CN109671762B - 柔性显示面板、其制造方法及柔性显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种柔性显示面板、其制造方法及柔性显示装置；所述柔性显示面板包括：柔性基板；薄膜晶体管，设置于所述柔性基板上；平坦层，设置于所述薄膜晶体管上，所述平坦层具有非贯通凹槽；阳极层，设置于所述平坦层上；像素定义层，设置于所述平坦层上，所述像素定义层具有贯通的凹槽；光阻支撑层，设置于所述像素定义层上；本发明利用像素定义层和平坦层做图案化设计，来降低柔性基板的内部应力，提高柔性基板的动态弯折性能，使得柔性显示面板的弯折能力增强，提高柔性基板的耐用性。

Description

柔性显示面板、其制造方法及柔性显示装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域及其制造方法，尤其涉及一种柔性显示面板、其制造方法及柔性显示装置。
背景技术
随着显示科技的发展，各式显示技术不断推陈出新，其中有机发光二极管(organic light-emitting diode，OLED)具有厚度薄、自发光性、彩度高及可弯折性等优点，使得有机发光二极管被誉为显示技术的明日的星。在显示面板中，有机发光二极管因其在固态照明和平板显示的方向拥有巨大的发展潜力而得到了学术界和产业界的极大关注。有机发光二极管(OLED)平板可以做的更轻更薄，因而柔性显示技术将是未来的发展趋势。
OLED由于其重量轻，自发光，广视角、驱动电压低、发光效率高功耗低、响应速度快等优点，应用范围越来越广泛，尤其是柔性OLED显示装置具有可弯折易携带的特点，成为显示技术领域研究和开发的主要领域。
而目前的OLED基板在弯折时容易产生内部应力过高而造成OLED基板显示不均匀或者损坏OLED基板，因此如何提升OLED基板的耐弯折性是目前柔性基板发展的一个重要问题。
发明内容
本发明有关于一种柔性显示面板及其制造方法，其利用像素定义层和平坦层做图案化设计，来降低柔性基板的内部应力，提高柔性基板的动态弯折性能，使得柔性显示面板的弯折能力增强，提高柔性基板的耐用性。
为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：
本发明提供一种柔性显示面板，所述柔性显示面板包括：
柔性基板；
薄膜晶体管，设置于所述柔性基板上；
平坦层，设置于所述薄膜晶体管上，所述平坦层具有非贯通凹槽；
阳极层，设置于所述平坦层上；
像素定义层，设置于所述平坦层上，所述像素定义层具有贯通凹槽；
光阻支撑物，设置于所述像素定义层上。
根据本发明实施例所提供的柔性显示面板，所述像素定义层分为像素区和设置在所述像素区旁的非像素区。
根据本发明实施例所提供的柔性显示面板，所述像素定义层的所述贯通凹槽设置在所述非像素区中。
根据本发明实施例所提供的柔性显示面板，所述平坦层的所述非贯通凹槽对应所述像素定义层的所述贯通凹槽。
根据本发明实施例所提供的柔性显示面板，所述平坦层的所述非贯通凹槽的底部为平坦状。
根据本发明实施例所提供的柔性显示面板，使用半透明光罩定义出所述平坦层的所述非贯通凹槽。
根据本发明实施例所提供的柔性显示面板，所述平坦层的所述非贯穿凹槽为非贯穿的孔。
根据本发明实施例所提供的柔性显示面板，所述像素定义层的所述贯穿凹槽为贯穿的孔。
本发明还提供例如一种柔性显示面板的制作方法，包括：
提供柔性基板；
形成薄膜晶体管于所述柔性基板上；
通过黄光制程制作平坦层于所述薄膜晶体管上，使用半透明光罩在所述平坦层上形成非贯穿凹槽；
沉积阳极层于所述平坦层上；
形成像素定义层于所述平坦层上，使用黄光制程在所述像素定义层上形成贯穿凹槽；
通过黄光制程在所述像素定义层上形成光阻支撑物。
本发明提供了一种柔性显示装置，所述柔性显示装置使用了上述任一项所述的柔性显示面板。
本发明的有益效果为：本发明提供的柔性显示面板，通过设计一种平坦层和像素定义层的图案化，来降低柔性基板的内部应力，提高柔性基板的动态弯折性能，进一步的提高柔性显示面板的耐用性。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的柔性显示面板的截面示意图。
图2为本发明实施例提供的柔性显示面板平坦层和像素定义层做条状槽设计的俯视图。
图3为本发明实施例提供的柔性显示面板平坦层和像素定义层做空孔状设计的俯视图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明针对现有技术的柔性显示面板，弯折后基板的内部应力过大，导致柔性显示面板容易受损，进而影响柔性显示面板的显示质量，本实施例能够解决该问题。
如图1所示为本发明实施例提供的柔性显示面板100的截面图。
如图1所示，本发明实施例提供的柔性显示面板100包括柔性基板101，薄膜晶体管102，源漏极层103，平坦层104，阳极层105，像素定义层106，光阻支撑物107。
如图1和图2所示，所述柔性基板101包括第一聚酰亚胺(Polyimide,简称PI)层1011，隔绝层1012，第二聚酰亚胺层1013。所述隔绝层1012覆盖在所述第一聚酰亚胺层1011上，所述隔绝层1012可以防止水氧的渗透，为柔性基板101提供良好的隔水隔氧的能力。所述第二聚酰亚胺层1013制备在所述隔绝层1012上，以此来形成所述柔性基板101。
所述薄膜晶体管102制备在所述柔性基板101上。在本发明实施例中所述薄膜晶体管102的制作方法为：在所述柔性基板101上沉积制作第一缓冲层1021(mainbuffer，简称MB)，在所述第一缓冲层1021上沉积第二缓冲层1022(Bufferlayer)，所述第二缓冲层1022制备完成后，在所述第二缓冲层1022上沉积有源层1023(Activelayer)，然后在所述有源层1023上覆盖制备第一栅极绝缘层1024，在所述第一栅极绝缘层1024上沉积第一栅极层1025，所述第一栅极层1025制备完成后，在所述第一栅极层1025上制备第二栅极绝缘层1026，然后在所述第二栅极绝缘层1026上沉积第二栅极层1027。在所述第二栅极层1027上沉积绝缘隔绝层1028,然后在所述绝缘隔绝层1028上沉积源漏极层103。
源漏极层103制作完成后，通过黄光制程制作平坦层104，制作平坦层104时使用半透明光罩，定义出局部挖空区域，作为平坦层104的非贯通式凹槽，而且凹槽底部为平坦状。
然后做阳极层105沉积，通过光刻制程，定义出阳极电极。阳极层105制作完成后，在所述阳极层105上制备像素定义层106。所述像素定义层106通过黄光制程定义出像素区和非像素区，在非像素区所对应的平坦层104非贯通式凹槽处使用黄光制程做挖空处理，形成非像素区的贯通式凹槽。所述像素定义层106非像素区的贯通式凹槽与所述平坦层104的非贯通式凹槽相对应。最后通过黄光制程定义出光阻支撑物107，所述光阻支撑物107设置于所述像素定义层106上。
如图1和图3所示，本发明实施例提供的柔性显示面板100包括柔性基板101，薄膜晶体管102，源漏极层103，平坦层104，阳极层105，像素定义层106，光阻支撑物107。
如图1所示，所述柔性基板101包括第一聚酰亚胺(Polyimide,简称PI)层1011，隔绝层1012，第二聚酰亚胺层1013。所述隔绝层1012覆盖在所述第一聚酰亚胺层1011上，所述隔绝层1012可以防止水氧的渗透，为柔性基板101提供良好的隔水隔氧的能力。所述第二聚酰亚胺层1013制备在所述隔绝层1012上，以此来形成所述柔性基板101。
所述薄膜晶体管102制备在所述柔性基板101上。在本发明实施例中所述薄膜晶体管102的制作方法为：在所述柔性基板101上沉积制作第一缓冲层1021(mainbuffer，简称MB)，在所述第一缓冲层1021上沉积第二缓冲层1022(Bufferlayer)，所述第二缓冲层1022制备完成后，在所述第二缓冲层1022上沉积有源层1023(Activelayer)，然后在所述有源层1023上覆盖制备第一栅极绝缘层1024，在所述第一栅极绝缘层1024上沉积第一栅极层1025，所述第一栅极层1025制备完成后，在所述第一栅极层1025上制备第二栅极绝缘层1026，然后在所述第二栅极绝缘层1026上沉积第二栅极层1027。在所述第二栅极层1027上沉积绝缘隔绝层1028,然后在所述绝缘隔绝层1028上沉积源漏极层103。
源漏极层103制作完成后，通过黄光制程制作平坦层104，制作平坦层104时使用半透明光罩，定义出局部挖空区域，作为平坦层104的非贯通式空孔，而且空孔底部为平坦状。
然后做阳极层105沉积，通过光刻制程，定义出阳极电极。阳极层105制作完成后，在所述阳极层105上制备像素定义层106。所述像素定义层106通过黄光制程定义出像素区和非像素区，在非像素区所对应的平坦层104非贯通式空孔处使用黄光制程做挖空孔处理，形成非像素区的贯通式空孔。所述像素定义层106非像素区的贯通式空孔与所述平坦层104的非贯通式空孔相对应。最后通过黄光制程定义出光阻支撑物107，所述光阻支撑物107设置于所述像素定义层106上。
有益效果为：本发明实施例提供的柔性显示面板，将每个单一像素外围通过平坦层和像素定义层做图案化设计，像素的外围挖空区域作为柔性显示面板的内应力释放。做平坦层和像素定义层的图案化设计可有效抑制单一像素的膜层产生裂纹裂缝，提高柔性显示面板的耐弯折能力。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (7)

1.一种柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括：
柔性基板；
薄膜晶体管，设置于所述柔性基板上；
平坦层，设置于所述薄膜晶体管上，所述平坦层具有非贯通凹槽；
阳极层，设置于所述平坦层上；
像素定义层，设置于所述平坦层上，所述像素定义层具有贯通凹槽；
光阻支撑物，设置于所述像素定义层上；
其中，所述像素定义层分为像素区和设置在所述像素区旁的非像素区；所述像素定义层的所述贯通凹槽设置在所述非像素区中；
其中，所述平坦层的所述非贯通凹槽对应所述像素定义层的所述贯通凹槽。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述平坦层的所述非贯通凹槽的底部为平坦状。
3.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，使用半透明光罩定义出所述平坦层的所述非贯通凹槽。
4.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述平坦层的所述非贯通凹槽为非贯穿的孔。
5.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述像素定义层的所述贯通凹槽为贯穿的孔。
6.一种柔性显示面板的制作方法，包括：
提供柔性基板；
形成薄膜晶体管于所述柔性基板上；
通过黄光制程制作平坦层于所述薄膜晶体管上，使用半透明光罩在所述平坦层上形成非贯通凹槽；
沉积阳极层于所述平坦层上；
形成像素定义层于所述平坦层上，使用黄光制程在所述像素定义层上形成贯通凹槽；
通过黄光制程在所述像素定义层上形成光阻支撑物；
其中，所述像素定义层分为像素区和设置在所述像素区旁的非像素区；所述像素定义层的所述贯通凹槽设置在所述非像素区中；
其中，所述平坦层的所述非贯通凹槽对应所述像素定义层的所述贯通凹槽。
7.一种柔性显示装置，包括如权利要求1-5任一项所述的柔性显示面板。
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