CN104103648B - 柔性显示设备、柔性显示母板及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种柔性显示设备、柔性显示母板及其制作方法，所述柔性显示母板具有被分成若干组的多个柔性显示单片，每组至少包含一个所述柔性显示单片；所述各组柔性显示单片之间具有第一凹槽。由于所述各组柔性显示单片之间具有第一凹槽，因此，能够通过所述第一凹槽来释放柔性显示母板向内收缩的应力，从而有效避免了由于向内收缩的应力的累积而影响柔性显示母板的制作以及导致柔性显示设备失效的问题。

Description

柔性显示设备、柔性显示母板及其制作方法

技术领域

本发明涉及液晶显示技术领域，更具体地说，涉及一种柔性显示设备、柔性显示母板及其制作方法。

背景技术

现今的显示器件中，柔性可挠式显示器由于具有高轻巧性、耐冲击性、可挠取性、可穿戴性与携带方便等特点，俨然已经成为新一代的前瞻显示技术。

然而，在柔性显示器的制作工艺中，主要的技术瓶颈在于如何将TFT(Thin FilmTransistor，薄膜晶体管)等显示器件从玻璃基板转移制作在柔性塑料基板上。为了解决这一技术瓶颈，现有技术提供了一种制作柔性显示器的技术，其主要的工艺流程如图1a～1c所示，首先利用暂时性有机黏着材料将柔性基板20与玻璃基板10黏合，或在玻璃基板10上直接进行柔性基板20的涂覆，再进行TFT等显示器件30的制作工艺，将TFT等显示器件30制作在柔性基板20上，最后再将柔性基板20从玻璃基板10上取下，以形成柔性显示母板。

其中，柔性基板20通常采用塑料基板，并且，为了保证在后续的高温工艺中柔性基板20的水汽隔绝效果，在制作TFT等显示器件30之前，还需要在柔性基板20表面沉积一层缓冲层21。

但是，由于在制备缓冲层等膜层的过程中，柔性显示母板的内部会有向内收缩应力的累积，因此，容易导致柔性基板向内收缩，发生翘曲现象，影响柔性显示母板的制作以及柔性显示设备的性能。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种柔性显示设备、柔性显示母板及其制作方法，以解决现有技术中由于柔性显示母板向内收缩应力的累积，而导致柔性基板收缩、翘曲，影响柔性显示母板的制作以及柔性显示设备性能的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种柔性显示母板，所述柔性显示母板具有被分成若干组的多个柔性显示单片，每组至少包含一个所述柔性显示单片；所述各组柔性显示单片之间具有第一凹槽。

一种柔性显示设备，包括由上述的柔性显示母板切割成的柔性显示单片。

一种柔性显示母板的制作方法，包括：

将柔性显示母板上的多个柔性显示单片分成若干组，每组至少包含一个所述柔性显示单片；

在所述各组柔性显示单片之间形成第一凹槽。

与现有技术相比，本发明所提供的技术方案具有以下优点：

本发明所提供的柔性显示设备、柔性显示母板及其制作方法，柔性显示母板具有被分成若干组的多个柔性显示单片，每组至少包含一个所述柔性显示单片，由于所述各组柔性显示单片之间具有第一凹槽，因此，能够通过所述第一凹槽来释放柔性显示母板内部的向内收缩的应力，从而有效避免了由于应力的累积而影响柔性显示母板的制作以及导致柔性显示设备失效的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1a～1c为现有的柔性显示母板的制作工艺流程图；

图2为本发明实施例一提供的位于每个柔性显示单片之间的第一凹槽的结构示意图；

图3为本发明另一实施例提供的位于每两个柔性显示单片之间的第一凹槽结构示意图；

图4为本发明另一实施例提供的另一种第一凹槽的结构示意图；

图5为本发明实施例一提供的由缓冲层刻蚀形成的第一凹槽的结构示意图；

图6为本发明实施例一提供的由缓冲层和栅极绝缘层刻蚀形成的第一凹槽的结构示意图；

图7为本发明实施例一提供的由缓冲层、栅极绝缘层和钝化层刻蚀形成的第一凹槽的结构示意图；

图8为本发明实施例二提供的位于每个像素单元之间的第二凹槽的结构示意图；

图9为本发明实施例二提供的位于每两个像素单元之间的第二凹槽的结构示意图；

图10为本发明实施例二提供的由缓冲层刻蚀形成的第二凹槽的结构示意图；

图11为本发明实施例二提供的由缓冲层和栅极绝缘层刻蚀形成的第二凹槽的结构示意图；

图12为本发明实施例二提供的由缓冲层、栅极绝缘层和钝化层刻蚀形成的第二凹槽的结构示意图；

图13为本发明实施例三提供的柔性显示母板的制作方法流程图；

图14为本发明实施例三提供的第一凹槽的制作方法流程图。

具体实施方式

正如背景技术所述，现有的柔性显示母板的膜层会有向内收缩的应力，容易导致柔性基板向内收缩，产生翘曲现象，影响柔性显示母板的制作以及柔性显示设备的性能。

基于此，本发明提供了一种柔性显示母板，以克服现有技术存在的上述问题，所述柔性显示母板具有被分成若干组的多个柔性显示单片，每组至少包含一个所述柔性显示单片；所述各组柔性显示单片之间具有第一凹槽。

本发明还提供了一种柔性显示设备，包括由如上所述的柔性显示母板切割成的柔性显示单片。

本发明提供的柔性显示设备、柔性显示母板及其制作方法，柔性显示母板具有被分成若干组的多个柔性显示单片，每组至少包含一个所述柔性显示单片，由于所述各组柔性显示单片之间具有第一凹槽，因此，能够通过所述第一凹槽来释放柔性显示母板内部向内收缩的应力，从而有效避免了由于应力的累积而影响柔性显示母板的制作以及导致柔性显示设备失效的问题。

以上是本发明的核心思想，为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，本发明结合示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

下面通过几个实施例详细描述。

实施例一

本实施例提供了一种柔性显示母板，该柔性显示母板上位于每个柔性显示单片之间的第一凹槽的结构示意图，如图2所示，图2为本发明实施例一提供的位于每个柔性显示单片之间的第一凹槽的结构示意图，该柔性显示母板具有多个柔性显示单片201，所述多个柔性显示单片201被分成若干组(图2中虚线之间的柔性显示单片为一组)，每组至少包含一个柔性显示单片201；并且，各组柔性显示单片之间具有第一凹槽202。且第一凹槽202的宽度D1的范围为15μm～20μm，包括端点值。本实施例中以每组包含一个柔性显示单片201进行说明。

当然，本发明并不仅限于此，在其他实施例中，每组可以包含多个柔性显示单片。如图3所示，图3为本发明另一实施例提供的位于每两个柔性显示单片之间的第一凹槽结构示意图，其中，每组柔性显示单片包含两个柔性显示单片301，且每组柔性显示单片之间具有第一凹槽302。并且，第一凹槽可以为位于每组柔性显示单片之间的一个连续的凹槽，如图2和3所示。也可以为不连续的多个凹槽，如图4所示，图4为本发明另一实施例提供的另一种第一凹槽的结构示意图，其中，每组柔性显示单片具有一个柔性显示单片401，且每组柔性显示单片之间具有多个不连续的第一凹槽402。

参考图5，图5为本发明实施例一提供的由缓冲层刻蚀形成的第一凹槽的结构示意图，本实施例中的柔性显示母板包括柔性基板501、位于柔性基板501表面的缓冲层502、位于缓冲层502表面的显示器件，该显示器件依次包括栅极线、栅极绝缘层5032、数据线和钝化层5034，其中，第一凹槽202是由缓冲层502、栅极绝缘层5032、钝化层5034中的至少一层刻蚀形成的。当第一凹槽202的深度小于缓冲层502的厚度时，第一凹槽202的深度与缓冲层502的厚度的差值范围为0.05μm～0.1μm，包括端点值；此时，缓冲层502的厚度范围为0.2μm～0.3μm，包括端点值。

如图5所示，第一凹槽202只由缓冲层502这一层刻蚀形成，当然，第一凹槽202也可以由栅极绝缘层5032或钝化层5034刻蚀形成；

或者，如图6所示，图6为本发明实施例一提供的由缓冲层和栅极绝缘层刻蚀形成的第一凹槽的结构示意图，第一凹槽202由缓冲层502、栅极绝缘层5032、钝化层5034中的任意两层在同一位置刻蚀形成。

此外，第一凹槽202由缓冲层502、栅极绝缘层5032和钝化层5034这三层刻蚀形成，如图7所示，图7为本发明实施例一提供的由缓冲层、栅极绝缘层和钝化层刻蚀形成的第一凹槽的结构示意图，所述第一凹槽202由缓冲层502、栅极绝缘层5032和钝化层5034在同一位置共同刻蚀形成。

如图5至图7所示，虽然由下层薄膜刻蚀形成的第一凹槽在上层薄膜制备的过程中会被填满，但是，这并不影响第一凹槽的作用，例如，由缓冲层502刻蚀形成第一凹槽202后，在制备栅极绝缘层5032和钝化层5034的过程中第一凹槽202会被填满，但是，在缓冲层502上刻蚀形成第一凹槽202后，已经通过第一凹槽202释放了缓冲层502内部向内收缩的应力，并且，由于第一凹槽202对应区域的栅极绝缘层5032和钝化层5034并不是连续的，因此，栅极绝缘层5032等上层薄膜内部向内收缩的应力也得到了释放。

本实施例中，柔性基板501为塑料基板，缓冲层502为氧化硅薄膜或氧化硅和氮化硅薄膜，优选的，第一凹槽202由缓冲层502刻蚀形成，并且，当第一凹槽202由缓冲层502刻蚀形成时，第一凹槽202的深度小于等于缓冲层502的厚度。

第一凹槽202的深度小于缓冲层502的厚度，这样不仅能够通过减小缓冲层502向内收缩的应力，而且也不会降低缓冲层隔绝水汽的作用。当然，在其他实施例中，第一凹槽202的深度也可以等于缓冲层502的厚度，此时，第一凹槽202为贯穿缓冲层502的通孔，该通孔同样能够降低缓冲层502向内收缩的应力。

在制作柔性显示母板的过程中，由于柔性基板表面的缓冲层等膜层的成膜过程是在高温下进行的，因此，当所述膜层冷却干燥后其自身会向内收缩，并带动柔性基板翘曲，从而导致柔性基板上的器件发生变形，影响显示器件及显示设备的性能，而本实施例提供的柔性显示母板，将柔性显示母板上的多个柔性显示单片分成了若干组，并在各组柔性显示单片之间形成了第一凹槽，由于第一凹槽由缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层刻蚀形成，因此，能够通过分散缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中至少一层的应力，来减少柔性显示母板向内收缩的应力，并且，由于第一凹槽位于各组柔性显示单片之间，因此，相当于通过第一凹槽将整个膜层分成了多块，从而能够有效分散柔性显示母板各个区域向内收缩的应力，避免了柔性基板以及显示器件发生变形，影响柔性显示母板的制作以及导致柔性显示设备失效的问题。

实施例二

本实施例提供了一种柔性显示母板，该柔性显示母板也具有被分为若干组的多个柔性显示单元，且每组柔性显示单元之间也具有第一凹槽。本实施例与实施例一的不同之处在于，本实施例中的柔性显示母板还包括第二凹槽，如图8所示，图8为本发明实施例二提供的位于每个像素单元之间的第二凹槽的结构示意图，栅极线5031和数据线5033围成了多个像素单元801，这些像素单元801被分成若干组，每组至少包含一个像素单元801，并且，每组像素单元801之间具有第二凹槽802，该第二凹槽802由缓冲层502、栅极绝缘层5032、钝化层5034中的至少一层刻蚀形成，其中，第二凹槽802可以位于栅极线5031对应的区域，也可以位于数据线5033对应的区域，但是，不能位于栅极线5031和数据线5033重合的区域。

当然，在其他实施例中，每组可以包括多个像素单元，如图9所示，图9为本发明实施例二提供的位于每两个像素单元之间的第二凹槽的结构示意图，每组可以包括两个像素单元801，且第二凹槽802位于每两个像素单元801之间，同样，第二凹槽802可以位于栅极线5031对应的区域，也可以位于数据线5033对应的区域，但是，不能位于栅极线5031和数据线5033重合的区域。

其中，第二凹槽802可以由缓冲层502、栅极绝缘层5032、钝化层5034中的任意一层刻蚀形成，如图10所示，图10为本发明实施例二提供的由缓冲层刻蚀形成的第二凹槽的结构示意图，第二凹槽802由缓冲层502刻蚀形成。

第二凹槽802还可以由缓冲层502、栅极绝缘层5032、钝化层5034中的任意两层刻蚀形成，如图11所示，图11为本发明实施例二提供的由缓冲层和栅极绝缘层刻蚀形成的第二凹槽的结构示意图，第二凹槽802由缓冲层502和栅极绝缘层5032刻蚀形成。

此外，第二凹槽802还可以由缓冲层502、栅极绝缘层5032、钝化层5034这三层刻蚀形成，如图12所示，图12为本发明实施例二提供的由缓冲层、栅极绝缘层和钝化层刻蚀形成的第二凹槽的结构示意图。

其中，第二凹槽802不位于栅极线5031和数据线5033的重合处。或者，第二凹槽802由缓冲层502刻蚀形成，第二凹槽802的深度小于等于缓冲层502的厚度。并且，当第二凹槽802的深度小于缓冲层502的厚度时，第二凹槽802的深度与缓冲层502的厚度的差值范围为0.05μm～0.1μm，包括端点值。

由于在制作柔性显示母板的过程中，缓冲层等膜层的成膜过程是在高温下进行的，因此，当所述膜层冷却干燥后其自身会向内收缩，并带动柔性基板向内翘曲，从而导致柔性基板上的器件发生变形，影响显示器件及显示设备的性能，而本实施例提供的柔性显示母板，不仅将柔性显示母板上的多个柔性显示单片分成若干组，在各组柔性显示单片之间形成第一凹槽，通过由缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层刻蚀形成的第一凹槽，减少缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中至少一层的应力，减少柔性显示母板的应力，而且通过位于各组柔性显示单片之间的第一凹槽，相当于将整个膜层分成了多块，有效分散了柔性显示母板各个区域的应力；

此外，本实施例提供的柔性显示母板，将栅极线和数据线围成的多个像素单元分成若干组，并在每组像素单元之间形成了第二凹槽，且第二凹槽由缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层刻蚀形成，从而可以通过第二凹槽将柔性显示母板分解成更小的不连续单元，进一步释放分散柔性显示母板向内收缩的应力，进而进一步避免了柔性基板以及显示器件发生变形，影响柔性显示母板的制作以及导致柔性显示设备失效的问题。

实施例三

本实施例提供了一种柔性显示母板的制作方法，其流程图如图13所示，图13为本发明实施例三提供的柔性显示母板的制作方法流程图，包括：

步骤S1301：将柔性显示母板上的多个柔性显示单片分成若干组，每组至少包含一个所述柔性显示单片；

在制作柔性显示单片时，需要先在一个较大的基板上同时制作多个柔性显示单片，即先制作具有多个柔性显示单片的柔性显示母板，柔性显示母板制作完成后，再对其进行切割，将单个的柔性显示单片分离出来，然后进行后续柔性显示设备的制作。

本实施例中，在制作柔性显示母板之前，先将柔性显示母板上的多个柔性显示单片分成了若干组，其中，每组至少包含一个所述柔性显示单片。

步骤S1302：在所述各组柔性显示单片之间形成第一凹槽。

将柔性显示单片进行分组后，在制作柔性显示母板的过程中，在各组柔性显示单片之间形成第一凹槽。所述第一凹槽202是由缓冲层502、栅极绝缘层5032、钝化层5034中的至少一层刻蚀形成的。

其中，在各组柔性显示单片之间形成第一凹槽的方法流程图，如图14所示，图14为本发明实施例三提供的第一凹槽的制作方法流程图，包括：

步骤S1401：提供柔性基板；

可以为在玻璃基板上直接涂覆柔性基板或利用有机黏着材料将柔性基板黏合在玻璃基板上，其中，该柔性基板一般为塑料基板。

步骤S1402：在所述柔性基板的表面形成缓冲层；

在形成柔性基板后，在柔性基板表面形成缓冲层，该缓冲层的作用是覆盖在柔性基板表面，在后续的高温处理过程中，起到隔绝水汽的作用。其中，该缓冲层优选为氧化硅薄膜或氧化硅和氮化硅薄膜，可以采用溅射、化学气相沉积等工艺形成。

步骤S1403：在所述缓冲层表面形成显示器件，所述显示器件包括依次形成的栅极线、栅极绝缘层、数据线和钝化层；

在形成缓冲层后，需要在缓冲层表面形成显示器件，以进行图像的显示，该显示器件包括从下往上依次形成的栅极线、栅极绝缘层、数据线和钝化层。其中，栅极线和数据线可以围成多个像素单元。

由于柔性显示母板包括缓冲层、栅极绝缘层、钝化层等多层薄膜，这些薄膜在成膜的过程中会在柔性显示母板向内收缩的应力，且膜层越厚、膜层面积越大，薄膜内部向内收缩的应力也越大，这样就很容易导致柔性基板向内收缩，发生翘曲现象，影响后续的制作以及柔性显示设备的性能。

步骤S1404：刻蚀所述各组柔性显示单片之间的缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层形成所述第一凹槽。

基于此，本实施例中在制作柔性显示母板的过程中，对各组柔性显示单片之间的缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层进行了刻蚀，形成了第一凹槽，以通过第一凹槽降低薄膜内部向内收缩的应力，进而降低柔性显示母板的应力，提高柔性显示设备的性能。

其中，形成第一凹槽的工艺为光刻工艺，例如，在缓冲层上形成光刻胶层，采用掩膜板对光刻胶层进行曝光显影后，形成图形化的光刻胶层，再以该光刻胶层为掩膜，采用干刻工艺对缓冲层进行刻蚀，形成所述第一凹槽。

在各组柔性显示单片之间形成第一凹槽后，为了进一步释放柔性显示母板内部的向内收缩的应力，在本发明的其他实施例中还可以形成第二凹槽，具体为：

将所述栅极线与数据线围成的多个像素单元分成若干组，每组至少包含一个所述像素单元。

在缓冲层表面形成的显示器件依次包括栅极线、栅极绝缘层、数据线和钝化层，其中，栅极线与数据线围成了多个像素单元。本实施例将将所述栅极线与数据线围成的多个像素单元分成若干组，每组至少包含一个所述像素单元。

对像素单元进行分组后，在所述每组像素单元之间形成第二凹槽。

形成第二凹槽的过程具体为：在制作柔性显示母板的过程中，刻蚀所述各组像素单元之间的缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层形成所述第二凹槽。当第二凹槽至少部分由所述栅极绝缘层刻蚀形成时，在形成栅极绝缘层后，对部分栅极绝缘层进行刻蚀；当第二凹槽由缓冲层刻蚀形成时，在形成缓冲层后，对缓冲层进行刻蚀。第二凹槽的刻蚀工艺与第一凹槽相同，在此不再赘述。

本实施例提供的柔性显示母板的制作方法，刻蚀各组柔性显示单片之间的缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层形成第一凹槽，刻蚀各组像素单元之间的缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层形成第二凹槽，因此，能够通过第一凹槽和第二凹槽来释放柔性显示母板内部向内收缩的应力，从而有效避免了由于应力的累积而影响柔性显示母板的制作以及导致柔性显示设备失效的问题。

实施例四

本实施例提供了一种柔性显示设备，包括上述实施例提供的柔性显示母板切割成的柔性显示单片，由于柔性显示单片的制作过程中，通过第一凹槽和第二凹槽释放了柔性显示母板内部向内收缩的应力，因此，避免了柔性显示设备失效的问题，提高了柔性显示设备的性能。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (14)

1.一种柔性显示母板，其特征在于，所述柔性显示母板具有被分成若干组的多个柔性显示单片，每组至少包含一个所述柔性显示单片；

所述各组柔性显示单片之间具有第一凹槽，以通过所述第一凹槽释放所述柔性显示母板内部向内收缩的应力；

所述柔性显示母板包括：

柔性基板；

位于所述柔性基板表面的缓冲层，所述缓冲层为氧化硅薄膜或氧化硅和氮化硅薄膜；

位于所述缓冲层表面的显示器件，所述显示器件依次包括栅极线、栅极绝缘层、数据线和钝化层；

其中，所述第一凹槽由所述缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层刻蚀形成。

2.根据权利要求1所述的柔性显示母板，其特征在于，所述柔性基板为塑料基板。

3.根据权利要求1所述的柔性显示母板，其特征在于，所述第一凹槽由所述缓冲层刻蚀形成，所述第一凹槽的深度小于等于所述缓冲层的厚度。

4.根据权利要求3所述的柔性显示母板，其特征在于，所述第一凹槽的深度与所述缓冲层的厚度的差值范围为0.05μm～0.1μm。

5.根据权利要求1所述的柔性显示母板，其特征在于，所述第一凹槽的宽度范围为15μm～20μm。

6.根据权利要求1所述的柔性显示母板，其特征在于，所述栅极线与所述数据线围成多个像素单元，所述多个像素单元被分成若干组，每组至少包含一个所述像素单元，所述每组像素单元之间具有第二凹槽。

7.根据权利要求6所述的柔性显示母板，其特征在于，所述第二凹槽由所述缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层刻蚀形成。

8.根据权利要求7所述的柔性显示母板，其特征在于，所述第二凹槽至少部分由所述栅极绝缘层刻蚀形成，并且所述第二凹槽不位于栅极线和数据线的重合处。

9.根据权利要求7所述的柔性显示母板，其特征在于，所述第二凹槽由所述缓冲层刻蚀形成，所述第二凹槽的深度小于等于缓冲层的厚度。

10.根据权利要求9所述的柔性显示母板，其特征在于，所述第二凹槽的深度与所述缓冲层的厚度的差值范围为0.05μm～0.1μm。

11.一种柔性显示设备，其特征在于，包括由权利要求1至10任一项所述的柔性显示母板切割成的柔性显示单片。

12.一种柔性显示母板的制作方法，其特征在于，包括：

将柔性显示母板上的多个柔性显示单片分成若干组，每组至少包含一个所述柔性显示单片；

在所述各组柔性显示单片之间形成第一凹槽，以通过所述第一凹槽释放所述柔性显示母板内部向内收缩的应力；

其中，所述在所述各组柔性显示单片之间制作第一凹槽具体为：

提供柔性基板；

在所述柔性基板的表面形成缓冲层，所述缓冲层为氧化硅薄膜或氧化硅和氮化硅薄膜；

在所述缓冲层表面形成显示器件，所述显示器件包括依次形成的栅极线、栅极绝缘层、数据线和钝化层；

刻蚀所述各组柔性显示单片之间的缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层形成所述第一凹槽。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，还包括：

将所述栅极线与数据线围成的多个像素单元分成若干组，每组至少包含一个所述像素单元；

在所述每组像素单元之间形成第二凹槽。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述在所述每组像素单元之间形成第二凹槽具体为：

刻蚀所述各组像素单元之间的缓冲层、栅极绝缘层、钝化层中的至少一层形成所述第二凹槽。