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Die Offenbarung bezieht sich auf Flüssigkristallanzeigetechnologien und insbesondere auf eine Flexible-Anzeige-Hauptplatine und ein Verfahren zur Herstellen der Flexible-Anzeige-Platine.
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Die flexible Anzeige (das flexible Display), die leicht, stoßfest, flexibel, am Körper tragbar und transportierbar ist, hebt sich von herkömmlichen Anzeigevorrichtungen ab und stellt eine neue und aussichtsreiche Anzeigetechnologie dar.
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Um die flexible Anzeige herzustellen, besteht die größte technische Schwierigkeit darin, wie ein Anzeigegerät wie beispielsweise der Dünnfilmtransistor (TFT - Thin Film Transistor) auf einem flexiblen Kunststoffsubstrat anstelle eines Glassubstrats bereitgestellt werden kann. 1a-1c veranschaulichen die wichtigsten Prozesse einer herkömmlichen Technologie zum Herstellen der flexiblen Anzeige, mit denen die zuvor erwähnte technische Schwierigkeit gelöst wird. Zuerst wird ein flexibles Substrat 20 auf ein Glassubstrat 10 geklebt, indem man ein organisches, kurzzeitig klebendes Material verwendet, oder das Glassubstrat 10 kann direkt mit dem flexiblen Substrat 20 beschichtet werden; anschließend wird ein Anzeigegerät 30 wie beispielsweise der TFT auf dem flexiblen Substrat 20 bereitgestellt; und schließlich wird das flexible Substrat 20 von dem Glassubstrat 10 getrennt, um eine Flexible-Anzeige-Hauptplatine zu bilden.
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Allgemein ist das flexible Substrat 20 ein Kunststoffsubstrat. Bevor das Anzeigegerät 30 wie beispielsweise der TFT bereitgestellt wird, muss auf eine Oberfläche des flexiblen Substrats 20 ferner eine Pufferschicht 21 aufgebracht werden, um eine gute Feuchtigkeitsisolierung des flexiblen Substrats 20 während anschließender Prozesse, die bei einer hohen Temperatur durchgeführt werden, zu gewährleisten.
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Während einer Herstellung von Filmschichten wie beispielsweise der Pufferschicht kann sich in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine eine auf eine nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung (engl.: inward shrinkage stress) ansammeln, was zu einer nach innen gerichteten Schrumpfung und einer Wölbung des flexiblen Substrats führen kann, wodurch die Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine und die Leistungsfähigkeit einer Flexible-Anzeige-Vorrichtung beeinflusst wird.
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Die Druckschrift
US 2008/0277375 A1 offenbart ein Verfahren zur Herstellung einer flexiblen elektrophoretischen Anzeigevorrichtung, das Folgendes umfasst: Bereitstellen eines Metallsubstrats mit einer ersten Dicke, das einen Anzeigetafelbereich und einen an den Anzeigetafelbereich angrenzenden nicht anzeigenden Bereich umfasst; Ausbilden eines Anzeigeelements in dem Anzeigetafelbereich; Ausbilden einer Nut in dem nicht anzeigenden Bereich des Muttersubstrats; Schneiden des Hauptsubstrats entlang der Rille, um den Anzeigetafelbereich von dem Muttersubstrat zu trennen; Ausdünnen des Substrats des getrennten Anzeigetafelbereichs; und Ausbilden eines elektrophoretischen Films auf dem Anzeigetafelbereich.
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Die Druckschrift
US 2007/0173031 A1 offenbart eine Dünnschichtschaltung mit einem Substrat und einer auf dem Substrat angeordneten Dünnschichtschaltkreisschicht, die einen Bauteilbereich und einen Bereich mit geringer Festigkeit aufweist. Der Bauteilbereich enthält Dünnschichtelemente. Der Bereich mit geringer Festigkeit erstreckt sich zwischen einem Endabschnitt der Dünnfilm-Schaltungsschicht und dem Elementbereich und hat eine geringere mechanische Festigkeit als die Umgebung des Bereichs mit geringer Festigkeit.
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Die Druckschrift
US 2010/0116155 A1 offenbart eine Vorrichtung zur Herstellung einer Anzeigetafel, die ein Paar von Pressvorrichtungen mit einander überlappenden Pressflächen umfasst. Ein Paar von Filmsubstraten, auf denen jeweils ein Anzeigebereich definiert ist, wird in eine gekrümmte Form gebracht, indem das Paar von Filmsubstraten zwischen den jeweiligen Pressflächen des Paars von Pressvorrichtungen gehalten wird, so dass die jeweiligen Anzeigebereiche einander überlappen, wobei ein Dichtungsmittel, das um die Anzeigebereiche zwischen dem Paar von Filmsubstraten positioniert ist, dazwischen angeordnet ist, und mindestens eine Pressvorrichtung des Paars von Pressvorrichtungen mehrere Pressflächen aufweist, die unterschiedliche Krümmungsradien voneinander haben und miteinander schaltbar sind.
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Die
US 2008/0158498 A1 offenbart eine flexible Anzeigetafelvorrichtung, die ein Kunststoffsubstrat mit einem Anzeigebereich und einem Randbereich, eine Vielzahl von Rillen, die in dem Randbereich und/oder dem Anzeigebereich angeordnet sind, eine diskontinuierliche Pufferschicht, die auf dem Kunststoffsubstrat angeordnet ist, und eine aktive Matrixkomponentenschicht auf einem Pixel, das auf der diskontinuierlichen Pufferschicht angeordnet ist, umfasst. Während der Herstellung der flexiblen Platte wird zunächst ein Kunststoffsubstrat auf einem Trägersubstrat angeordnet, um die Herstellung der Vorrichtung durchzuführen. Nach Fertigstellung der Platte wird das Kunststoffsubstrat von dem Trägersubstrat getrennt, um eine flexible Platte zu bilden. Durch das Integrationsdesign der Rillen und der unterbrochenen Pufferschicht weist die flexible Platte eine bevorzugte Verformungsbeständigkeit und eine geringe Spannung auf, wodurch die Zuverlässigkeit und Lebensdauer der Platte erhöht wird.
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Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Flexible-Anzeige-Hauptplatine, eine Flexible-Anzeige-Vorrichtung sowie ein Verfahren zum Herstellen einer Flexible-Anzeige-Hauptplatine zu schaffen.
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Diese Aufgabe wird durch eine Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß Anspruch 1 sowie ein Verfahren zum Herstellen einer Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß Anspruch 12 gelöst.
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Ein erfindungsgemäßer Aspekt ist eine Flexible-Anzeige-Hauptplatine. Die Hauptplatine umfasst eine erste Gruppe von Flexible-Anzeige-Einheiten, wobei die erste Gruppe zumindest eine Flexible-Anzeige-Einheit umfasst. Die Hauptplatine umfasst ferner eine zweite Gruppe von Flexible-Anzeige-Einheiten, wobei die zweite Gruppe zumindest eine Flexible-Anzeige-Einheit umfasst. Die Hauptplatine umfasst ferner eine oder mehrere erste Rillen zwischen der ersten und der zweiten Gruppe. Dabei ist jede der Mehrzahl erster Rillen durch Ätzen einer ersten Schicht der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gebildet, wobei die Mehrzahl erster Rillen in der ersten Schicht ein Material einer zweiten Schicht umfasst, das auf der ersten Schicht ausgebildet ist. Dabei weist die Flexible-Anzeige-Hauptplatine ferner folgende Merkmale auf: ein flexibles Substrat; eine auf einer Oberfläche des flexiblen Substrats befindliche Pufferschicht und ein auf einer Oberfläche der Pufferschicht befindliches Anzeigegerät, wobei das Anzeigegerät Gateleitungen, eine Gateisolierschicht, Datenleitungen und eine Passivierungsschicht aufweist, wobei die erste Schicht die Pufferschicht ist.
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Ein weiterer erfindungsgemäßer Aspekt ist ein Verfahren zum Herstellen einer Flexible-Anzeige-Hauptplatine. Das Verfahren umfasst ein Bilden einer ersten Gruppe von Flexible-Anzeige-Einheiten, wobei die erste Gruppe zumindest eine Flexible-Anzeige-Einheit umfasst, und ein Bilden einer zweiten Gruppe von Flexible-Anzeige-Einheiten, wobei die zweite Gruppe zumindest eine Flexible-Anzeige-Einheit umfasst. Das Verfahren umfasst ferner ein Bilden einer oder mehrerer erster Rillen zwischen der ersten und der zweiten Gruppe. Dabei wird jede der Mehrzahl erster Rillen durch Ätzen einer ersten Schicht der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gebildet, und die Mehrzahl erster Rillen in der ersten Schicht ein Material einer zweiten Schicht umfasst, das auf der ersten Schicht ausgebildet wird. Dabei weist das Bilden einer Mehrzahl erster Rillen zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten folgende Schritte auf: Bereitstellen eines flexiblen Substrats; Bilden einer Pufferschicht auf einer Oberfläche des flexiblen Substrats; Bilden eines Anzeigegeräts auf einer Oberfläche der Pufferschicht, wobei das Anzeigegerät Gateleitungen, eine Gateisolierschicht, Datenleitungen und eine Passivierungsschicht aufweist, die nacheinander gebildet werden; wobei die erste Schicht die Pufferschicht ist.
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Um eine technische Lösung gemäß Ausführungsbeispielen der Offenbarung und herkömmlichen Technologien zu verdeutlichen, werden nachstehend Zeichnungen, die bei der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele zu verwenden ist, kurz eingeführt. Anscheinend sind die Zeichnungen in der folgenden Beschreibung lediglich beispielhaft, und gewöhnliche Fachleute können auf der Basis der Zeichnungen ohne kreative Arbeit zu anderen Zeichnungen gelangen. Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Beschreibung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
- 1a-1c einen Herstellungsprozess für eine herkömmliche Flexible-Anzeige-Hauptplatine;
- 2 eine Anordnung erster Rillen, die zwischen Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Offenbarung vorgesehen sind, wobei jede Gruppe eine Flexible-Anzeige-Einheit umfasst;
- 3 eine andere Anordnung erster Rillen, die zwischen Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten gemäß einem Ausführungsbeispiel der Offenbarung vorgesehen sind, wobei jede Gruppe zwei Flexible-Anzeige-Einheiten umfasst;
- 4 eine weitere Anordnung erster Rillen gemäß einem Ausführungsbeispiel der Offenbarung;
- 5 die ersten Rillen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Offenbarung, die mittels Ätzens einer Pufferschicht gebildet sind;
- 6 die ersten Rillen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Offenbarung, die mittels Ätzens einer Pufferschicht und einer Gateisolierschicht gebildet sind;
- 7 die ersten Rillen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Offenbarung, die mittels Ätzens einer Pufferschicht, einer Gateisolierschicht und einer Passivierungsschicht gebildet sind;
- 8 eine Anordnung zweiter Rillen, die zwischen Gruppen von Pixeleinheiten gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Offenbarung vorgesehen sind, wobei jede Gruppe eine Pixeleinheit umfasst;
- 9 eine weitere Anordnung zweiter Rillen, die zwischen Gruppen von Pixeleinheiten gemäß einem Ausführungsbeispiel der Offenbarung vorgesehen sind, wobei jede Gruppe zwei Pixeleinheiten umfasst;
- 10 die zweiten Rillen gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Offenbarung, die mittels Ätzens einer Pufferschicht gebildet sind;
- 11 die zweiten Rillen gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Offenbarung, die mittels Ätzens einer Puffschicht und einer Gateisolierschicht gebildet sind;
- 12 die zweiten Rillen gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Offenbarung, die mittels Ätzens einer Pufferschicht, einer Gateisolierschicht und einer Passivierungsschicht gebildet sind;
- 13 ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Herstellen der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Offenbarung;
- 14 ein Flussdiagramm eines Lösungsansatzes zum Bilden der ersten Rillen gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der Offenbarung; und
- 15 ein schematisches Diagramm einer Flexible-Anzeige-Vorrichtung gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel der Offenbarung.
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Wie am Anfang dieser Beschreibung erläutert wird, kann die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung bei den Filmschichten der herkömmlichen Flexible-Anzeige-Hauptplatine zu einer nach innen gerichteten Schrumpfung und einer Wölbung des flexiblen Substrats führen, wodurch die Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine und die Leistungsfähigkeit der Flexible-Anzeige-Vorrichtung beeinträchtigt werden.
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Demgemäß ist bei der Offenbarung eine Flexible-Anzeige-Hauptplatine vorgesehen, um die obigen Nachteile herkömmlicher Technologien zu überwinden. Die Flexible-Anzeige-Hauptplatine umfasst eine Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten, die in mehrere Gruppen unterteilt sind, und jede Gruppe umfasst zumindest eine Flexible-Anzeige-Einheit. Erste Rillen sind zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten vorgesehen.
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Bei der Offenbarung ist ferner eine Flexible-Anzeige-Vorrichtung vorgesehen, die Flexible-Anzeige-Einheiten umfasst, die mittels Vereinzelns der oben beschriebenen Flexible-Anzeige-Hauptplatine erhalten werden.
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Bei der Flexible-Anzeige-Vorrichtung, der Flexible-Anzeige-Hauptplatine und dem Verfahren zum Herstellen der Flexible-Anzeige-Hauptplatine, die bei der Offenbarung bereitgestellt werden, umfasst die Flexible-Anzeige-Hauptplatine eine Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten, die in mehrere Gruppen unterteilt sind, wobei jede Gruppe zumindest eine Flexible-Anzeige-Einheit umfasst, und erste Rillen zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten vorgesehen sind. Die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine kann über die ersten Rillen freigesetzt werden. Somit wird eine Ansammlung der auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogenen Spannung, die die Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine beeinträchtigen kann und zu einem Versagen der Flexible-Anzeige-Vorrichtung führen kann, effektiv vermieden.
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Oben ist das Prinzip der Offenbarung beschrieben. Ausführungsbeispiele der Offenbarung werden hiernach in Verbindung mit Zeichnungen im Einzelnen erläutert, um Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Offenbarung weiter zu verdeutlichen.
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Obwohl in der folgenden Beschreibung zum besseren Verständnis der Offenbarung viele Einzelheiten angegeben sind, kann die Offenbarung mit anderen Ausführungsbeispielen, die sich von den hierin beschriebenen unterscheiden, implementiert werden. Modifikationen können seitens Fachleuten vorgenommen werden, ohne von dem Prinzip der Offenbarung abzuweichen. Somit ist die Offenbarung nicht auf die hiernach angegebenen Ausführungsbeispiele beschränkt.
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Die Offenbarung wird in Verbindung mit schematischen Diagrammen erläutert. Schnittansichten, die Strukturen von Geräten veranschaulichen, können in den detaillierten Ausführungsbeispielen der Offenbarung der Zweckmäßigkeit halber teilweise vergrößert sein. Die schematischen Diagramme sind lediglich beispielhaft und sollten die Offenbarung nicht einschränken. Eine dreidimensionale räumliche Größe, die Länge, Breite und Tiefe einschließt, sollte in der Praxis berücksichtigt werden.
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Einige Ausführungsbeispiele lauten wie folgt.
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Gemäß dem Ausführungsbeispiel ist eine Flexible-Anzeige-Hauptplatine vorgesehen. Auf der Flexible-Anzeige-Hauptplatine sind zwischen Flexible-Anzeige-Einheiten erste Rillen vorgesehen. Die ersten Rillen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel sind in 2 gezeigt. Die Flexible-Anzeige-Hauptplatine umfasst eine Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten 201. Die Flexible-Anzeige-Einheiten 201 sind in mehrere Gruppen unterteilt (wie in 2 gezeigt ist, bildet die Flexible-Anzeige-Einheit zwischen zwei gestrichelten Linien eine Gruppe). Jede Gruppe umfasst zumindest eine Flexible-Anzeige-Einheit 201. Erste Rillen 202 sind zwischen den jeweiligen Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten vorgesehen. Die Breite D1 der ersten Rillen 202 liegt zwischen 15 µm und 20 µm. Hier gilt die Beschreibung für den Fall, dass jede Gruppe eine Flexible-Anzeige-Einheit 201 umfasst.
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In einem anderen Fall kann jede Gruppe eine Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten umfassen. Eine weitere Anordnung erster Rillen zwischen Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten ist in 3 gezeigt. Wie in 3 veranschaulicht ist, umfasst jede Gruppe von Flexible-Anzeige-Einheiten zwei Flexible-Anzeige-Einheiten 301, und zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten sind erste Rillen 302 vorgesehen. Wie außerdem in 2 und 3 veranschaulicht ist, können die zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten vorgesehenen ersten Rillen kontinuierlich sein; oder es kann eine Mehrzahl von diskontinuierlichen Rillen vorgesehen sein. Eine weitere Anordnung erster Rillen ist in 4 gezeigt. Wie in 4 gezeigt ist, umfasst jede Gruppe von Flexible-Anzeige-Einheiten eine Flexible-Anzeige-Einheit 401, und zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten ist eine Mehrzahl von diskontinuierlichen ersten Rillen 402 vorgesehen.
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5 veranschaulicht die ersten Rillen gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Offenbarung, die mittels Ätzens einer Pufferschicht gebildet sind. Wie in 5 gezeigt ist, umfasst die Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß dem Ausführungsbeispiel ein flexibles Substrat 501, eine auf einer Oberfläche des flexiblen Substrats 501 befindliche Pufferschicht 502 und ein auf einer Oberfläche der Pufferschicht 502 befindliches Anzeigegerät. Das Anzeigegerät umfasst Gateleitungen, eine Gateisolierschicht 5032, Datenleitungen und eine Passivierungsschicht 5034. Die ersten Rillen 202 sind mittels Ätzens zumindest einer der Pufferschicht 502, der Gateisolierschicht 5032 und der Passivierungsschicht 5034 gebildet. In dem Fall, dass die Tiefe der ersten Rillen 202 geringer ist als die Dicke der Pufferschicht 502, liegt die Differenz zwischen der Tiefe der ersten Rillen 202 und der Dicke der Puffschicht 502 zwischen 0,05 µm und 0,1 µm; hier liegt die Dicke der Pufferschicht 502 zwischen 0,2 µm und 0,3 µm.
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Wie in 5 veranschaulicht ist, sind die ersten Rillen 202 mittels Ätzens lediglich der Pufferschicht 502 gebildet. Alternativ dazu können die ersten Rillen 202 mittels Ätzens der Gateisolierschicht 5032 oder der Passivierungsschicht 5034 gebildet sein.
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Alternativ dazu können erste Rillen 202 mittels Ätzens beliebiger zwei der Pufferschicht 502, der Gateisolierschicht 5032 und der Passivierungsschicht 5034 gebildet sein. Wie in 6 veranschaulicht ist, sind die ersten Rillen 202 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Offenbarung mittels Ätzens der Pufferschicht und der Gateisolierschicht gebildet.
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Alternativ dazu können die ersten Rillen 202 mittels Ätzens der Pufferschicht 502, der Gateisolierschicht 5032 und der Passivierungsschicht 5034 gebildet sein. Wie in 7 veranschaulicht ist, sind die ersten Rillen 202 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Offenbarung mittels Ätzens der Pufferschicht 502, der Gateisolierschicht 5032 und der Passivierungsschicht 5034 gebildet.
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Wie in 5-7 veranschaulicht ist, wird eine Funktion der ersten Rillen nicht beeinflusst, obwohl die mittels Ätzens einer unteren Schicht gebildeten ersten Rillen während eines Herstellens einer oberen Schicht aufgefüllt werden können. Beispielsweise können die mittels Ätzens der Pufferschicht 502 gebildeten ersten Rillen 202 während eines Herstellens der Gateisolierschicht 5032 und der Passivierungsschicht 5034 aufgefüllt werden.
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Die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Pufferschicht 502 wird über die ersten Rillen 202 freigesetzt. Überdies werden auch auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannungen in oberen Schichten wie beispielsweise der Gateisolierschicht 5032 freigesetzt, da sowohl die Gateisolierschicht 5032 als auch die Passivierungsschicht 5034 an Positionen, die den ersten Rillen 202 entsprechen, diskontinuierlich sind.
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Gemäß dem Ausführungsbeispiel ist das flexible Substrat 501 ein Kunststoffsubstrat, und die Pufferschicht 502 ist ein Siliziumoxid-Dünnfilm oder ein Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Dünnfilm. Vorzugsweise sind die ersten Rillen 202 mittels Ätzens der Pufferschicht 502 gebildet. Für den Fall, dass die ersten Rillen 202 mittels Ätzens der Pufferschicht 502 gebildet sind, ist die Tiefe der ersten Rillen 202 gleich der oder geringer als die Dicke der Pufferschicht 502.
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Wenn die Tiefe der ersten Rillen 202 geringer ist als die Dicke der Pufferschicht 502, kann die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Pufferschicht 502 verringert werden, während eine Feuchtigkeitsisolierungsfunktion der Pufferschicht nicht beeinträchtigt wird. Alternativ dazu kann gemäß anderen Ausführungsbeispielen die Tiefe der ersten Rillen 202 gleich der Dicke der Pufferschicht 502 sein. In diesem Fall sind die ersten Rillen 202 Löcher, die die Pufferschicht 502 durchdringen, und die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Pufferschicht 502 kann aufgrund der Löcher verringert werden.
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Da Filmschichten wie beispielsweise die Pufferschicht bei einer hohen Temperatur auf der Oberfläche des flexiblen Substrats gebildet werden, können die Filmschichten während der Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine nach innen geschrumpft werden, nachdem sie gekühlt und getrocknet wurden, was zu einer Wölbung des flexiblen Substrats führt. Demgemäß werden Vorrichtungen auf dem flexiblen Substrat verformt, wodurch die Leistungsfähigkeit des Anzeigegeräts und einer Anzeigevorrichtung beeinträchtigt wird. Bei der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß dem Ausführungsbeispiel ist die Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten auf der Flexible-Anzeige-Hauptplatine in mehrere Gruppen unterteilt, und die ersten Rillen sind zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten vorgesehen. Da die ersten Rillen mittels Ätzens zumindest einer der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht gebildet sind, kann die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in zumindest einer der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht verringert sein, und dementsprechend ist die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine verringert. Da außerdem die ersten Rillen zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten vorgesehen sind, gilt äquivalent dazu, dass eine ganze Filmschicht durch die ersten Rillen in eine Mehrzahl von Regionen unterteilt ist, wodurch die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogenen Spannungen in den jeweiligen Regionen der Flexible-Anzeige-Hauptplatine effektiv verteilt werden. Somit wird eine Verformung des flexiblen Substrats und des Anzeigegeräts, die die Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine beeinträchtigen und zu einem Versagen der Flexible-Anzeige-Vorrichtung führen kann, vermieden.
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Gemäß dem Ausführungsbeispiel ist eine Flexible-Anzeige-Hauptplatine vorgesehen. Ähnlich dem ersten Ausführungsbeispiel umfasst die Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß dem Ausführungsbeispiel eine Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten, die in mehrere Gruppen unterteilt sind, und zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten sind erste Rillen vorgesehen. Im Unterschied zu dem ersten Ausführungsbeispiel umfasst die Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß dem Ausführungsbeispiel ferner zweite Rillen. 8 veranschaulicht die zweiten Rillen gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Offenbarung, die zwischen jeweiligen Pixeleinheiten vorgesehen sind. Wie in 8 veranschaulicht ist, ist eine Mehrzahl von Pixeleinheiten 801 durch Schnittpunkte von Gateleitungen 5031 und Datenleitungen 5033 definiert. Die Mehrzahl von Pixeleinheiten 801 ist in mehrere Gruppen unterteilt. Jede Gruppe umfasst zumindest eine Pixeleinheit 801. Zwischen den jeweiligen Gruppen von Pixeleinheiten 801 sind zweite Rillen 802 vorgesehen. Die zweiten Rillen 802 sind mittels Ätzens zumindest einer einer Pufferschicht 502, einer Gateisolierschicht 5032 und einer Passivierungsschicht 5034 gebildet. Die zweiten Rillen 802 können sich in den Gateleitungen 5031 entsprechenden Regionen befinden oder können sich in den Datenleitungen 5033 entsprechenden Regionen befinden. Jedoch können sich die zweiten Rillen 802 nicht in Regionen befinden, in denen sich die Gateleitungen 5031 mit den Datenleitungen 5033 schneiden.
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Alternativ dazu kann jede Gruppe eine Mehrzahl von Pixeleinheiten umfassen. 9 veranschaulicht eine weitere Anordnung der zweiten Rillen gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Offenbarung. Wie in 9 veranschaulicht ist, umfasst jede Gruppe von Pixeleinheiten zwei Pixeleinheiten 801, und die zweiten Rillen 802 sind zwischen den jeweiligen Gruppen von Pixeleinheiten vorgesehen. Desgleichen können sich die zweiten Rillen 802 in den Gateleitungen 5031 entsprechenden Regionen befinden oder können sich den Datenleitungen 5033 entsprechenden Regionen befinden. Jedoch können sich die zweiten Rillen 802 nicht in Regionen befinden, in denen sich die Gateleitungen 5031 mit den Datenleitungen 5033 schneiden.
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Die zweiten Rillen 802 können mittels Ätzens einer beliebigen der Pufferschicht 502, der Gateisolierschicht 5032 und der Passivierungsschicht 5034 gebildet sein. Wie in 10 veranschaulicht ist, sind die zweiten Rillen 802 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Offenbarung mittels Ätzens der Pufferschicht 502 gebildet.
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Alternativ dazu können die zweiten Rillen 802 mittels Ätzens zwei beliebiger Schichten der Pufferschicht 502, der Gateisolierschicht 5032 und der Passivierungsschicht 5034 gebildet sein. Wie in 11 veranschaulicht ist, sind die zweiten Rillen 802 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Offenbarung mittels Ätzens der Pufferschicht 502 und der Gateisolierschicht 5032 gebildet.
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Alternativ dazu können die zweiten Rillen 802 mittels Ätzens der Pufferschicht 502, der Gateisolierschicht 5032 und der Passivierungsschicht 5034 gebildet sein. Wie in 12 veranschaulicht ist, sind die zweiten Rillen gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel der Offenbarung mittels Ätzens der Pufferschicht 502, der Gateisolierschicht 5032 und der Passivierungsschicht 5034 gebildet.
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Die zweiten Rillen 802 befinden sich nicht in den Regionen, in denen sich die Gateleitungen 5031 mit den Datenleitungen 5033 schneiden. In dem Fall, dass die zweiten Rillen 802 mittels Ätzens der Pufferschicht 502 gebildet sind, ist die Tiefe der zweiten Rillen 802 geringer als die oder gleich der Dicke der Pufferschicht 502. In dem Fall, dass die Tiefe der zweiten Rillen 802 geringer als die Dicke der Pufferschicht 502 ist, liegt die Differenz zwischen der Tiefe der zweiten Rillen 802 und der Dicke der Pufferschicht 502 zwischen 0,05 µm und 0,1 µm .
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Da Filmschichten wie beispielsweise die Pufferschicht bei einer hohen Temperatur gebildet werden, können die Filmschichten während der Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine nach innen geschrumpft werden, nachdem sie gekühlt und getrocknet wurden, was zu einer Wölbung des flexiblen Substrats führt. Demgemäß werden Vorrichtungen auf dem flexiblen Substrat verformt, wodurch die Leistungsfähigkeit eines Anzeigegeräts und einer Anzeigevorrichtung beeinträchtigt wird. Bei der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß dem Ausführungsbeispiel ist die Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten auf der Flexible-Anzeige-Hauptplatine in mehrere Gruppen unterteilt, und die ersten Rillen sind zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten vorgesehen. Da die ersten Rillen mittels Ätzens zumindest einer der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht gebildet sind, kann die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in zumindest einer der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht verringert sein, und dementsprechend ist die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine verringert. Da außerdem die ersten Rillen zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten vorgesehen sind, gilt äquivalent dazu, dass eine ganze Filmschicht durch die ersten Rillen in eine Mehrzahl von Regionen unterteilt ist, wodurch die auf die nach innen gerichtete Schrumpfung bezogenen Spannungen in den jeweiligen Regionen der Flexible-Anzeige-Hauptplatine effektiv verteilt werden.
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Ferner ist bei der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß dem Ausführungsbeispiel die Mehrzahl von Pixeleinheiten, die durch die Schnittstellen der Gateleitungen und der Datenleitungen definiert ist, in mehrere Gruppen unterteilt, und die zweiten Rillen sind zwischen den Gruppen von Pixeleinheiten vorgesehen. Die zweiten Rillen sind mittels Ätzens zumindest einer der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht gebildet. Die Flexible-Anzeige-Hauptplatine kann durch die zweiten Rillen in kleine diskontinuierliche Einheiten unterteilt sein, um die auf eine nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine weiter freizusetzen und zu verteilen. Deshalb wird eine Verformung eines flexiblen Substrats und des Anzeigegeräts, die die Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine beeinträchtigen und zu einem Versagen der Flexible-Anzeige-Vorrichtung führen kann, vermieden.
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Gemäß dem Ausführungsbeispiel ist ein Verfahren zum Herstellen einer Flexible-Anzeige-Hauptplatine vorgesehen. 13 ist ein Flussdiagramm des Verfahrens zum Herstellen der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der Offenbarung. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte S1301 bis S1302.
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Bei dem Schritt S1301 wird eine Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten auf der Flexible-Anzeige-Hauptplatine in mehrere Gruppen unterteilt. Jede Gruppe umfasst zumindest eine Flexible-Anzeige-Einheit.
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Um die Flexible-Anzeige-Einheiten herzustellen, wird zuerst eine Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten auf einem großen Substrat gleichzeitig hergestellt, d.h. die Flexible-Anzeige-Hauptplatine, die die Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten umfasst, wird hergestellt; und anschließend wird die hergestellte Flexible-Anzeige-Hauptplatine zu einzelnen Flexible-Anzeige-Einheiten vereinzelt. Anschließende Prozesse zum Herstellen einer Flexible-Anzeige-Vorrichtung können ferner durchgeführt werden.
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Gemäß dem Ausführungsbeispiel wird zuerst die Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten auf der Flexible-Anzeige-Hauptplatine in mehrere Gruppen unterteilt. Jede Gruppe umfasst zumindest eine der Mehrzahl von Flexible-Anzeige-Einheiten.
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Bei dem Schritt S1302 werden erste Rillen zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten gebildet.
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Während der Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine werden zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten die ersten Rillen vorgesehen, nachdem die Flexible-Anzeige-Einheiten in Gruppen unterteilt wurden. Die ersten Rillen 202 werden mittels Ätzens zumindest einer einer Pufferschicht, einer Gateisolierschicht und einer Passivierungsschicht gebildet.
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14 ist ein Flussdiagramm eines Lösungsansatzes zum Bilden der ersten Rillen zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte S1401 bis S1404.
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Bei dem Schritt S1401 wird ein flexibles Substrat bereitgestellt.
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Das flexible Substrat kann bereitgestellt werden, indem ein Glassubstrat mit demselben beschichtet wird oder indem es mittels eines organischen Haftmittels auf das Glassubstrat geklebt wird. Allgemein ist das flexible Substrat ein Kunststoffsubstrat.
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Bei dem Schritt S1402 wird die Pufferschicht auf einer Oberfläche des flexiblen Substrats gebildet.
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Nachdem das flexible Substrat gebildet wurde, wird die Pufferschicht auf einer Oberfläche des flexiblen Substrats gebildet. Die Pufferschicht bedeckt die Oberfläche des flexiblen Substrats und kann während anschließender Prozesse, die bei hoher Temperatur durchgeführt werden, Feuchtigkeit isolieren. Vorzugsweise ist die Pufferschicht ein Siliziumoxid-Dünnfilm oder ein Siliziumoxid-Siliziumnitrid-Dünnfilm. Die Pufferschicht kann anhand von Prozessen wie beispielsweise Sputtern oder chemische Dampfabscheidung gebildet werden.
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Bei dem Schritt S1403 wird auf einer Oberfläche der Pufferschicht ein Anzeigegerät gebildet. Das Anzeigegerät umfasst Gateleitungen, die Gateisolierschicht, Datenleitungen und die Passivierungsschicht, die anschließend gebildet werden.
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Nachdem die Pufferschicht gebildet wurde, muss auf der Oberfläche der Pufferschicht das Anzeigegerät gebildet werden, um Bilder anzuzeigen. Das Anzeigegerät umfasst die Gateleitungen, die Gateisolierschicht, die Datenleitungen und die Passivierungsschicht, die anschließend gebildet und nacheinander nach oben hin angeordnet werden. Eine Mehrzahl von Pixeleinheiten kann durch Schnittstellen der Gateleitungen und der Datenleitungen definiert sein.
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Die Flexible-Anzeige-Hauptplatine umfasst eine Mehrzahl von Dünnfilmen wie beispielsweise die Pufferschicht, die Gateisolierschicht und die Passivierungsschicht. Während der Bildung dieser Dünnfilme kann in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine eine auf eine nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung erzeugt werden. Die auf eine nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung kann mit zunehmender Dicke der Filmschichten und zunehmender Größe der Filmschichten zunehmen. Die auf eine nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung kann zu einer nach innen gerichteten Schrumpfung und zu einer Wölbung des flexiblen Substrats führen, wodurch nachfolgende Prozesse und die Leistungsfähigkeit der Flexible-Anzeige-Vorrichtung beeinflusst werden.
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Bei dem Schritt S1404 werden die ersten Rillen zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten mittels Ätzens zumindest einer der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht gebildet.
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Auf der Basis des Obigen wird während der Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß dem Ausführungsbeispiel zumindest eine der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht geätzt, um die ersten Rillen zu bilden. Die auf eine nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in dem Dünnfilm bzw. in den Dünnfilmen wird verringert, und dementsprechend wird die Spannung in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine verringert, wodurch die Leistungsfähigkeit der Flexible-Anzeige-Vorrichtung verbessert wird.
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Die ersten Rillen werden anhand eines Fotolithografieprozesses gebildet. Beispielsweise wird eine Fotoresistschicht auf der Pufferschicht gebildet; eine Maske wird verwendet, um eine Belichtung und Entwicklung auf der Fotoresistschicht durchzuführen, um eine strukturierte Fotoresistschicht zu erhalten; und anschließend wird die strukturierte Fotoresistschicht als Maske verwendet, und die Pufferschicht wird mittels eines Trockenätzprozesses geätzt, um die ersten Rillen zu bilden.
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Gemäß anderen Ausführungsbeispielen der Offenbarung können nach Bildung der ersten Rillen zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten ferner zweite Rillen gebildet werden, um die auf eine nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine weiter freizusetzen.
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Eine Mehrzahl von Pixeleinheiten, die durch Schnittstellen der Gateleitungen und der Datenleitungen definiert ist, ist in mehrere Gruppen unterteilt, und jede Gruppe umfasst zumindest eine der Mehrzahl von Pixeleinheiten.
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Das auf der Oberfläche der Pufferschicht gebildete Anzeigegerät umfasst die Gateleitungen, die Gateisolierschicht, die Datenleitungen und die Passivierungsschicht. Die Mehrzahl von Pixeleinheiten wird durch die Schnittpunkte der Gateleitungen und der Datenleitungen definiert. Gemäß dem Ausführungsbeispiel ist die Mehrzahl von Pixeleinheiten, die durch die Schnittstellen der Gateleitungen und der Datenleitungen definiert ist, in mehrere Gruppen unterteilt, und jede Gruppe umfasst zumindest eine der Mehrzahl von Pixeleinheiten.
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Nachdem die Pixeleinheiten in Gruppen unterteilt wurden, werden zwischen den Gruppen von Pixeleinheiten die zweiten Rillen gebildet.
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Während der Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine wird zumindest eine der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht geätzt, um die zweiten Rillen zu bilden. In dem Fall, dass zumindest ein Teil jeder zweiten Rille mittels Ätzens der Gateisolierschicht gebildet wird, wird die Gateisolierschicht nach Bildung der Gateisolierschicht teilweise geätzt. In dem Fall, dass die zweiten Rillen mittels Ätzens der Pufferschicht gebildet werden, wird die Pufferschicht nach Bildung der Pufferschicht geätzt. Die zweiten Rillen können anhand identischer Prozesse geätzt werden wie die ersten Rillen, die hier nicht wiederholt werden.
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Bei dem Verfahren zum Herstellen der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß dem Ausführungsbeispiel werden die ersten Rillen zwischen den Gruppen von Flexible-Anzeige-Einheiten mittels Ätzens zumindest einer der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht gebildet, und die zweiten Rillen zwischen den Gruppen von Pixeleinheiten werden mittels Ätzens zumindest einer der Pufferschicht, der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht gebildet. Deshalb kann die auf eine nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine über die ersten Rillen und die zweiten Rillen freigesetzt werden. Deshalb wird eine Ansammlung der Spannung, die die Herstellung der Flexible-Anzeige-Hauptplatine beeinträchtigen kann und zu einem Versagen der Flexible-Anzeige-Vorrichtung führen kann, effektiv vermieden.
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Gemäß dem Ausführungsbeispiel ist eine Flexible-Anzeige-Vorrichtung vorgesehen. Wie in 15 gezeigt ist, umfasst die Flexible-Anzeige-Vorrichtung 15 eine Flexible-Anzeige-Einheit 1501, die mittels Vereinzelns der Flexible-Anzeige-Hauptplatine gemäß den obigen Ausführungsbeispielen erhalten wird. Während der Herstellung der Flexible-Anzeige-Einheiten wird die auf eine nach innen gerichtete Schrumpfung bezogene Spannung in der Flexible-Anzeige-Hauptplatine über die ersten Rillen und die zweiten Rillen freigesetzt, wodurch ein Versagen der Flexible-Anzeige-Vorrichtung vermieden und die Leistungsfähigkeit der Flexible-Anzeige-Vorrichtung 15 verbessert wird.
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Die Ausführungsbeispiele gemäß der Offenbarung sind fortschreitend beschrieben. Bei der Beschreibung jedes Ausführungsbeispiels werden Unterschiede zu anderen Ausführungsbeispielen betont. Identische oder ähnliche Teile zwischen den Ausführungsbeispielen können aufeinander bezogen sein. Da die hierin offenbarte Vorrichtung den in der Beschreibung offenbarten Verfahren entspricht, fällt die Beschreibung der Vorrichtung kurz aus, und relative Teile sind aus der Beschreibung der Verfahren ersichtlich.
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Bei der obigen Beschreibung der offenbarten Ausführungsbeispiele kann die Offenbarung seitens Fachleuten implementiert oder verwendet werden. Fachleuten werden verschiedene Modifikationen der Ausführungsbeispiele einleuchten. Das hierin definierte allgemeine Prinzip wird eventuell mit anderen Ausführungsbeispielen erzielt, ohne von dem Schutzumfang der Offenbarung abzuweichen. Deshalb ist die Offenbarung nicht auf die hierin offenbarten Ausführungsbeispiele beschränkt und sollte gemäß den hierin offenbarten wesentlichen und neuartigen Merkmalen einen größtmöglichen Schutzumfang beanspruchen.
