KR101362035B1 - 플렉서블 표시 기판의 제조 방법 - Google Patents

플렉서블 표시 기판의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

플렉서블 표시 기판의 제조 방법에 관한 것이다. 표시 기판의 제조 방법은, 일면에 단위 표시 패널 영역과 상기 단위 표시 패널의 주변에 배치된 스크라이브 레인 영역을 갖는 모기판을 준비하는 단계, 상기 스크라이브 레인 영역에 홈을 형성하는 단계, 및 상기 홈을 따라 상기 모기판을 절단하여 상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 고온의 공정 온도에서도 기판이 휘어지는 문제를 개선하고 모기판의 절단이 용이하여 플렉서블 표시 장치의 제조 공정의 안정성을 확보하고 플렉서블 표시 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
플렉서블, 절단, 스크라이브

Description

플렉서블 표시 기판의 제조 방법{method for manufacturing flexible display substrate}
도 1은 종래 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 흐름도.
도 2a 내지 도 2d는 도 1의 흐름도를 따라 제조되는 플렉서블 표시 장치의 단면도들.
도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 흐름도.
도 4a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 모기판을 도시한 사시도.
도 4b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 모기판을 도시한 단면도.
도 5a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 표시 소자가 형성된 모기판을 도시한 사시도.
도 5b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 표시 소자가 형성된 모기판을 도시한 단면도.
도 6a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 사시도.
도 6b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 단면도.
도 7a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공 정을 도시한 사시도.
도 7b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 단면도.
도 8a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 사시도.
도 8b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 단면도.
도 9a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 절단 공정을 도시한 사시도.
도 9b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 절단 공정을 도시한 단면도.
도 10은 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 단위 표시 패널의 기판 식각 공정을 도시한 단면도.
그리고, 도 11은 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에 의해 제조된 단위 표시 패널을 도시한 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
200 : 모기판 210 : 표시 소자
211 : 홈 220 : 포토 레지스트 패턴
본 발명은 플렉서블 표시 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 근래에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device: LCD), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel: PDP), 전기발광 표시 장치(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔다.
최근에는 평판표시장치를 전자종이(Electronic Sheet), 암밴드(Arm Band), 지갑, 노트북 컴퓨터 등의 휴대성 제품에 채용하고자 하는 요구에 따라, 유연성(flexibility)을 가진 표시장치의 개발이 진행되고 있다.
이와 같은 전자종이, 암밴드, 지갑, 노트북 컴퓨터, 이-북(E-book) 등과 같이 휴대성 제품에 탑재되는 표시장치는 외부로부터 가해지는 힘에 순응하여 휘어질 수 있도록 유연한 특성을 가져야 한다.
따라서, 상기 표시장치는 구부러질 수 있는 플렉서블(flexible) 기판으로 이루어져야 한다.
상기 플렉서블 기판은 두께가 통상 1mm 이하로 유연한 특성을 가지며, 깨지지 않고 가벼우며, 또한 유연하여 휘어질 수 있으므로 그 형태를 자유자재로 변형시킬 수 있는 장점이 있다.
따라서, 차세대에는 액정표시장치, 유기전계발광표시장치 등 다양한 형태의 디스플레이 장치에 이와 같은 플렉서블 기판을 적용하는 기술이 각광을 받을 것으 로 기대되고 있다.
도 1은 종래 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 2a 내지 도 2d는 도 1의 흐름도를 따라 제조되는 플렉서블 표시 장치의 단면도들이다.
먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이, 모기판을 준비한다(S110).
상기 모기판(mother substrate, 100) 상에는 적어도 하나 이상의 단위 표시 패널(P) 영역이 정의되어 있다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 모기판(100)의 단위 표시 패널(P) 영역 상에 표시 소자(110)를 형성한다.
이후, 도 2c 및 도 2d에 도시된 바와 같이, 상기 단위 표시 패널(P) 영역의 주변의 스크라이브 라인(111)을 따라 상기 모기판(100)을 절단하여 상기 단위 표시 패널(P)을 상기 모기판(100)으로부터 분리한다.
그런데, 상기 모기판(100)을 프레스(press) 절단기로 절단하는 과정에서 상기 단위 표시 패널(P)의 모서리에 버(burr)가 발생되므로 표시 패널 품위가 저하되는 문제점이 있다.
또한, 상기 모기판(100)의 두께가 두꺼울 경우 상기 절단기의 날에 마모가 심하게 발생하여 상기 절단기의 수명이 짧아지는 단점이 있다.
또한, 상기 모기판을 절단기로 절단하는 과정에서 발생되는 파티클(particle)에 의하여 상기 표시 소자가 오염되는 문제점이 있다.
본 발명은 모기판으로부터 단위 표시 패널을 분리하기 위한 절단 공정에서 스크라이브 레인 영역을 식각하여 홈을 형성한 후 상기 홈을 따라 절단함으로써 표시 패널의 신뢰성을 향상시키고 상기 모기판으로부터 단위 표시 패널을 용이하게 분리해낼 수 있도록 한 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 표시 기판의 제조 방법은, 일면에 단위 표시 패널 영역과 상기 단위 표시 패널의 주변에 배치된 스크라이브 레인 영역을 갖는 모기판을 준비하는 단계; 상기 스크라이브 레인 영역에 홈을 형성하는 단계; 및 상기 홈을 따라 상기 모기판을 절단하여 상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 분리하는 단계 이후에, 상기 단위 표시 패널의 기판 일면을 식각하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 스크라이브 레인 영역에 홈을 형성하는 단계에 있어서, 상기 모기판 상의 상기 단위 표시 패널 영역에 표시 소자를 형성하는 단계; 상기 모기판 상에 스크라이브 레인 영역을 노출시키는 보호 필름을 형성하는 단계; 및 노출된 상기 스크라이브 레인 영역을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 스크라이브 레인 영역을 식각하는 단계에 있어서, 상기 모기판을 식각하는 식각액은 할로겐 원소를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 스크라이브 레인 영역을 식각하는 단계에 있어서, 상기 모기판을 식각하는 식각액은 염화철을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 분리하는 단계에 있어서, 상기 모기판은 스크라이빙 휠(scribing wheel), 프레스(press)기, 플라즈마(plasma), 가스(gas), 레이저(laser), 수압 중 어느 하나를 이용하여 절단되는 것을 특징으로 한다.
상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 분리하는 단계에 있어서, 상기 모기판의 타면에서 상기 홈을 따라 레이저 빔을 조사하여 상기 모기판을 절단하는 것을 특징으로 한다.
이로써, 본 발명은 구부러지지 않도록 하는 두께를 갖는 모기판 상에 표시 소자를 형성함으로써 고온의 공정 온도에서도 기판이 휘어지는 문제를 개선할 수 있다. 따라서, 본 발명은 플렉서블 표시 장치의 제조 공정의 안정성을 확보하고 플렉서블 표시 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 구부러지지 않도록 하는 두께를 갖는 모기판 상에 표시 소자를 형성한 후 상기 표시 소자가 형성되지 않은 모기판의 일면을 식각함으로써 플렉서블 기판을 지지하여 공정을 진행하기 위한 별도의 부재 또는 장비의 개발이 불필요하므로 개발 비용을 절감하고 공정이 단순하다.
또한, 본 발명은 단위 표시 패널 주변에 홈을 형성하고 상기 홈을 따라 모기판을 절단하여 상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 용이하게 분리할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치에 대해서 구체적으로 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 흐름도이다.
상기 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 모기판 준비 공정(S210), 표시 소자 형성 공정(S220), 스크라이브 레인 형성 공정(S230), 모기판 절단 공정(S240) 및 식각 공정(S250)을 포함한다.
도 4a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 모기판을 도시한 사시도이다.
도 4b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 모기판을 도시한 단면도이다.
도 3, 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 제 1 두께(d1)를 가지는 모기판(mother substrate)(200)을 준비한다.
상기 모기판(200)은 금속(metal) 기판일 수 있다.
일 예를 들면, 상기 금속 기판은 스테인레스 스틸(stainless steel) 기판일 수 있다.
다른 예를 들면, 상기 금속 기판은 철(Fe)을 포함할 수 있다.
또한, 상기 모기판(200)은 플라스틱(plastic) 기판일 수 있다.
상기 모기판(200)은 상기 제 1 두께(d1)로 인하여 휘어지지 않으므로 제조 공정이 안정적으로 이루어질 수 있다.
상기 제 1 두께(d1)는 0.3mm 이상일 수 있다. 상기 제 1 두께(d1)는 상기 모기판(200)에 구부러지지 않는 특성을 부여한다.
상기 모기판(200)은 단위 표시 패널(P) 영역과 상기 단위 표시 패널(P)의 주변에 스크라이브 레인 영역(S)을 갖는다.
상기 모기판(200)은 적어도 하나 이상의 단위 표시 패널(P) 영역을 갖는다.
도 5a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 표시 소자가 형성된 모기판을 도시한 사시도이다.
도 5b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 표시 소자가 형성된 모기판을 도시한 단면도이다.
이후, 도 3, 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 상기 모기판(200) 상의 상기 단위 표시 패널(P) 영역에 표시 소자(210)를 형성한다(S220).
상기 표시 소자(210) 형성 공정은 플렉서블 표시 장치를 구성하는 각종 패턴을 상기 모기판(200)상에서 형성하는 공정이다.
예를 들어, 상기 플렉서블 표시 장치가 전기 영동 표시 장치(Electrophoretic Display Device : EPD)인 경우 상기 표시 소자는 박막 트랜지스터를 포함하는 하부 어레이 표시 소자 형성 공정일 수 있다. 또한, 상기 표시 소자는 전기 영동 부유입자를 포함하는 상부 어레이 표시 소자 형성 공정일 수도 있다.
이와 다르게, 상기 플렉서블 표시 장치가 액정 표시 장치일 경우 상기 표시 소자는 박막 트랜지스터를 포함하는 어레이 표시 소자일 수 있다. 또한, 상기 표시 소자는 컬러필터 패턴을 포함하는 어레이 표시 소자일 수도 있다.
상기 박막 트랜지스터를 포함하는 어레이 표시 소자를 형성하는 공정에 대해서 간략하게 설명하면 다음과 같다.
기판 상에 게이트 배선이 형성되며, 상기 게이트 배선은 게이트 전극을 포함한다.
상기 게이트 배선이 형성된 상기 기판의 전면에 게이트 절연막을 형성한다.
상기 게이트 절연막은 예를 들어, 실리콘 질화막(SiNx) 또는 실리콘 산화막(SiOx)으로 이루어진다.
상기 게이트 전극에 대응하여 상기 게이트 절연막 상에 반도체층이 형성된다.
상기 반도체층은 제 1 반도체층 및 상기 제 1 반도체층의 일측과 타측에 각각 형성되어 서로 이격된 제 2 반도체층으로 이루어진다.
상기 제 1 반도체층은 비정질 실리콘(amorphous silicon : 이하, a-Si)으로 이루어지며, 상기 제 2 반도체층은 n형 불순물이 고농도로 도핑된 비정질 실리콘(이하, n+a-Si)으로 이루어진다.
상기 기판 상에 상기 게이트 배선과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선이 형성된다.
상기 데이터 배선은 상기 제 2 반도체층 상에 형성된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다.
상기 소스 전극은 상기 반도체층의 일측에서 상기 제 2 반도체층과 접속하 고, 상기 드레인 전극은 상기 소스 전극과 이격되어 상기 반도체층의 타측에서 상기 제 2 반도체층과 접속한다.
상기 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극은 동일한 금속 물질로 이루어지며, 한번의 공정을 통해 동시에 형성된다.
상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은 서로 소정 간격 이격되어 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 사이에서 상기 제 1 반도체층을 노출시켜 채널을 형성한다.
상기 게이트 전극, 게이트 절연막, 반도체층, 소스 전극 및 드레인 전극은 박막 트랜지스터(TFT)를 구성하며, 상기 화소 영역에 적어도 하나 이상 배치되어 있다.
상기 박막 트랜지스터가 형성된 상기 기판 상에 보호막이 형성된다.
상기 보호막은 상기 드레인 전극의 일부를 노출시키는 드레인 콘택홀을 포함한다.
상기 보호막 상의 상기 화소 영역에는 화소 전극이 형성되어 있으며, 상기 화소 전극은 상기 드레인 콘택홀을 통하여 상기 드레인 전극과 접속된다.
상기 화소 전극은 투명한 도전성 전극 물질로 이루어지며, 산화 인듐 주석(Indium Tin Oxide, ITO) 및 산화 인듐 아연(Indium Zinc Oxide, IZO)으로 이루어지는 투명한 금속 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함한다.
한편, 컬러필터 패턴을 포함하는 어레이 표시 소자를 형성하는 공정에 대해서 설명하면 다음과 같다.
기판 상에 상기 화소 영역 경계와 상기 박막 트랜지스터 영역과 대응하는 영역에 광차단층을 형성한다.
상기 광차단층은 예를 들어, 광을 흡수 또는 차단하는 블랙 매트릭스를 들 수 있다.
상기 광차단층이 형성된 상기 기판 상에 상기 화소 영역과 대응하는 영역에 적색, 녹색, 청색 컬러필터 패턴들을 형성한다.
이와 같이, 상기 모기판(200) 상의 상기 단위 표시 패널(P) 영역에 표시 소자(210)를 형성한다.
그리고, 상기 표시 소자(210) 형성 공정 이후에 스크라이브 레인 형성 공정을 한다(S230).
예를 들어, 상기 스크라이브 레인 형성 공정은 포토 리소그래피 공정으로 이루어질 수 있다.
도 6a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 사시도이다.
도 6b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 단면도이다.
도 3, 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 상기 표시 소자가 형성된 상기 모기판 상에 포토 레지스트 패턴(220)을 형성한다(S231).
상기 모기판(200) 상의 비(非) 단위 표시 패널 영역에도 절연막 등이 형성될 수 있다.
따라서, 상기 포토 레지스트 패턴(220)은 상기 모기판(200) 상 또는 상부에 형성되는 것이며, 상기 포토 레지스트 패턴(220)은 상기 모기판(200) 상의 절연막 상에 형성될 수도 있다.
상기 포토 레지스트 패턴(220)은 상기 단위 표시 패널(P) 영역을 덮는다.
상기 포토 레지스트 패턴(220)은 상기 단위 표시 패널(P) 영역 둘레의 스크라이브 레인 영역(S)을 노출시킨다.
도 7a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 사시도이다.
도 7b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 단면도이다.
도 3, 도 7a 및 도 7b를 참조하면, 상기 포토 레지스트 패턴(220)을 식각 마스크로 상기 노출된 모기판(200)의 상기 스크라이브 레인 영역(S)을 식각하여 홈(211)을 형성한다(S232).
상기 모기판(200)의 스크라이브 레인 영역(S)을 식각하는 방법은 습식 식각 방법을 사용할 수 있다.
상기 습식 식각에 사용되는 식각액은 염소(Cl), 브롬(Br), 요오드(I) 등의 할로겐 원소를 포함할 수 있다.
상기 식각액은 염화철을 포함할 수 있다.
이전에, 상기 포토 레지스트 패턴(220)을 식각 마스크로 상기 노출된 모기판(200) 상의 상기 절연막을 더 식각할 수 있다.
상기 홈(211)은 상기 모기판(200)으로부터 상기 단위 표시 패널(P)을 분리시키는 데 있어서 상기 모기판(200)의 절단 작업이 용이하게 이루어지도록 하기 위한 것이다.
상기 홈(211)의 깊이(a)는 상기 모기판(200)의 제 1 두께(d1)보다 작은 것이 바람직하다.
도 8a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 사시도이다.
도 8b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 스크라이브 레인 형성 공정을 도시한 단면도이다.
도 3, 도 8a 및 도 8b를 참조하면, 상기 모기판(200) 상에 형성된 상기 포토 레지스트 패턴(220)은 제거된다(S233).
이로써, 상기 단위 표시 패널(P) 둘레에 스크라이브 레인(scribe lane)이 형성된다.
도 9a는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 절단 공정을 도시한 사시도이다.
도 9b는 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 절단 공정을 도시한 단면도이다.
도 3, 도 9a 및 도 9b를 참조하면, 상기 스크라이브 레인 영역(S)에 형성된 홈(211)을 따라 상기 모기판(200)을 절단한다(S240).
상기 모기판(200)으로부터 상기 단위 표시 패널(P) 영역을 분리해낸다.
상기 모기판(200)의 스크라이브 레인은 상기 홈(211)으로 이루어져 있으며, 상기 모기판(200)의 절단이 용이하도록 얇은 두께(d1-a)를 가진다.
따라서, 상기 모기판(200)은 상기 스크라이브 레인을 따라 용이하게 절단될 수 있다.
상기 절단 공정은 여러가지 방법으로 이루어질 수 있으며 예를 들어, 스크라이빙 휠(scribing wheel), 프레스(press)기, 플라즈마(plasma), 가스(gas), 레이저(laser), 수압 중 어느 하나를 이용하여 절단하는 방법이 있다.
구체적으로, 상기 스크라이빙 휠을 이용하여 상기 모기판(200)을 절단할 수 있다.
상기 스크라이빙 휠은 상기 모기판보다 강도가 높은 재질로 이루어진다.
예를 들어, 상기 스크라이빙 휠은 다이아몬드를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 프레스기는 상기 스크라이브 레인에 대응하는 날(cutter)을 구비하고 있다.
상기 날을 구비하는 프레스기를 이용하여 상기 날로 상기 모기판(200)을 가압함으로써 상기 모기판을 절단할 수 있다.
상기 날은 상기 프레스기에 포함된 크랭크(crank)에 의해 회전운동을 직선운동으로 바꾸어 상기 모기판(200)에 가압함으로써 절단한다.
이로써, 상기 모기판(200)으로부터 상기 단위 표시 패널(P)이 분리된다.
상기 단위 표시 패널(P)은 기판(201)의 일면에 표시 소자(210)가 형성되어 있다.
상기 기판(201)은 상기 제 1 두께(d1)를 가진다.
상기 모기판은 레이저 빔을 이용하여 절단함으로써 상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 분리할 수 있다.
상기 레이저 빔은 상기 표시 소자 및 상기 홈이 형성된 일면이 아닌 상기 모기판의 타면으로 조사된다.
상기 레이저 빔은 상기 홈을 따라 조사되어 상기 모기판을 절단할 수 있다.
상기 모기판의 타면으로 상기 레이저 빔을 조사할 경우 상기 레이저 빔에 의해서 상기 표시 소자가 손상될 염려가 없다.
상기 레이저 빔은 상기 표시 소자가 형성된 상기 모기판의 일면으로 조사될 수 있다. 이때, 상기 레이저 빔은 상기 홈 안에서 상기 홈을 따라 상기 모기판을 절단한다.
한편, 상기 표시 소자를 덮는 보호 필름을 더 형성할 수도 있다.
상기 레이저 빔을 발생하는 레이저 헤더는 복수 개가 구비되어 각각 단위 표시 패널에 대하여 동작함으로써 수율을 향상시킬 수도 있다.
도 10은 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에서 단위 표시 패널의 기판 식각 공정을 도시한 단면도이다.
그리고, 도 11은 본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법에 의해 제조된 단위 표시 패널을 도시한 단면도이다.
도 3, 도 10 및 도 11을 참조하면, 상기 단위 표시 패널(P)에 유연한 특성을 부여하기 위하여 상기 표시 소자(210)가 형성되지 않은 상기 기판(201)의 타면을 식각하여 상기 기판(201)을 얇게 만든다(S250).
상기 식각된 기판(201')은 상기 제 1 두께(d1)보다 얇은 제 2 두께(d2)를 갖는다.
상기 제 2 두께(d2)는 상기 제 1 두께(d1)의 70% 이하가 되도록 한다.
상기 기판(201)의 식각 공정은 상기 기판(201)의 타면이 수조(250)에 담긴 식각액(255)에 잠기도록 디핑(dipping)함으로써 이루어진다.
상기 식각액(255)은 염소(Cl), 브롬(Br), 요오드(I) 등의 할로겐 원소를 포함한다.
상기 식각액(255)은 염화철을 포함할 수 있다.
상기 식각액(255)에 접촉된 상기 기판(201)의 타면은 식각되어 제 2 두께(d2)를 가지며, 이로써 얇아진 상기 기판(201')은 유연한 특성을 가지게 된다.
상기 단위 표시 패널(P)의 상기 표시 소자(210) 상에는 보호 필름이 더 형성되어 상기 표시 소자가 상기 식각액에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이후, 상기 단위 표시 패널(P)은 세정되어 남은 식각액(255)이 제거된다.
상기 디핑 방법 이외에도 상기 기판 식각 공정은 식각액의 노즐 분사를 통하여 상기 기판의 타면을 식각하는 방법으로 이루어질 수도 있다.
본 발명은 구부러지지 않도록 하는 두께를 갖는 모기판 상에 표시 소자를 형성함으로써 고온의 공정 온도에서도 기판이 휘어지는 문제를 개선할 수 있다. 따라서, 본 발명은 플렉서블 표시 장치의 제조 공정의 안정성을 확보하고 플렉서블 표시 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
본 발명은 구부러지지 않도록 하는 두께를 갖는 모기판 상에 표시 소자를 형성함으로써 고온의 공정 온도에서도 기판이 휘어지는 문제를 개선할 수 있다. 따라서, 본 발명은 플렉서블 표시 장치의 제조 공정의 안정성을 확보하고 플렉서블 표시 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 제 1의 효과가 있다.
또한, 본 발명은 구부러지지 않도록 하는 두께를 갖는 모기판 상에 표시 소자를 형성한 후 상기 표시 소자가 형성되지 않은 모기판의 일면을 식각함으로써 플렉서블 기판을 지지하여 공정을 진행하기 위한 별도의 부재 또는 장비의 개발이 불필요하므로 개발 비용을 절감하고 공정이 단순한 제 2의 효과가 있다.
또한, 본 발명은 단위 표시 패널 주변에 홈을 형성하고 상기 홈을 따라 모기판을 절단하여 상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 용이하게 분리할 수 있는 제 3의 효과가 있다.

Claims (17)

  1. 일면에 단위 표시 패널 영역과 상기 단위 표시 패널의 주변에 배치된 스크라이브 레인 영역을 갖는 모기판을 준비하는 단계;
    상기 모기판 상의 상기 단위 표시 패널 영역에 표시 소자를 형성하는 단계;
    상기 스크라이브 레인 영역에서 상기 모기판에 홈을 형성하는 단계;
    상기 홈을 따라 상기 모기판을 절단하여 상기 모기판으로부터 기판과 상기 기판의 일면에 표시 소자로 이루어진 단위 표시 패널을 분리하는 단계; 및
    상기 단위 표시 패널의 상기 기판의 일면을 식각하여, 상기 기판을 유연성을 갖는 플렉서블 기판으로 형성하며, 상기 플렉서블 기판을 포함하는 플렉서블 표시 기판을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 스크라이브 레인 영역에 형성되는 홈의 깊이는 상기 모기판의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 모기판의 두께는 0.3mm 이상인 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 식각된 기판의 두께는 상기 모기판 두께의 70% 이하인 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 식각하는 단계에 있어서,
    상기 기판의 일면은 식각액에 접촉되어 식각되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 식각액에 접촉되는 방법은
    상기 식각액에 상기 기판의 일면을 담그는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 식각액에 접촉되는 방법은
    상기 식각액을 상기 기판의 일면에 분사하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  8. 제 5항에 있어서,
    식각액은 할로겐 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 식각액은 염화철을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 스크라이브 레인 영역에 홈을 형성하는 단계에 있어서,
    상기 모기판 상에 스크라이브 레인 영역을 노출시키는 보호 필름을 형성하는 단계; 및
    노출된 상기 스크라이브 레인 영역을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 보호 필름은 포토 레지스트로 이루어진 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 스크라이브 레인 영역을 식각하는 단계에 있어서,
    상기 모기판을 식각하는 식각액은 할로겐 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 스크라이브 레인 영역을 식각하는 단계에 있어서,
    상기 모기판을 식각하는 식각액은 염화철을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 분리하는 단계에 있어서,
    상기 모기판은 스크라이빙 휠(scribing wheel), 프레스(press)기, 플라즈마(plasma), 가스(gas), 레이저(laser), 수압 중 어느 하나를 이용하여 절단되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  15. 제 1항에 있어서,
    상기 모기판으로부터 상기 단위 표시 패널을 분리하는 단계에 있어서,
    상기 모기판의 타면에서 상기 홈을 따라 레이저 빔을 조사하여 상기 모기판을 절단하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  16. 제 1항에 있어서,
    상기 모기판은 금속 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 금속 기판은 스테인레스 스틸 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 표시 기판의 제조 방법.
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