミネッセンス表示装置。
請求項５に記載されたエレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記端子形成領域の、前記表示領域を挟んで反対側に、
前記薄膜トランジスタのソース・ドレイン電極と同層で形成された配線をさらに有し、
前記上部電極は、前記配線を覆う平坦化膜に開口されたコンタクトホールを介して、前記配線と電気的に接続され、
前記封止膜は、前記コンタクトホールを覆うように、前記表示領域から連続的に形成されていることを特徴とする、エレクトロルミネッセンス表示装置。