JP2015037098A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】 ワークのずれを解消することが可能なワーク搬送システムを提供すること。【解決手段】 各々がワーク８９を載置する第１載置部３１３および第２載置部３２３と、ワーク８９を保持する保持部１５を含むロボット１と、を用いる搬送システム８００であって、ワーク８９の画像であり、且つ、第１載置部３１３に載置されたワーク８９の状態を示すワーク画像Ｉｍを撮像する画像撮像部６１と、第１載置部３１３に対するワーク８９の予定載置位置Ｓ１０に関する予定載置位置情報Ｉｐ１を記憶する第１記憶部６８１と、予定載置位置Ｓ１０に対する、第１載置部３１３に載置されたワーク８９のずれ量ΔＴを算出するずれ量算出部６２と、を備え、ずれ量算出部６２は、ワーク画像Ｉｍと、予定載置位置情報Ｉｐ１と、に基づき、ずれ量ΔＴを算出する。【選択図】 図１

Description

本発明は、搬送システムに関する。

従来から、ワークを搬送する搬送用ロボットが知られている（たとえば特許文献１参照）。同文献に開示の搬送用ロボットは、ワークを載置するためのハンドを有する。この搬送用ロボットは、ある箇所に載置されたワークをハンドに載置することにより、他の箇所に搬送する。通常、ある箇所にてワークが所望の状態からずれている場合には、搬送用ロボットによって、他の箇所にもずれた状態のまま載置されてしまい、ワークのずれが解消されない。

特開２０１１−２３３７４５号公報

本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、ワークのずれを解消することが可能なワーク搬送システムを提供することをその主たる課題とする。

本発明の第１の側面によると、各々がワークを載置する第１載置部および第２載置部と、ワークを保持する保持部を含むロボットと、を用いる搬送システムであって、前記ワークの画像であり、且つ、前記第１載置部に載置されたワークの状態を示すワーク画像を撮像する画像撮像部と、前記第１載置部に対するワークの予定載置位置に関する予定載置位置情報を記憶する第１記憶部と、前記予定載置位置に対する、前記第１載置部に載置されたワークのずれ量を算出するずれ量算出部と、を備え、前記ずれ量算出部は、前記ワーク画像と、前記予定載置位置情報と、に基づき、前記ずれ量を算出する、搬送システムが提供される。

好ましくは、前記第２載置部にワークを載置する時点における前記保持部の位置を規定する教示位置情報を記憶する第２記憶部と、前記ずれ量に基づいて前記教示位置情報を補正することにより、補正教示位置情報を算出する補正教示位置情報算出部と、を更に備える。

好ましくは、前記ロボットの動作を制御する動作制御信号を生成する動作制御部を更に備え、前記動作制御部は、前記補正教示位置情報に基づいて、前記動作制御信号を生成する。

好ましくは、前記ワークは、第１辺と第２辺と第３辺と第４辺とを有し、且つ、前記ワークの厚さ方向視において、前記第１辺と前記第２辺と前記第３辺と前記第４辺とによって規定される矩形状であり、前記第１辺と前記第２辺とは、第１角部を構成しており、前記第１辺と前記第３辺とは、第２角部を構成している。

好ましくは、前記ずれ量算出部は、第１角部情報算出部と、演算部と、を含み、前記第１角部情報算出部は、前記ワーク画像に基づき第１角部情報を算出し、前記第１角部情報は、前記第１載置部に載置されたワークにおける第１角部の座標に関する情報であり、前記演算部は、前記第１角部情報と、前記予定載置位置情報と、に基づき、前記ずれ量を算出する。

好ましくは、前記ずれ量算出部は、第２角部情報算出部を含み、前記第２角部情報算出部は、前記ワーク画像に基づき第２角部情報を算出し、前記第２角部情報は、前記第１載置部に載置されたワークにおける第２角部の座標に関する情報であり、前記演算部は、前記第２角部情報に基づき、前記ずれ量を算出する。

好ましくは、前記第１角部情報算出部は、第１直線情報算出器と、第２直線情報算出器と、第１角部情報算出器と、を有し、前記第１直線情報算出器は、前記ワーク画像に基づき、前記第１辺の延びる方向に一致する第１直線に関連する第１直線情報を算出し、前記第２直線情報算出器は、前記ワーク画像に基づき、前記第２辺の延びる方向に一致する第２直線に関連する第２直線情報を算出し、前記第１角部情報算出器は、前記第１直線情報と前記第２直線情報とに基づき、前記第１角部情報を算出する。

好ましくは、前記第１直線情報算出器は、前記第１直線情報を算出できない場合、前記第１角部に欠けがあると判断し、前記第２直線情報算出器は、前記第２直前情報を算出できない場合、前記第１角部に欠けがあると判断する。

好ましくは、前記ワークは、前記ワークの厚さ方向に直交する方向を向く複数の端面を有し、前記ワークの前記複数の端面のいずれかに向けて光を照射する光照射源を更に備え、前記画像撮像部は、前記光照射源から照射されて前記端面にて反射した光を受ける。

好ましくは、前記画像撮像部と前記光照射源とは、当該画像撮像部が撮像するワークの厚さ方向において、当該ワークを基準として、互いに反対側に位置している。

好ましくは、前記光照射源は、前記ワークにおける前記複数の端面のうち、前記第１辺を構成する第１端面と、前記ワークにおける前記複数の端面のうち、前記第２辺を構成する第２端面と、前記第１端面および前記第２端面によって構成される第１稜線に向けて光を照射する。

好ましくは、前記画像撮像部は、前記保持部によって、前記第１載置部に載置されたワークが保持された後、且つ、前記保持部にて前記ワークが保持されている時に、前記ワーク画像を撮像する。

好ましくは、前記保持部を含む前記ロボットを更に備え、前記画像撮像部は、前記保持部に固定されている。

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。

本発明の第１実施形態にかかる搬送システムの機能ブロック図である。 ロボットと、第１ワーク格納装置と、第２ワーク格納装置と、を示す平面図である。 ロボットと、第１ワーク格納装置とを示す正面図（第１ワーク格納装置は断面を示す）である。 ロボットと、第１ワーク格納装置とを示す平面図（第１ワーク格納装置は断面を示す）である。 ロボットから第１ワーク格納装置を見た場合の部分拡大図である。 ロボットと、第２ワーク格納装置とを示す正面図（第２ワーク格納装置は断面を示す）である。 ロボットと、第２ワーク格納装置とを示す平面図（第２ワーク格納装置は断面を示す）である。 ロボットから第２ワーク格納装置を見た場合の部分拡大図である。 ワークの斜視図である。 ロボットによる搬送工程の一工程を示す平面図（第１ワーク格納装置は断面を示）である。 図１０に続く一工程を示す平面図である。 図１１に続く一工程を示す平面図である。 図１２の部分拡大平面図である。 図１２に示した構成の正面図である。 第１角部画像の一例を示す図である。 第２角部画像の一例を示す図である。 第１角部に欠けがある場合の、第１角部画像の一例を示す図である。

以下、本発明の実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。

＜第１実施形態＞
図１〜図１７を用いて、本発明の第１実施形態について説明する。

図１は、本発明の第１実施形態にかかる搬送システムの機能ブロック図である。

同図に示す搬送システム８００は、ロボット１と、光照射源５１（図２、図３等参照）と、画像撮像部６１と、ずれ量算出部６２と、補正教示位置情報算出部６４と、動作制御部６５と、第１記憶部６８１と、第２記憶部６８２と、を備える。

図２は、ロボット１と、第１ワーク格納装置３１と、第２ワーク格納装置３２と、を示す平面図である。図３は、ロボット１と、第１ワーク格納装置３１とを示す正面図（第１ワーク格納装置３１は断面を示す）である。図４は、ロボット１と、第１ワーク格納装置３１とを示す平面図（第１ワーク格納装置３１は断面を示す）である。図５は、ロボット１から第１ワーク格納装置３１を見た場合の部分拡大図である。

図１〜図４等に示すロボット１は、ワーク８９を搬送するための搬送ロボットである。

ロボット１は、基部１１と、移動機構１３と、保持部１５と、を含む。

基部１１は、ロボット１における土台となる部位である。基部１１は、たとえば、図２の上下方向に沿ってスライド可能に、床面に固定されている。本実施形態では、基部１１は、レール１９１に沿って図２の上下方向に沿ってスライドする。移動機構１３は基部１１および保持部１５に連結されている。移動機構１３は、基部１１に対し保持部１５を移動させるための機構である。移動機構１３は、複数のアームおよび回転機構（詳細な説明は省略）等を有する。本実施形態においては、移動機構１３は、基部１１に対し保持部１５を水平方向に進退移動させる。また、移動機構１３は基部１１に対し昇降可能である。移動機構１３が基部１１に対し昇降することにより、移動機構１３は、基部１１に対し保持部１５を上下方向に移動させる。また、移動機構１３は、平面視において基部１１に対し回転可能である。移動機構１３が基部１１に対し回転することにより、移動機構１３は、基部１１に対し保持部１５を平面視において基部１１の周りに回動させる。

保持部１５は、ワーク８９を保持するためのものである。ワーク８９を保持した状態で保持部１５が移動することにより、ワーク８９は所望の位置まで搬送される。本実施形態においては、保持部１５はワーク８９を載置することにより、ワーク８９を搬送する。本実施形態とは異なり、保持部１５はワーク８９を載置するものには限定されない。たとえば、保持部１５は、ワーク８９をワーク８９の上面から吸着することにより、ワーク８９を保持するものであってもよい。

本実施形態においては、保持部１５は、ホルダ１５１および２つのエンドエフェクタ１５３を有する。ホルダ１５１は、移動機構１３に連結されている。本実施形態においてホルダ１５１は台形の板状であるが、ホルダ１５１の具体的形状はこれに限定されない。各エンドエフェクタ１５３は、一方向に沿って延びる細板状である。各エンドエフェクタ１５３はホルダ１５１に固定されている。２つのエンドエフェクタ１５３は、ワーク８９を載置することにより、ワーク８９を搬送する。

図２〜図５等に示す第１ワーク格納装置３１は、ワーク８９を格納するためのものである。本実施形態では、第１ワーク格納装置３１は、ワーク８９を複数（たとえば２０〜３０程度）格納するためのカセットである。第１ワーク格納装置３１は、ワーク８９を載置するための第１載置部３１３を含む。本実施形態では、第１載置部３１３は、互いに平行に延びる２つの細板である。２つの細板よりなる第１載置部３１３の上面に、ワーク８９が載置される。

図６は、ロボット１と、第２ワーク格納装置３２とを示す正面図（第２ワーク格納装置３２は断面を示す）である。図７は、ロボット１と、第２ワーク格納装置３２とを示す平面図（第２ワーク格納装置３２は断面を示す）である。図８は、ロボット１から第２ワーク格納装置３２を見た場合の部分拡大図である。

第２ワーク格納装置３２には、ワーク８９を格納するための格納空間が形成されている。第２ワーク格納装置３２は、たとえばロードックチャンバである。ロードックチャンバに格納されたワーク８９は、その後、プロセスチャンバ等に搬送され、所望の処理が行われる。図６〜図８に示すように、第２ワーク格納装置３２は、支持板３２１および第２載置部３２３を含む。支持板３２１および第２載置部３２３は、第２ワーク格納装置３２に形成された、ワーク８９を格納するための上記格納空間に配置されている。支持板３２１は、第２ワーク格納装置３２の上記格納空間を規定する底面に固定されている。第２載置部３２３は、ワーク８９を載置するための部位である。本実施形態においては、第２載置部３２３は複数の棒状の部材である。複数の棒状の部材である第２載置部３２３の上端に、ワーク８９が載置される。

図９は、ワーク８９の斜視図である。

ワーク８９は、板状であり、たとえば、ガラスパネル、あるいは、液晶ＦＰＤ用基板である。ワーク８９は、一部または全部が透明な材質よりなっていてもよい。本実施形態では、ワーク８９は、第１辺８９１と第２辺８９２と第３辺８９３と第４辺８９４とを有する。そして、ワーク８９は、ワーク８９の厚さ方向視において、第１辺８９１と第２辺８９２と第３辺８９３と第４辺８９４とによって規定される矩形状である。第１辺８９１と第２辺８９２とは、第１角部８９６を構成している。第１辺８９１と第３辺８９３とは第２角部８９７を構成している。

ワーク８９は、第１端面８６１と第２端面８６２と第３端面８６３と第４端面８６４とを有している。第１端面８６１と第２端面８６２と第３端面８６３と第４端面８６４はいずれも、ワーク８９の厚さ方向に直交する方向を向いている。第１端面８６１は第１辺８９１を構成しており、第２端面８６２は第２辺８９２を構成しており、第３端面８６３は第３辺８９３を構成しており、第４端面８６４は第４辺８９４を構成している。第１端面８６１と第２端面８６２とによって、第１稜線８６６が構成されている。第１端面８６１と第３端面８６３とによって、第２稜線８６７が構成されている。

図１〜図３等に示す光照射源５１は、画像撮像部６１が画像を撮像する際に、ワーク８９の複数の端面のいずれかに向けて光を照射する。具体的には、光照射源５１は、ワーク８９の第１端面８６１と、第２端面８６２と、第３端面８６３と、に向けて光を照射する。本実施形態では、光照射源５１は、２つのライトを有する。光照射源５１の詳細については後述する。

図１〜図３等に示す画像撮像部６１は、たとえばＣＣＤカメラである。画像撮像部６１は保持部１５に固定されている。そのため、保持部１５が移動したとき、画像撮像部６１は、保持部１５の動作と同様の動作をする。本実施形態では、画像撮像部６１が治具によってホルダ１５１に固定されている例を示している。画像撮像部６１がホルダ１５１に固定されていると、画像撮像部６１が第１ワーク格納装置３１等に接触することを防止しやすい。ただし、本実施形態とは異なり、画像撮像部６１は、ホルダ１５１ではなく、エンドエフェクタ１５３に固定されていてもよい。画像撮像部６１は、ワーク８９の画像であるワーク画像Ｉｍを撮像する。ワーク画像Ｉｍは、第１載置部３１３に載置されたワーク８９の状態を示すものである。

図１に示す第１記憶部６８１は、予定載置位置情報Ｉｐ１を記憶している。予定載置位置情報Ｉｐ１は、第１載置部３１３に対するワーク８９の予定載置位置Ｓ１０に関する情報である。

ずれ量算出部６２は、予定載置位置Ｓ１０に対する、第１載置部３１３に載置されたワーク８９のずれ量ΔＴを算出する。ずれ量算出部６２は、ワーク画像Ｉｍと、予定載置位置情報Ｉｐ１と、に基づき、ワーク８９のずれ量ΔＴを算出する。なお、ずれ量算出部６２のその他の点については後述する。

第２記憶部６８２は、第２載置部３２３にワーク８９を載置する時点における保持部１５の位置を規定する教示位置情報ＩＴ１を記憶する。

補正教示位置情報算出部６４は、ずれ量算出部６２によって算出された、ワーク８９のずれ量ΔＴに基づいて教示位置情報ＩＴ１を補正することにより、補正教示位置情報ＩＴ２を算出する。補正教示位置情報算出部６４は、算出した補正教示位置情報ＩＴ２を、動作制御部６５に送る。

動作制御部６５は、ロボット１の動作を制御する。具体的には、動作制御部６５は、保持部１５の動作を制御する。動作制御部６５は、ロボット１に、ロボット１の動作を制御するための動作制御信号Ｍｓを生成する。本実施形態では、動作制御部６５は、補正教示位置情報ＩＴ２に基いて、動作制御信号Ｍｓを生成する。そして、動作制御信号Ｍｓに基づきロボット１が動作する。

次に、搬送システム８００の動作について説明する。

第１載置部３１３に載置されたワーク８９を、ロボット１における保持部１５が保持する動作について説明する。まず、図１０に示すように、第１載置部３１３に載置されたワーク８９を保持する際、ロボット１は、保持部１５が第１載置部３１３に対して退避した状態となっている。図１０に示すように、ワーク８９は、予定載置位置Ｓ１０からずれている。図１０のワーク８９では、図１０の左右方向の位置ずれと、図１０の上下方向の位置の位置ずれと、予定載置位置Ｓ１０に対するワーク８９の平面視における傾きと、が生じている。ワーク８９のずれは、たとえば、第１ワーク格納装置３１（カセット）の運搬に起因して生じることが考えられる。

次に、図１１に示すように、第１載置部３１３に向かって、保持部１５を移動（すなわち前進）させる。このようにして、保持部１５をワーク８９の下方に位置させる。次に、保持部１５を上昇させて、第１載置部３１３に載置されたワーク８９を保持部１５に保持させる（本実施形態では保持部１５にワーク８９を載置させる）。次に、図１２に示すように、保持部１５にワーク８９が保持された状態のまま第１載置部３１３から保持部１５を離間させて、保持部１５を第１載置部３１３から退避させる。保持部１５に保持されたワーク８９は、第１載置部３１３に載置されていた際と同様にずれた状態のままとなっている。

本実施形態では、画像撮像部６１によってワーク８９の画像を撮像することにより、第２載置部３２３にワーク８９を載置する際に、ワーク８９を予定載置位置Ｓ２０からずれないように配置するための補正教示位置情報ＩＴ２を算出する。具体的には、以下の通りである。

図１３は、図１２の部分拡大平面図である。図１４は、図１２に示した構成の正面図である。

画像撮像部６１がワーク８９の画像を撮像する際、図１４に示すように、画像撮像部６１と光照射源５１とは、当該ワーク８９の厚さ方向（図１４の上下方向）において、当該ワーク８９を基準として、互いに反対側に位置している。すなわち、本実施形態では、画像撮像部６１は、第１載置部３１３の上側に位置しており、光照射源５１は、第１載置部３１３の下側に位置している。光照射源５１は、ワーク８９の第１稜線８６６と、第２稜線８６７と、第１端面８６１と、第２端面８６２と、第３端面８６３と、に向けて、光を照射する。本実施形態では、上述のように、光照射源５１が２つのライトよりなる。一方のライトが、第１端面８６１と第２端面８６２と第１稜線８６６とに向けて光を照射し、他方のライトが、第１端面８６１と第３端面８６３と第２稜線８６７とに向けて、光を照射する。

画像撮像部６１は、ワーク８９の画像（ワーク画像Ｉｍ）を撮像する。特に、本実施形態では、画像撮像部６１は、光照射源５１から照射され、ワーク８９の端面（第１端面８６１や第２端面８６２や第３端面８６３）にて反射した光を受ける。ワーク８９にて反射した光を受けることにより、画像撮像部６１は、ワーク８９を認識しやすくなる。本実施形態では、画像撮像部６１は、ワーク８９の斜め上からワーク８９の画像を撮像する。なお、本実施形態とは異なり、光照射源５１を用いることなく、画像撮像部６１がワーク８９の画像を撮像してもよい。

本実施形態においては、画像撮像部６１は、ワーク画像Ｉｍとして、第１角部画像Ｉｍ１（図１５参照）および第２角部画像Ｉｍ２（図１６参照）を撮像する。第１角部画像Ｉｍ１は、ワーク８９における第１角部８９６を含む画像である。第２角部画像Ｉｍ２は、ワーク８９における第２角部８９７を含む画像である。本実施形態では、画像撮像部６１は、２つのカメラを含んでおり、一方のカメラが第１角部画像Ｉｍ１を撮像し、他方のカメラが第２角部画像Ｉｍ２を撮像する。そして、画像撮像部６１は、第１角部画像Ｉｍ１に対応する第１画像信号ＳＩｍ１と、第２角部画像Ｉｍ２に対応する第２画像信号ＳＩｍ２とを生成し、ずれ量算出部６２に送る。

本実施形態では、ずれ量算出部６２は、第１角部情報算出部６２１と、第２角部情報算出部６２２と、演算部６２５と、を含む。

第１角部情報算出部６２１は、画像撮像部６１からの第１画像信号ＳＩｍ１を受ける。第１角部情報算出部６２１は、ワーク画像Ｉｍ（具体的には第１角部画像Ｉｍ１）に基づき第１角部情報Ｉｃ１を算出する。第１角部情報Ｉｃ１は、第１載置部３１３に載置されたワーク８９における第１角部８９６の座標に関する情報である。

更に具体的には、第１角部情報算出部６２１は、第１直線情報算出器６２１Ａと、第２直線情報算出器６２１Ｂと、第１角部情報算出器６２１Ｃと、を有する。

第１直線情報算出器６２１Ａは、画像撮像部６１からの第１画像信号ＳＩｍ１を受ける。第１直線情報算出器６２１Ａは、ワーク画像Ｉｍ（具体的には第１角部画像Ｉｍ１）に基づき、第１直線情報ＩＬ１１を算出する。第１直線情報ＩＬ１１は、第１載置部３１３に載置されたワーク８９における第１辺８９１の延びる方向に一致する第１直線Ｌ１（図１５参照）に関連する情報である。本実施形態では、第１直線情報ＩＬ１１は、たとえば、第１角部画像Ｉｍ１における、第１直線Ｌ１のパラメータである。第１直線情報算出器６２１Ａは、算出した第１直線情報ＩＬ１１を、第１角部情報算出器６２１Ｃに送る。

図１７に示すように、ワーク８９の第１角部８９６に比較的大きな欠けが存在している場合、第１端面８６１や第２端面８６２に照射された光のハレーション（白くぼやけること）の影響により、第１直線情報算出器６２１Ａが第１直線情報ＩＬ１１を算出できないことがある。第１直線情報算出器６２１Ａが第１直線情報ＩＬ１１を算出できない場合、第１直線情報算出器６２１Ａは、第１角部８９６に欠けが存在していると判断する。

第２直線情報算出器６２１Ｂは、画像撮像部６１からの第１画像信号ＳＩｍ１を受ける。第２直線情報算出器６２１Ｂは、ワーク画像Ｉｍ（具体的には第１角部画像Ｉｍ１）に基づき、第２直線情報ＩＬ１２を算出する。第２直線情報ＩＬ１２は、第１載置部３１３に載置されたワーク８９における第２辺８９２の延びる方向に一致する第２直線Ｌ２（図１５参照）に関連する情報である。本実施形態では、第２直線情報ＩＬ１２は、たとえば、第１角部画像Ｉｍ１における、第２直線Ｌ２のパラメータである。第２直線情報算出器６２１Ｂは、算出した第２直線情報ＩＬ１２を、第１角部情報算出器６２１Ｃに送る。

第１直線情報算出器６２１Ａに関して述べたのと同様に、第２直線情報算出器６２１Ｂが第２直線情報ＩＬ１２を算出できない場合、第２直線情報算出器６２１Ｂは、第１角部８９６に欠けが存在していると判断する。

第１角部情報算出器６２１Ｃは、第１直線情報ＩＬ１１および第２直線情報ＩＬ１２を受けて、上述の第１角部情報Ｉｃ１を算出する。本実施形態では、第１角部情報算出器６２１Ｃは、第１直線Ｌ１および第２直線Ｌ２の交点を求める演算を行うことにより、第１角部情報Ｉｃ１を算出する。本実施形態では、第１角部情報Ｉｃ１は、たとえば、ワールド座標系における、第１角部８９６の座標である。なお、ワールド座標系における第１角部８９６の座標は、第１角部画像Ｉｍ１における第１角部８９６の座標を算出したのち、当該座標をワールド座標系の座標に変換することにより、算出される。

第２角部情報算出部６２２は、画像撮像部６１からの第２画像信号ＳＩｍ２を受ける。第２角部情報算出部６２２は、ワーク画像Ｉｍ（具体的には第２角部画像Ｉｍ２）に基づき第２角部情報Ｉｃ２を算出する。第２角部情報Ｉｃ２は、第１載置部３１３に載置されたワーク８９における第２角部８９７の座標に関する情報である。

更に具体的には、第２角部情報算出部６２２は、第１直線情報算出器６２２Ａと、第３直線情報算出器６２２Ｂと、第２角部情報算出器６２２Ｃと、を有する。

第１直線情報算出器６２２Ａは、画像撮像部６１からの第２画像信号ＳＩｍ２を受ける。第１直線情報算出器６２２Ａは、ワーク画像Ｉｍ（具体的には第２角部画像Ｉｍ２）に基づき、第１直線情報ＩＬ２１を算出する。第１直線情報ＩＬ２１は、第１載置部３１３に載置されたワーク８９における第１辺８９１の延びる方向に一致する第１直線Ｌ１（図１６参照）に関連する情報である。本実施形態では、第１直線情報ＩＬ２１は、たとえば、第２角部画像Ｉｍ２における、第１直線Ｌ１のパラメータである。第１直線情報算出器６２２Ａは、算出した第１直線情報ＩＬ２１を、第２角部情報算出器６２２Ｃに送る。

第１直線情報算出器６２１Ａに関して述べたのと同様に、第１直線情報算出器６２２Ａが第１直線情報ＩＬ２１を算出できない場合、第１直線情報算出器６２２Ａは、第２角部８９７に欠けが存在していると判断する。

第３直線情報算出器６２２Ｂは、画像撮像部６１からの第２画像信号ＳＩｍ２を受ける。第３直線情報算出器６２２Ｂは、ワーク画像Ｉｍ（具体的には第２角部画像Ｉｍ２）に基づき、第３直線情報ＩＬ２３を算出する。第３直線情報ＩＬ２３は、第１載置部３１３に載置されたワーク８９における第３辺８９３の延びる方向に一致する第３直線Ｌ３（図１６参照）に関連する情報である。本実施形態では、第３直線情報ＩＬ２３は、たとえば、第２角部画像Ｉｍ２における、第３直線Ｌ３のパラメータである。第３直線情報算出器６２２Ｂは、算出した第３直線情報ＩＬ２３を、第２角部情報算出器６２２Ｃに送る。

第１直線情報算出器６２２Ａに関して述べたのと同様に、第３直線情報算出器６２２Ｂが第３直線情報ＩＬ２３を算出できない場合、第３直線情報算出器６２２Ｂは、第２角部８９７に欠けが存在していると判断する。

第２角部情報算出器６２２Ｃは、第１直線情報ＩＬ２１および第３直線情報ＩＬ２３を受けて、上述の第２角部情報Ｉｃ２を算出する。本実施形態では、第２角部情報算出器６２２Ｃは、第１直線Ｌ１および第３直線Ｌ３の交点を求める演算を行うことにより、第２角部情報Ｉｃ２を算出する。本実施形態では、第２角部情報Ｉｃ２は、たとえば、ワールド座標系における、第２角部８９７の座標である。なお、ワールド座標系における第２角部８９７の座標は、第２角部画像Ｉｍ２における第２角部８９７の座標を算出したのち、当該座標をワールド座標系の座標に変換することにより、算出される。

演算部６２５は、第１角部情報算出器６２１Ｃから第１角部情報Ｉｃ１を、第２角部情報算出器６２２Ｃから第２角部情報Ｉｃ２を受けると、第１角部情報Ｉｃ１と、第２角部情報Ｉｃ２と、予定載置位置情報Ｉｐ１と、に基いて、ワーク８９のずれ量ΔＴを算出する。ずれ量ΔＴは、図１２の左右方向（保持部１５の進退方向）における位置のずれ、図１２の上下方向における位置のずれ、および、ワーク８９の平面視における傾きに関する。具体的には、演算部６２５は、第１角部情報Ｉｃ１と、第２角部情報Ｉｃ２と、によって、第１載置部３１３に載置されたワーク８９の位置が予定載置位置Ｓ１０からどの程度ずれているかを算出する。本実施形態においては、演算部６２５は、第１載置部３１３に載置されたワーク８９が、平面視にて予定載置位置Ｓ１０からどの程度傾いているかについても算出する。演算部６２５は、予定載置位置Ｓ１０に対する、第１載置部３１３に載置されたワーク８９のずれ量ΔＴを、補正教示位置情報算出部６４に送る。

補正教示位置情報算出部６４は、ずれ量ΔＴを受けると、当該ずれ量ΔＴに基づいて教示位置情報ＩＴ１を補正することにより、ワーク８９を予定載置位置Ｓ２０からずれないように配置するための補正教示位置情報ＩＴ２を算出する。補正教示位置情報算出部６４は、算出した補正教示位置情報ＩＴ２を、動作制御部６５に送る。

以上のように、画像撮像部６１によってワーク８９の画像を撮像することにより、補正教示位置情報ＩＴ２が算出される。

ロボット１は、保持部１５にワーク８９が保持された状態のまま、基部１１を回転させ、第２載置部３２３に向かって、保持部１５を移動（すなわち前進）させる（図示略）。次に、保持部１５を降下させて、第２載置部３２３（図６、図７参照）にワーク８９を載置する。この際、第２記憶部６８２に記憶されていた教示位置情報ＩＴ１ではなく、補正教示位置情報ＩＴ２に基づき、保持部１５が動作しているので、ワーク８９は、正確に予定載置位置Ｓ２０に載置される。その後、第２載置部３２３から保持部１５を離間させて、保持部１５を第２載置部３２３から退避させる。

次に、本実施形態の作用効果について説明する。

本実施形態においては、搬送システム８００が、画像撮像部６１と、第１記憶部６８１と、ずれ量算出部６２と、を備える。画像撮像部６１は、ワーク８９の画像であり、且つ、第１載置部３１３に載置されたワーク８９の状態を示すワーク画像Ｉｍを撮像する。第１記憶部６８１は、第１載置部３１３に対するワーク８９の予定載置位置Ｓ１０に関する予定載置位置情報Ｉｐ１を記憶する。ずれ量算出部６２は、予定載置位置Ｓ１０に対する、第１載置部３１３に載置されたワーク８９のずれ量ΔＴを算出する。ずれ量算出部６２は、ワーク画像Ｉｍと、予定載置位置情報Ｉｐ１と、に基づき、ずれ量ΔＴを算出する。このような構成によると、ずれ量ΔＴを用いることにより、ワーク８９を、第２載置部３２３の予定載置位置Ｓ２０に、より正確に配置することができる。このように、本実施形態によると、ワーク８９のずれを解消することが可能である。

ワーク８９のずれを解消することができると、たとえば、プロセスチャンバ（図示略）にてワーク８９に処理が施される際に、ワーク８９の意図しない箇所にプロセスが施される（例えば意図しない箇所に配線パターンが形成される）等の不具合を防止できる。

本実施形態においては、ずれ量算出部６２は、第１角部情報算出部６２１と、演算部６２５と、を含む。第１角部情報算出部６２１は、ワーク画像Ｉｍ（第１角部画像Ｉｍ１）に基づき第１角部情報Ｉｃ１を算出する。第１角部情報Ｉｃ１は、第１載置部３１３に載置されたワーク８９における第１角部８９６の座標に関する情報である。演算部６２５は、第１角部情報Ｉｃ１と、予定載置位置情報Ｉｐ１と、に基づき、ずれ量ΔＴを算出する。ワーク８９の位置ずれが生じると、ワーク８９の第１角部８９６にもずれが生じうる。そのため、本実施形態の構成は、予定載置位置Ｓ１０に対するワーク８９の位置ずれ量を算出するのに適する。

本実施形態においては、ずれ量算出部６２は、第２角部情報算出部６２２を含む。第２角部情報算出部６２２は、ワーク画像Ｉｍ（第２角部画像Ｉｍ２）に基づき第２角部情報Ｉｃ２を算出する。第２角部情報Ｉｃ２は、第１載置部３１３に載置されたワーク８９における第２角部８９７の座標に関する情報である。演算部６２５は、第２角部情報Ｉｃ２と、予定載置位置情報Ｉｐ１と、に基づき、ずれ量ΔＴを算出する。ワーク８９の位置ずれが生じると、ワーク８９の第２角部８９７にもずれが生じうる。そのため、本実施形態の構成は、予定載置位置Ｓ１０に対するワーク８９の位置ずれ量を算出するのに適する。更に、第１角部情報Ｉｃ１および第２角部情報Ｉｃ２のいずれをも用いると、上述のように、ワーク８９の傾きの量を算出することも可能となる。

本実施形態においては、第１角部情報算出部６２１は、第１直線情報算出器６２１Ａと、第２直線情報算出器６２１Ｂと、第１角部情報算出器６２１Ｃと、を有する。第１直線情報算出器６２１Ａは、ワーク画像Ｉｍに基づき、第１辺８９１の延びる方向に一致する第１直線Ｌ１に関連する第１直線情報ＩＬ１１を算出する。第２直線情報算出器６２１Ｂは、ワーク画像Ｉｍに基づき、第２辺８９２の延びる方向に一致する第２直線Ｌ２に関連する第２直線情報ＩＬ１２を算出する。第１角部情報算出器６２１Ｃは、第１直線情報ＩＬ１１と第２直線情報ＩＬ１２とに基づき、第１角部情報Ｉｃ１を算出する。このような構成によると、第１直線情報ＩＬ１１および第２直線情報ＩＬ１２は、ワーク８９に小さな欠けが存在している場合であっても、求めることができる。そのため、ワーク８９に小さな欠けが存在している場合であっても、ずれ量ΔＴを算出することができ、ワーク８９を、第２載置部３２３の予定載置位置Ｓ２０に、より正確に配置することができる。

本実施形態においては、第１直線情報算出器６２１Ａは、第１直線情報ＩＬ１１を算出できない場合、第１角部８９６に欠けがあると判断し、第２直線情報算出器６２１Ｂは、第２直線情報ＩＬ１２を算出できない場合、第１角部８９６に欠けがあると判断する。ワーク８９の第１角部８９６に比較的大きな欠けが存在していることが判明すると、たとえば、当該ワーク８９を不良ワークとして記録したり、当該ワーク８９を破棄工程に付したりすることができる。

第１直線情報算出器６２１Ａ等と同様に、第１直線情報算出器６２２Ａおよび第３直線情報算出器６２２Ｂは、第２角部８９７に比較的大きな欠けが存在していることを検出できる。

本実施形態においては、搬送システム８００は、ワーク８９の複数の端面（第１端面８６１、第２端面８６２、第３端面８６３、および第４端面８６４）のいずれかに向けて光を照射する光照射源５１を備える。画像撮像部６１は、光照射源５１から照射されて端面にて反射した光を受ける。このことは、ワーク画像Ｉｍを撮像するのに適する。特に、ワーク８９の端面の一部または全部が透明である場合に有用である。

本実施形態においては、画像撮像部６１と光照射源５１とは、当該ワーク８９の厚さ方向（図１４の上下方向）において、当該ワーク８９を基準として、互いに反対側に位置している。このことは、ワーク画像Ｉｍを撮像するのに更に適する。

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。

上述の説明においては、ワーク８９が保持部１５に保持された後のワーク８９を、画像撮像部６１が撮像する例を示したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、第１載置部３１３に載置されているワーク８９の画像を、画像撮像部６１が撮像してもよい。

画像撮像部６１は、保持部１５に固定する例を示したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、第１ワーク格納装置３１に固定してもよい。

上述の説明とは異なり、画像撮像部６１は、第１載置部３１３の下側に位置しており、光照射源５１は、第１載置部３１３の上側に位置していてもよい。このようにして、画像撮像部６１と光照射源５１とを、当該ワーク８９の厚さ方向（図１４の上下方向）において、当該ワーク８９を基準として、互いに反対側に位置させてもよい。

上述の説明では、画像撮像部６１は、２つのカメラを含んでいたが、本発明はこれに限定されない。たとえば、画像撮像部６１は、１つの広角カメラであり、この１つの広角カメラが第１角部８９６を含み、且つ、第２角部８９７を含む画像を撮像してもよい。

上述の説明では、第１載置部がカセットにおける部分であり、第２載置部がロードックチャンバにおける部分である例を示したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、第１載置部がロードックチャンバにおける部分であり、第２載置部がプロセスチャンバ（本実施形態では図示していない）における部分であってもよい。

１ ロボット
１１ 基部
１３ 移動機構
１５ 保持部
１５１ ホルダ
１５３ エンドエフェクタ
１９１ レール
３１ 第１ワーク格納装置
３１３ 第１載置部
３２ 第２ワーク格納装置
３２１ 支持板
３２３ 第２載置部
５１ 光照射源
６１ 画像撮像部
６２ ずれ量算出部
６２１ 第１角部情報算出部
６２１Ａ 第１直線情報算出器
６２１Ｂ 第２直線情報算出器
６２１Ｃ 第１角部情報算出器
６２２ 第２角部情報算出部
６２２Ａ 第１直線情報算出器
６２２Ｂ 第３直線情報算出器
６２２Ｃ 第２角部情報算出器
６２５ 演算部
６４ 補正教示位置情報算出部
６５ 動作制御部
６８１ 第１記憶部
６８２ 第２記憶部
８００ 搬送システム
８６１ 第１端面
８６２ 第２端面
８６３ 第３端面
８６４ 第４端面
８６６ 第１稜線
８６７ 第２稜線
８９ ワーク
８９１ 第１辺
８９２ 第２辺
８９３ 第３辺
８９４ 第４辺
８９６ 第１角部
８９７ 第２角部
Ｉｃ１ 第１角部情報
Ｉｃ２ 第２角部情報
ＩＬ１１ 第１直線情報
ＩＬ１２ 第２直線情報
ＩＬ２１ 第１直線情報
ＩＬ２３ 第３直線情報
Ｉｍ ワーク画像
Ｉｍ１ 第１角部画像
Ｉｍ２ 第２角部画像
Ｉｐ１ 予定載置位置情報
ＩＴ１ 教示位置情報
ＩＴ２ 補正教示位置情報
Ｌ１ 第１直線
Ｌ２ 第２直線
Ｌ３ 第３直線
Ｍｓ 動作制御信号
Ｓ１０ 予定載置位置
Ｓ２０ 予定載置位置
ＳＩｍ１ 第１画像信号
ＳＩｍ２ 第２画像信号
ΔＴ ずれ量

Claims (13)

1. 各々がワークを載置する第１載置部および第２載置部と、ワークを保持する保持部を含むロボットと、を用いる搬送システムであって、
   前記ワークの画像であり、且つ、前記第１載置部に載置されたワークの状態を示すワーク画像を撮像する画像撮像部と、
   前記第１載置部に対するワークの予定載置位置に関する予定載置位置情報を記憶する第１記憶部と、
   前記予定載置位置に対する、前記第１載置部に載置されたワークのずれ量を算出するずれ量算出部と、を備え、
   前記ずれ量算出部は、前記ワーク画像と、前記予定載置位置情報と、に基づき、前記ずれ量を算出する、搬送システム。
2. 前記第２載置部にワークを載置する時点における前記保持部の位置を規定する教示位置情報を記憶する第２記憶部と、
   前記ずれ量に基づいて前記教示位置情報を補正することにより、補正教示位置情報を算出する補正教示位置情報算出部と、を更に備える、請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記ロボットの動作を制御する動作制御信号を生成する動作制御部を更に備え、
   前記動作制御部は、前記補正教示位置情報に基づいて、前記動作制御信号を生成する、請求項２に記載の搬送システム。
4. 前記ワークは、第１辺と第２辺と第３辺と第４辺とを有し、且つ、前記ワークの厚さ方向視において、前記第１辺と前記第２辺と前記第３辺と前記第４辺とによって規定される矩形状であり、
   前記第１辺と前記第２辺とは、第１角部を構成しており、
   前記第１辺と前記第３辺とは、第２角部を構成している、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の搬送システム。
5. 前記ずれ量算出部は、第１角部情報算出部と、演算部と、を含み、
   前記第１角部情報算出部は、前記ワーク画像に基づき第１角部情報を算出し、前記第１角部情報は、前記第１載置部に載置されたワークにおける第１角部の座標に関する情報であり、
   前記演算部は、前記第１角部情報と、前記予定載置位置情報と、に基づき、前記ずれ量を算出する、請求項４に記載の搬送システム。
6. 前記ずれ量算出部は、第２角部情報算出部を含み、
   前記第２角部情報算出部は、前記ワーク画像に基づき第２角部情報を算出し、前記第２角部情報は、前記第１載置部に載置されたワークにおける第２角部の座標に関する情報であり、
   前記演算部は、前記第２角部情報に基づき、前記ずれ量を算出する、請求項５に記載の搬送システム。
7. 前記第１角部情報算出部は、第１直線情報算出器と、第２直線情報算出器と、第１角部情報算出器と、を有し、
   前記第１直線情報算出器は、前記ワーク画像に基づき、前記第１辺の延びる方向に一致する第１直線に関連する第１直線情報を算出し、
   前記第２直線情報算出器は、前記ワーク画像に基づき、前記第２辺の延びる方向に一致する第２直線に関連する第２直線情報を算出し、
   前記第１角部情報算出器は、前記第１直線情報と前記第２直線情報とに基づき、前記第１角部情報を算出する、請求項５に記載の搬送システム。
8. 前記第１直線情報算出器は、前記第１直線情報を算出できない場合、前記第１角部に欠けがあると判断し、
   前記第２直線情報算出器は、前記第２直線情報を算出できない場合、前記第１角部に欠けがあると判断する、請求項７に記載の搬送システム。
9. 前記ワークは、前記ワークの厚さ方向に直交する方向を向く複数の端面を有し、
   前記ワークの前記複数の端面のいずれかに向けて光を照射する光照射源を更に備え、
   前記画像撮像部は、前記光照射源から照射されて前記端面にて反射した光を受ける、請求項４に記載の搬送システム。
10. 前記画像撮像部と前記光照射源とは、当該画像撮像部が撮像するワークの厚さ方向において、当該ワークを基準として、互いに反対側に位置している、請求項９に記載の搬送システム。
11. 前記光照射源は、前記ワークにおける前記複数の端面のうち、前記第１辺を構成する第１端面と、前記ワークにおける前記複数の端面のうち、前記第２辺を構成する第２端面と、前記第１端面および前記第２端面によって構成される第１稜線に向けて光を照射する、請求項９に記載の搬送システム。
12. 前記画像撮像部は、前記保持部によって、前記第１載置部に載置されたワークが保持された後、且つ、前記保持部にて前記ワークが保持されている時に、前記ワーク画像を撮像する、請求項１ないし請求項１１のいずれかに記載の搬送システム。
13. 前記保持部を含む前記ロボットを更に備え、
    前記画像撮像部は、前記保持部に固定されている、請求項１ないし請求項１２のいずれかに記載の搬送システム。

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