JP2011216616A - 部品実装装置および部品実装方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の吸着ノズルと認識カメラ装置とを装備する実装ヘッドを備える構成において、部品実装の生産性を向上させる。
【解決手段】部品実装装置において、複数の吸着ノズルを装備する実装ヘッドと、実装ヘッドを移動させるヘッド移動装置と、複数の吸着ノズルに個別に対応するように実装ヘッドに設けられ、撮像視野内に位置された実装位置の画像を撮像して認識する複数の認識カメラ装置とを備え、実装ヘッドは、互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との組において、部品の基板への実装位置が撮像視野内に位置された状態にて、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置と、認識カメラ装置の撮像視野内からの退避位置である第２作業位置との間で、吸着ノズルを進退移動させるノズル移動装置を装備する。
【選択図】図３

Description

本発明は、複数の吸着ノズルを装備する実装ヘッドを用いて、基板上の実装位置に部品を実装する部品実装装置および部品実装方法に関する。

回路基板上の複数の電子部品の実装位置に電子部品を実装することで電子回路を形成する部品実装装置としては、様々な構成のものが知られている。このような従来の部品実装装置の中で、例えば、特許文献１に開示の部品実装装置では、ヘッドユニット（実装ヘッド）に吸着ノズルを複数本装備させるとともに、基板の状態などを認識する基板撮影カメラ（認識カメラ装置）をヘッドユニットに装備させている。このような部品実装装置では、基板撮像カメラが基板上の実装位置の上方へ位置されるようにヘッドユニットを基板の上方に移動させた後、基板上の実装位置を基板撮影カメラにより認識し、その後、その認識結果に基づいて、吸着ノズルが実装位置の上方に位置されるようにヘッドユニットを移動させて、吸着ノズルにより部品を実装位置に実装することができる。

また、例えば、特許文献２に開示の部品実装装置では、複数の吸着ノズルを備える実装ヘッドにおいて、基板表面に対して傾斜した方向から光（傾斜光）を照射する光照射部と、基板表面に対して傾斜した方向をその撮像方向として、光照射部から照射された傾斜光の反射光を受光する認識カメラとが、実装ヘッドに装備された構成が採用されている。このような部品実装装置では、吸着ノズルを実装位置の上方に位置させた状態にて、光照射部から実装位置に対して傾斜光を照射して、認識カメラにてその反射光を受光することで実装位置を認識して、その認識結果に基づいて、吸着ノズルに保持された部品を実装位置に実装することができる。

特開２００７−２８７８３８号公報 特開平１１−３３０７９８号公報

しかしながら、特許文献１の部品実装装置では、ヘッドユニットに装備された基板撮影カメラの撮像視野は鉛直下向きに配置されるため、まず、基板撮影カメラを実装位置の上方に位置合わせするようにヘッドユニットの水平移動を行って実装位置の認識を行った後、ヘッドユニットを再び水平移動させて、吸着ノズルと実装位置との位置合わせを行う必要がある。すなわち、実装位置に部品を実装するには、基板撮像カメラと実装位置との位置合わせ、および吸着ノズルと実装位置との位置合わせを行う必要がある。そのため、部品実装装置におけるさらなる生産性の向上を図ることができない。

また、このような課題は、部品を実装位置に実装する場合だけでなく、カセットフィーダなどの部品供給装置の部品供給位置に配置された部品を、吸着ノズルにより吸着して取り出す部品取り出し動作を行う際にも生じる。すなわち、部品供給位置に配置された部品を吸着取り出しするには、基板撮像カメラと部品供給位置との位置合わせ、および吸着ノズルと部品供給位置との位置合わせを行う必要があり、さらなる生産性の向上を図ることができない。

また、特許文献２の部品実装装置では、認識カメラの撮像方向が基板に対して傾斜された方向に配置された構成が採用されているため、認識カメラにより撮像できる領域が限られ、十分に認識できない場合がある。さらに、このように斜めから撮像しているため、認識（検査）処理のアルゴリズムが複雑になるという課題もある。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、複数の吸着ノズルを装備するとともに、基板の表面に直交する方向を実質的な撮像方向とする認識カメラ装置を装備する実装ヘッドを備える構成において、部品実装の生産性を向上させることができる部品実装装置および部品実装方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。

本発明の第１態様によれば、基板上の実装位置に部品を実装する部品実装装置において、部品を吸着保持する複数の吸着ノズルを装備する実装ヘッドと、基板の表面沿いの方向に実装ヘッドを移動させるヘッド移動装置と、複数の吸着ノズルに個別に対応するように実装ヘッドに設けられ、基板の表面に直交する方向を実質的な撮像方向とする撮像視野内に位置された実装位置の画像を撮像して、実装位置を認識する複数の認識カメラ装置と、を備え、互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との組において、吸着ノズルにより吸着保持された部品の基板への実装動作が行われる実装位置が、実装ヘッドに設けられた認識カメラ装置の撮像視野内に位置された状態にて、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置と、認識カメラ装置の撮像視野内からの退避位置である第２作業位置との間で、吸着ノズルを進退移動させるノズル移動装置が、実装ヘッドにさらに装備されている、部品実装装置を提供する。

本発明の第２態様によれば、複数の部品を収容するとともに、収容された部品を部品供給位置に配置させる部品供給装置をさらに備え、実装ヘッドに設けられた認識カメラ装置の撮像視野内に部品供給装置の部品供給位置が位置された状態にて、互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との組において、部品供給位置に配置された部品を認識カメラ装置により認識し、ノズル移動装置により吸着ノズルが第１作業位置に移動されることで、部品供給位置に配置された部品が吸着ノズルにより吸着保持される、第１態様に記載の部品実装装置を提供する。

本発明の第３態様によれば、互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との複数の組に個別に対応するように、複数のノズル移動装置が実装ヘッドに装備されている、第１または第２態様に記載の部品実装装置を提供する。

本発明の第４態様によれば、実装ヘッドにおいて、複数の吸着ノズルが一列に配列されて装備され、互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との組において、ノズル移動装置は、吸着ノズルの配列方向に交差する方向に吸着ノズルを進退移動させることで、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置に吸着ノズルを位置させる、第１から第３態様のいずれか１つに記載の部品実装装置を提供する。

本発明の第５態様によれば、互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との組において、ノズル移動装置は、基板の表面に直交する方向に吸着ノズルを移動させる１軸移動装置と、認識カメラ装置の撮像視野内からの退避位置である第２作業位置に位置された状態の吸着ノズルが、基板の表面に近接するように１軸移動装置により移動される移動過程において、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置に吸着ノズルを位置させるように、少なくとも基板の表面沿いの方向において吸着ノズルの移動を案内するカム機構とを備える、第１から第４態様のいずれか１つに記載の部品実装装置を提供する。

本発明の第６態様によれば、ノズル移動装置は、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置に位置される吸着ノズルを、認識カメラ装置により認識された実装位置に一致させるように、吸着ノズルの移動位置を補正する位置補正装置を備える、第１から第５態様のいずれか１つに記載の部品実装装置を提供する。

本発明の第７態様によれば、複数の吸着ノズルとそれぞれの吸着ノズルに個別に対応する複数の認識カメラ装置とが装備された実装ヘッドを、基板の表面沿いの方向に移動させて、基板の表面に直交する方向を実質的な撮像方向とする少なくとも１台の認識カメラ装置の撮像視野内に、基板上の実装位置を位置させて、前記１台の認識カメラ装置により実装位置の認識を行い、前記１台の認識カメラ装置の撮像視野外に位置されている前記１台の認識カメラ装置に対応する吸着ノズルを、実装ヘッドに設けられた前記１台の認識カメラ装置の撮像視野内に位置された状態の実装位置の上方に位置させて、前記吸着ノズルに吸着保持されている部品を基板に実装し、その後、前記吸着ノズルを撮像視野外に退避移動させた後、前記１台の認識カメラ装置により実装位置における部品の実装状態を認識する、部品実装方法を提供する。

本発明の第８態様によれば、複数の吸着ノズルとそれぞれの吸着ノズルに個別に対応する複数の認識カメラ装置とが装備された実装ヘッドを、基板の表面沿いの方向に移動させて、基板の表面に直交する方向を実質的な撮像方向とする少なくとも１台の認識カメラ装置の撮像視野内に、部品供給装置の部品供給位置を位置させて、前記１台の認識カメラ装置により部品供給位置に配置された部品の認識を行い、前記１台の認識カメラ装置の撮像視野外に位置されている前記１台の認識カメラ装置に対応する吸着ノズルを、前記１台の認識カメラ装置により認識された部品を取り出す位置に一致させるようにその移動位置を補正しながら、実装ヘッドに設けられた前記１台の認識カメラ装置の撮像視野内に位置された状態の部品供給位置の上方に位置させて、部品供給位置に位置されている部品を前記吸着ノズルにより吸着保持して取り出し、その後、基板の表面沿いの方向に実装ヘッドを移動させて、吸着ノズルに吸着保持されている部品を基板上に実装する、部品実装方法を提供する。

本発明によれば、複数の吸着ノズルと、基板の表面に直交する方向を実質的な撮像方向とする撮像視野を有する複数の認識カメラ装置とが設けられた実装ヘッドを備える構成において、吸着ノズルにより吸着保持された部品の基板への実装動作が行われる実装位置が、実装ヘッドに設けられた認識カメラ装置の撮像視野内に位置された状態にて、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置と、認識カメラ装置の撮像視野内からの退避位置である第２作業位置との間で、吸着ノズルを進退移動させるノズル移動装置を実装ヘッドがさらに装備していることにより、部品実装の生産性を向上させることができる。

また、部品供給装置の部品供給位置に配置された部品を撮像視野内に位置させて、認識カメラにより部品の位置の認識を行った後、撮像視野内から退避された第２作業位置に位置された状態の吸着ノズルを、撮像視野内の第１作業位置にノズル移動装置により移動させることで、部品の認識動作後、実装ヘッドを実質的に移動させることなく、部品の吸着取り出しを行うことができる。

さらに、実装ヘッドに設けられた認識カメラ装置の撮像方向は、基板の表面に直交する方向に配置されているため、斜めから撮像するような場合と比べて、より精確な認識を行うことができ、また複雑なアルゴリズムも要求されることがない。

また、実装ヘッドにおいて、吸着ノズルと、前記吸着ノズルに対応する認識カメラ装置とが、複数組備えられていることにより、さらに効率的な部品取り出しおよび部品実装を行うことができる。

よって、部品実装における生産性を向上させることができる部品実装装置および部品実装方法を提供することができる。

本発明の実施形態の部品実装装置の模式平面図 本発明の実施形態の実装ヘッドの模式正面図 本発明の実施形態の実装ヘッドの模式側面図 本発明の実施形態の実装ヘッドの模式側面図（第２作業位置） 本発明の実施形態の実装ヘッドの模式側面図（第１作業位置） 本発明の実施形態の実装ヘッドによる部品取り出し動作の説明図 本発明の実施形態の実装ヘッドによる部品取り出し動作の説明図 本発明の実施形態の実装ヘッドによる部品取り出し動作の説明図 本発明の実施形態における部品供給位置の画像データ 本発明の実施形態の実装ヘッドによる部品実装動作の説明図 本発明の実施形態の実装ヘッドによる部品実装動作の説明図 本発明の実施形態の実装ヘッドによる部品実装動作の説明図 本発明の実施形態における実装位置の画像データ 本発明の実施形態における実装位置の画像データ

以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

本発明の実施形態にかかる部品実装装置の主要な構成の模式平面図を図１に示す。

図１に示すように、本実施形態の部品実装装置１は、部品を吸着保持する複数のノズルユニット１１が装備された実装ヘッド１０と、実装ヘッド１０を支持するとともに実装ヘッド１０をＸ方向に沿って進退移動させるＸビーム２０と、Ｘビーム２０の両端を支持するように基台２４の互いに対向する縁部上に配置され、Ｘビーム２０をＹ方向に沿って進退移動させるＹビーム２２とを備えている。さらに部品実装装置１は、基台２４の略中央に配置され、基板３を保持する基板保持部２６と、Ｙ方向に沿って基板３を搬送して、基板保持部２６に対する基板３の搬入および搬出を行う基板搬送装置２８と、複数の部品を供給可能に収容する部品供給装置３０とを備えている。なお、Ｘ方向およびＹ方向は、基板３の表面に沿った方向であり、かつ互いに直交する方向である。また、Ｘ方向およびＹ方向に対して直交する方向（すなわち、基板３の表面に直交する方向）がＺ方向となっている。

ここで、実装ヘッド１０の詳細な構成を示す模式正面図を図２に示し、側面図を図３に示す。

図２および図３に示すように、実装ヘッド１０は、複数のノズルユニット１１として、例えば、２台のノズルユニット１１をＸ方向に所定の間隔にて配列させた状態にて備えている。個々のノズルユニット１１には、その先端部にて部品を解除可能に吸着保持する吸着ノズル１２と、Ｚ方向に配置された吸着ノズル１２の軸芯周りに吸着ノズル１２を回転（θ回転）させるノズル回転部１３と、吸着ノズル１２を昇降させるノズル昇降部１４とを備えている。なお、以降の説明にて、それぞれのノズルユニット１１を区別する場合には、ノズルユニット１１Ａ、１１Ｂと称するものとし、それぞれの吸着ノズル１２を区別する場合には、吸着ノズル１２Ａ、１２Ｂと称するものとする。

また、図２および図３に示すように、それぞれのノズルユニット１１において、ノズル昇降部１４は、ノズル昇降モータ１５と、ノズル昇降モータ１５の駆動力により回転駆動されるボールネジ軸１６と、ボールネジ軸１６に沿って昇降可能に係合された昇降ブロック１７とを備えている。これにより、ノズル昇降モータ１５によりボールネジ軸１６を回転駆動させることにより、その回転駆動方向に応じて、昇降ブロック１７を上昇または下降させることができる。また、ノズル昇降モータ１５およびボールネジ軸１６は、剛体部材であるヘッドブロック３２に支持されており、このヘッドブロック３２が、Ｘ方向に進退移動可能にＸビーム２０に支持されている。

さらに、図３に示すように、昇降ブロック１７には、Ｙ方向にスライド移動可能にガイド１９（ＬＭガイド等）を介してスライドブロック１８が支持されている。また、このスライドブロック１８には、吸着ノズル１２およびノズル回転部１３が支持されている。また、図２および図３に示すように、それぞれのノズルユニット１１には、Ｙ方向およびＺ方向（すなわちＹＺ平面）に沿って配置されたプレート３３をヘッドブロック３２に支持させた状態にて備えている。このプレート３３には、溝カム３４が形成されており、スライドブロック１８に設けられたカムフォロア３５が溝カム３４により案内可能に係合されている。これにより、ノズル昇降部１４により、昇降ブロック１７が上昇または下降される際に、溝カム３４によりカムフォロア３５のＹ方向の位置が案内されて、スライドブロック１８が、Ｙ方向に前進または後退移動されるように構成されている。すなわち、それぞれのノズルユニット１１において、ノズル昇降部１４による吸着ノズル１２の昇降動作を行うことで、吸着ノズル１２は、昇降動作とともにＹ方向の移動動作も併せて行われることになる。このような吸着ノズル１２の動作の詳細については後述する。なお、本実施形態では、このノズル昇降部１４、溝カム３４、カムフォロア３５、およびスライドブロック１８が、ノズル移動装置の一例となっている。また、溝カム３４およびカムフォロア３５がカム機構の一例となっており、ノズル昇降部１４が１軸移動装置の一例となっている。

また、ヘッドブロック３２には、それぞれのノズルユニット１１に個別に対応するように、基板３上の実装位置などの画像を撮像するヘッド搭載カメラ３６が装備されている。ヘッド搭載カメラ３６は、Ｚ方向下方向き（直下方向）をその実質的な撮像方向とする撮像視野Ｓを有している。なお、本実施形態では、ヘッド搭載カメラ３６が、認識カメラ装置の一例となっている。

また、Ｘビーム２０は、実装ヘッド１０をＸ方向に沿って進退移動させるＸ方向移動部２１を備えている。Ｙビーム２２は、Ｙビーム２２ＡおよびＹビーム２２Ｂの一対の部材として備えられ、一方のＹビーム２２Ａには、Ｘビーム２０をＹ方向に進退移動させるＹ方向移動部２３が備えられている。なお、Ｘ方向移動部２１およびＹ方向移動部２３は、例えば、駆動モータ、ボールネジ機構、およびＬＭガイドレールなどにより構成される。なお、本実施形態では、Ｘビーム２０およびＹビーム２２が、ヘッド移動装置の一例となっている。

部品供給装置３０は、例えば、複数の部品を収容するカセットフィーダが複数台、Ｘ方向に配列されて構成されており、それぞれのカセットフィーダが有する部品供給位置３１が、Ｘ方向に沿って一列に配列されている。この部品供給位置３１には、吸着ノズル１２により吸着保持されて取り出される１つの部品が配置される。また、それぞれのノズルユニット１１の配置間隔、すなわち吸着ノズル１２の配置間隔は、部品供給装置３０の部品供給位置３１の配置間隔の整数倍の間隔に設定されていることが好ましい。

また、図１に示すように、部品供給装置３０と基板保持部２６との間における基台２４上には、実装ヘッド１０の吸着ノズル１２により吸着保持された状態の部品の画像を撮像することで、部品の吸着保持姿勢などを認識する部品認識カメラ３７が配置されている。部品認識カメラ３７は、Ｚ方向上向きをその撮像方向として、吸着ノズル１２に吸着保持された状態の部品の下方側からの画像を撮像することができる。

また、部品実装装置１には、上述したそれぞれの構成装置の動作を互いに関連付けながら、基板３における実装位置に部品を実装する動作を統括的に制御する制御装置９が備えられている。制御装置９では、ヘッド搭載カメラ３６により撮像された画像、あるいは部品認識カメラ３７により撮像された画像の認識処理を行うことで、部品の位置や姿勢などを認識することができる。制御装置９では、このような認識処理結果に基づいて、ノズルユニット１１などの位置補正制御を行う。

ここで、部品実装装置１の実装ヘッド１０に装備されているそれぞれのノズルユニット１１において、吸着ノズル１２が、その昇降動作とともにＹ方向への進退移動が行われる構成が採用されている点について、さらに詳細に説明する。この説明にあたって、実装ヘッド１０において、ノズルユニット１１において、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内より吸着ノズル１２が退避された状態の実装ヘッド１０の模式側面図を図４Ａに示し、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に吸着ノズル１２が位置された状態の実装ヘッド１０の模式側面図を図４Ｂに示す。

まず、図４Ｂに示すように、ノズルユニット１１において、ノズル昇降部１４により吸着ノズル１２が、その昇降移動の範囲における下降位置Ｈ１に位置された状態にて、この吸着ノズル１２は、ヘッド搭載カメラ３６の直下の位置に位置されてように、プレート３３に溝カム３４が形成されている。このヘッド搭載カメラ３６の直下位置が、第１作業位置Ｐ１となっている。また、この第１作業位置Ｐ１は、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に配置されている。一方、図４Ａに示すように、ノズルユニット１１において、ノズル昇降部１４により吸着ノズル１２が、その昇降移動の範囲における上昇位置Ｈ２に位置された状態にて、この吸着ノズル１２は、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内から退避された位置である第２作業位置Ｐ２（退避位置）に位置されるように、溝カム３４が形成されている。なお、第１作業位置Ｐ１と第２作業位置Ｐ２は、Ｙ方向において互いに離間された位置である。また、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、第２作業位置Ｐ２に位置された状態の吸着ノズル１２は、ヘッドブロック３２およびプレート３３などにより囲まれた空間に位置された状態にあり、第１作業位置Ｐ１に位置された状態の吸着ノズル１２は、同空間の外側に配置されて、ヘッド搭載カメラ３６の直下に位置された状態にある。

より具体的には、図４Ｂに示す状態では、吸着ノズル１２は、ヘッド搭載カメラ３６の光軸Ｑ上に、その軸芯（例えば、吸着ノズル１２のθ回転中心）が位置されるように、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に位置された状態にあり、この位置が第１作業位置Ｐ１となっている。なお、第１作業位置Ｐ１では、吸着ノズル１２において部品を吸着保持する部分（先端）のみがヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に位置されているような場合であっても良く、また、ヘッド搭載カメラ３６の光軸Ｑと吸着ノズル１２の軸芯と必ずしも一致していないような場合であっても良い。

また、この第１作業位置Ｐ１に位置された吸着ノズル１２では、吸着保持されている部品を基板３の実装位置に実装する部品実装動作、あるいは、部品供給装置３０の部品供給位置３１に配置されている部品を吸着保持により取り出す部品取り出し動作を行うことが可能となっている。

実装ヘッド１０では、２台のノズルユニット１１それぞれにおいて、吸着ノズル１２を第１作業位置Ｐ１または第２作業位置Ｐ２に選択的かつ独立した動作にて位置させることが可能となっている。

（部品取り出し動作および部品実装動作）
次に、このような構成を有する本実施形態の部品実装装置１において、部品供給装置３０の部品供給位置３１からの部品取り出し動作、および基板３上の実装位置への部品実装動作の手順について、図面を用いて詳細に説明する。

まず、実装ヘッド１０が装備する２台のノズルユニット１１の中の１台のノズルユニット１１（例えば、１１Ａ）において、装備する吸着ノズル１２Ａにより、部品供給装置３０の部品供給位置３１から部品を取り出す部品取り出し動作の手順について説明する。

図１において、Ｘビーム２０およびＹビーム２２により実装ヘッド１０のＸ方向およびＹ方向の移動（ＸＹ移動）が行われて、部品供給装置３０の部品供給位置３１の上方に実装ヘッド１０が移動される。

一方、実装ヘッド１０では、このＸＹ移動が行われる際に、それぞれのノズルユニット１１（１１Ａ、１１Ｂ）において、吸着ノズル１２が第２作業位置Ｐ２に位置されるように、ノズル昇降部１４により吸着ノズル１２が上昇されて、その昇降移動の範囲における上昇位置Ｈ２に位置された状態とされる。その結果、図５Ａに示すように、ノズルユニット１１Ａにおける互い対応する吸着ノズル１２Ａとヘッド搭載カメラ３６との組において、吸着ノズル１２Ａが第２作業位置Ｐ２に位置された状態とされ、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内から吸着ノズル１２Ａが退避された状態とされる。その後、部品供給装置３０の１つの部品供給位置３１が、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に位置されるように、実装ヘッド１０のＸＹ移動による位置決めが行われる。

図５Ａに示す状態にて、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に位置されている部品供給位置３１の画像データＧ１が撮像されて取得される。ここで、この画像データＧ１のサンプルを図６に示す。図６に示すように、画像データＧ１では、部品２が取り出し可能に配置された状態の１つの部品供給位置３１およびその周辺の画像が含まれている。この画像データＧ１はヘッド搭載カメラ３６から制御装置９に出力されて、制御装置９にて、この部品供給位置３１から部品２を取り出すために必要な吸着ノズル１２Ａの位置補正量が算出される。ここで３１ａは、部品２を収納している部品供給装置３０のカセットフィーダにセットされたキャリアテープに備えられた部品収納ポケットである。

その後、図５Ｂに示すように、ノズル昇降部１４により上昇位置Ｈ２から下降位置Ｈ１へと向けて吸着ノズル１２Ａの下降移動が開始される。このとき、プレート３３の溝カム３４によりカムフォロア３５が案内されて、吸着ノズル１２ＡがＹ方向にも移動されて、第２作業位置Ｐ２から、ヘッド搭載カメラ３６の直下位置である第１作業位置Ｐ１へと移動される。また、この際、制御装置９にて算出された位置補正量が考慮されて、ノズル回転部１３による吸着ノズル１２Ａのθ回転が行われる。

なお、吸着ノズル１２と部品供給位置３１とのＹ方向の位置補正を行う場合には、例えば、部品供給装置３０のカセットフィーダの送りモータを正方向または逆方向に回転駆動させることにより、キャリアテープをＹ方向に移動させることで行うことができる。また、その他、Ｙ方向移動部２３によりＸビーム２０をＹ方向に移動させることで実装ヘッド１０をＹ方向に移動させて、Ｙ方向の位置補正を行うこともできる。

また、本明細書において、「実装ヘッドの実質的な移動」とは、例えば、基板３の上方から部品供給装置３０の上方への実装ヘッド１０の移動、あるいは、部品供給装置３０から基板３の上方への実装ヘッド１０の移動などのような実装ヘッド１０の移動のような大きな移動を意味する。例えば、従来の構成の部品実装装置において、実装ヘッドに搭載されたヘッド搭載カメラにて部品の画像を撮像した後、ヘッド搭載カメラの直下に位置されていない状態の吸着ノズルにより部品を取り出すために行われる実装ヘッド自体の移動（例えば、移動量１０ｍｍ以上）、あるいは、実装ヘッドの吸着ノズルに吸着保持された部品を基板上に実装し、実装ヘッドに搭載されたヘッド搭載カメラにより、実装された部品の画像を撮像するために行われる実装ヘッド自体の移動（例えば、移動量１０ｍｍ以上）は、実装ヘッドの実質的な移動に該当する。一方、既に部品供給装置３０の部品供給位置３１の上方に位置された状態の吸着ノズル１２と、部品供給位置３１に位置されている部品２との相対的な位置関係の補正するための実装ヘッド１０の微少量の移動は、実質的な移動には含まれない。同様に、後述する基板３上の実装位置４の上方に既に位置された状態の吸着ノズル１２と、基板３の実装位置４との相対的な位置関係の補正するための実装ヘッド１０の微少量の移動も、実質的な移動には含まれない。すなわち、ヘッド搭載カメラ３６でその直下にある対象物（部品など）の画像を撮像して対象物の位置認識処理を行った後、ヘッド搭載カメラ３６の直下位置である第１作業位置Ｐ１に吸着ノズル１２を位置させる際に、対象物の位置認識処理結果に基づいて、吸着ノズル１２の移動目標値を補正するための微少量の移動は、実質的な移動には含まれない。

その後、第１作業位置Ｐ１に位置された状態の吸着ノズル１２Ａにより、部品供給位置３１に配置されている部品２が吸着保持される。この時、吸着ノズル１２と部品２との相対的な位置関係を補正することにより、キャリアテープ内の部品２の位置の中心あるいは部品２の吸着に一番好ましい位置（予め制御装置９に記憶されている）を吸着することができる。

その後、図５Ｃに示すように、吸着ノズル１２Ａが下降位置Ｈ１から上昇位置Ｈ２に上昇されることで、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内から退避された第２作業位置Ｐ２に吸着ノズル１２Ａが位置され、部品供給位置３１から部品２が吸着ノズル１２Ａにより取り出される。このとき、例えば、ヘッド搭載カメラ３６により、部品２が取り出された部品供給位置３１の画像を取得することで、吸着ノズル１２Ａにより部品２が吸着保持されたかどうかを確認することもできる。例えば、部品取り出し動作が行われた後、部品供給位置に部品が残っているような場合には、部品取り出し動作を不良と判定することができる。このように部品供給装置３０にて、ヘッド搭載カメラ３６により部品供給位置３１に位置されている部品２の画像を撮像し、撮像された結果に基づいて吸着ノズル１２Ａと部品２との相対的な位置関係を補正することにより、キャリアテープ内にて位置のバラツキがある部品２の中心位置を吸着することができるため、部品の吸着率を向上させることが可能となるとともに、実装品質の向上させることが可能となる。

その後、実装ヘッド１０が備える他のノズルユニット１１Ｂにおいても、上述と同様な手順にて部品取り出し動作が行われる。同じ部品供給位置３１から部品２の取り出しが行われるような場合には、部品供給装置３０のカセットフィーダには、次の吸着対象となる部品２が部品供給位置３１に位置決めされるように、部品２を収納したキャリアテープのＹ方向のフィード動作が行われる。なお、実装ヘッド１０において、それぞれのノズルユニット１１（１１Ａ、１１Ｂ）の配置間隔が、部品供給装置３０の部品供給位置３１の配置間隔の整数倍に設定されているような場合にあっては、それぞれのノズルユニット１１において、上述のような部品の取り出し動作を同時的に行うこともできる。なお、それぞれのノズルユニット１１（１１Ａ、１１Ｂ）毎に別のタイミングにて部品の取り出し動作が行われるような場合であっても良い。

このような実装ヘッド１０による部品の取り出し動作では、実装ヘッド１０が装備するそれぞれのノズルユニット１１（１１Ａ、１１Ｂ）において、ヘッド搭載カメラ３６による部品取り出し動作のための画像撮像動作の実施と、吸着ノズル１２による部品取り出し動作の実施との間に、実装ヘッド１０自体の実質的な移動動作（水平移動など）は行われなくても良い。すなわち、図５Ａ〜図５Ｃに示すように、部品供給位置３１に対してヘッド搭載カメラ３６を位置決めした後は、ノズル昇降部１４による吸着ノズル１２の昇降動作（さらに、Ｙ方向の移動動作）が行われるだけである。したがって、吸着ノズル１２が第２作業位置Ｐ２に位置された状態（すなわち、ヘッド搭載カメラ３６により部品供給位置３１の画像を撮像可能な状態）と、吸着ノズル１２がヘッド搭載カメラ３６の直下位置である第１作業位置Ｐ１に位置された状態（すなわち、吸着ノズル１２により部品２の部品取り出し動作を実施可能な状態）とを効率的に切り替えることができる。

次に、実装ヘッド１０が装備するそれぞれの吸着ノズル１２により吸着保持された部品２を、基板保持部２６に保持された状態の基板３上の実装位置に実装する部品実装動作の手順について説明する。

それぞれの吸着ノズル１２による部品取り出し動作が行われた後、Ｘビーム２０およびＹビーム２２による実装ヘッド１０のＸＹ移動が行われ、実装ヘッド１０が基板保持部２６に保持された状態の基板３の上方へ向けての移動が開始される。この移動の過程において、実装ヘッド１０のそれぞれの吸着ノズル１２が、部品認識カメラ３７の真上に位置される撮像視野内を通過するように、実装ヘッド１０のＸＹ移動が行われ、部品認識カメラ３７の撮像視野内を通過する際に、吸着ノズル１２による部品の吸着保持姿勢の画像が撮像される。この画像データは制御装置９に送信されて、制御装置９にて画像データの認識処理が行われる。

実装ヘッド１０では、このＸＹ移動が行われる際に、図７Ａに示すように、それぞれのノズルユニット１１において、吸着ノズル１２が第２作業位置Ｐ２に位置されて、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓから退避した状態とされている。その後、基板３上の１つの実装位置４Ａが、実装ヘッド１０が装備する１つのノズルユニット１１（例えば、１１Ａ）においけるヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に位置されるように、実装ヘッド１０のＸＹ移動による位置決めが行われる。

その後、図７Ａに示す状態にて、このノズルユニット１１Ａにおいて、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に位置されている実装位置４Ａの画像が撮像されて取得される。ここで、この画像データＧ２のサンプルを図８Ａに示す。図８Ａに示すように、画像データＧ２では、基板２上における１つの実装位置４Ａの画像が含まれている。実装位置４Ａでは、基板電極５が配置されており、この基板電極５上にはクリーム半田（接合材料）６が配置されている。この画像データＧ２は、ヘッド搭載カメラ３６から制御装置９に出力されて、制御装置９にて、この実装位置４Ａに精確に部品２を実装するために必要な吸着ノズル１２の微小な位置補正量が算出される。

その後、図７Ｂに示すように、ノズルユニット１１Ａにおいて、第２作業位置Ｐ２（上昇位置Ｈ２）に位置されている状態の吸着ノズル１２Ａが、ノズル昇降部１４により下降されて、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内の位置である第１作業位置Ｐ１（下降位置Ｈ１）に位置される。また、この吸着ノズル１２Ａの移動動作の際に、制御装置９にて算出された位置補正量が考慮されて、ノズル回転部１３による吸着ノズル１２Ａのθ回転が行われる。これにより、図７Ｂに示すように、第１作業位置Ｐ１に位置された状態の吸着ノズル１２Ａに吸着保持されている部品２が、実装位置４Ａにおける基板電極５上に、クリーム半田６を介して配置される。その後、吸着ノズル１２Ａによる部品２の吸着保持を解除するとともに吸着ノズル１２Ａが上昇されることで、基板３の実装位置４Ａに部品２が実装される。上昇された吸着ノズル１２Ａは、図７Ｃに示すように、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓから退避された第２作業位置Ｐ２に位置される。なお、Ｙ方向の位置補正は、Ｙ方向移動部２３によるＸビーム２０のＹ方向の移動により行われても良い。

次に、図７Ｃに示す状態において、ノズルユニット１１Ａにおいて、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に位置されている実装位置４Ａの画像、すなわち、実装位置４Ａへの部品２の実装状態の画像が撮像され、撮像された画像データの認識処理が制御装置９にて行われる。制御装置９では、この認識処理の結果に基づいて、部品２の実装状態の良否判定を行う。なお、この画像データＧ３のサンプルを図８Ｂに示す。

その後、Ｘビーム２０およびＹビーム２２による実装ヘッド１０のＸＹ移動が行われて、基板３上の別の実装位置４Ｂが、別のノズルユニット１１Ｂにおけるヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内に位置されるように、基板３に対する実装ヘッド１０の位置決めが行われる。

その後、上述したノズルユニット１１Ａについての部品実装動作と同様な手順にて、ノズルユニット１１Ｂによる部品実装動作が行われる。

このように、実装ヘッド１０が備えるノズルユニット１１Ａにおいて、基板３上の実装位置４Ａの画像のヘッド搭載カメラ３６による撮像を開始してから、吸着ノズル１２Ａによる実装位置４Ａへの部品２の実装動作を行い、その後、実装位置４Ａに実装された状態の部品２の画像のヘッド搭載カメラ３６による撮像を完了させるまでの間、実装ヘッド１０自体の微小な位置補正動作を除き、実装ヘッド１０の実質的な移動動作（ＸＹ移動など）は行われなくても良い。また、ノズルユニット１１Ｂによる部品実装動作およびそれに関連する画像撮像動作が行われる際においても、実装ヘッド１０自体の微小な位置補正動作を除き、実装ヘッド１０の実質的な移動動作（ＸＹ移動など）は行われることはない。すなわち、図７Ａ〜図７Ｃに示すように、個々のノズルユニット１１における部品実装動作を開始するために、個々の実装位置４Ａ、４Ｂ等に対してヘッド搭載カメラ３６を位置決めした後は、Ｘ、Ｙ方向の平面移動において、Ｙ方向移動部２３によるＹ方向の微小位置補正動作を行う場合を除き、ノズル昇降部１４による吸着ノズル１２の昇降動作およびＹ方向の移動動作のみが行われて、実装位置４Ａ、４Ｂ等への部品２の実装状態の画像の撮像までを完了させることができる。

したがって、それぞれの実装位置への部品２の部品実装動作を行う際に、吸着ノズル１２が第２作業位置Ｐ２に位置された状態（すなわち、ヘッド搭載カメラ３６により実装位置の画像を撮像可能な状態）と、吸着ノズル１２がヘッド搭載カメラ３６の直下位置である第１作業位置Ｐ１に位置された状態（すなわち、吸着ノズル１２により部品２の部品実装動作が実施される状態）とを効率的に切り替えることができる。

また、基板３の実装位置４Ａ等へ部品２を実装した後、ヘッド搭載カメラ３６を実質的に移動させることなく、この部品２の実装状態の画像を撮像することができるため、部品の実装精度や部品の実装動作が正常に終了しているかどうかを確実に確認することができる。したがって、部品実装における精度を向上させることができる。

本実施形態によれば、実装ヘッド１０が備える個々のノズルユニット１１（１１Ａ、１１Ｂ）において、実装ヘッド１０を移動させて、実装ヘッド１０に搭載されたヘッド搭載カメラ３６を対象位置（部品供給位置および実装位置）の上方（真上）に位置決めした後、ヘッド搭載カメラ３６により対象位置の画像を撮像し、その後、微小な位置補正動作を除き、実装ヘッド１０の実質的なＸＹ移動を伴うことなく、ヘッド搭載カメラ３６と対象位置との相対的位置関係を保持した状態にて、ヘッド搭載カメラ３６の撮像視野Ｓ内より退避された位置である第２作業位置Ｐ２から、撮像視野Ｓ内の第１作業位置Ｐ１に、実装ヘッド１０に備えられた吸着ノズル１２のみを、実装ヘッド１０に搭載されたヘッド搭載カメラ３６に対して移動させることで、対象位置の画像を撮像する位置に位置させて、この吸着ノズル１２により対象位置に対する動作（部品取り出し動作および部品実装動作）を行うことができる。また、この吸着ノズル１２を第１作業位置Ｐ１から第２作業位置Ｐ２に退避移動させることで、実装ヘッド１０の実質的なＸＹ移動を伴うことなく、ヘッド搭載カメラ３６により対象位置（実装位置）の画像を再び撮像することもできる。

したがって、実装ヘッド１０にヘッド搭載カメラ３６が搭載された構成において、部品取り出し動作および部品実装動作における画像撮像動作および吸着ノズル１２による一連の動作を高品質で、効率的に行うことができる。また、ヘッド搭載カメラ３６を移動せず、ヘッド搭載カメラ３６による画像の取得中に、ノズル昇降部１４による吸着ノズル１２の移動を開始させることで、さらに効率的な高生産性動作を行うこともできる。

また、吸着ノズル１２による部品実装動作の前後におけるヘッド搭載カメラ３６による実装位置の画像の撮像（すなわち、実装前の実装位置の画像撮像と実装後の実装位置の画像撮像）において、実装ヘッド１０の実質的なＸＹ移動を伴うことなく、ヘッド搭載カメラ３６の位置を不変とすることができる。したがって、例えば、撮像された画像データより部品２の実装高さなどを認識して、その良否判定を行うような場合には、実装ヘッド１０の実質的なＸＹ移動を伴うことなく、実装前後のヘッド搭載カメラ３６の位置が不変であることから、認識精度を向上させることができる。

さらに、実装ヘッド１０に設けられたヘッド搭載カメラ３６の撮像方向は、Ｚ方向下向きに配置されているため、斜めから撮像するような場合と比べて、より精確な認識を行うことができ、複雑なアルゴリズムも要求されることがない。部品および／または基板の表面に対して鉛直方向（Ｚ方向下向き）に実装ヘッド１０に搭載されたヘッド搭載カメラ３６の撮像方向が配置される構成（ヘッド搭載カメラ３６の直下位置にヘッド搭載カメラ３６の撮像視野が位置される構成）が採用されているため、例えば、部品供給装置３０のカセットフィーダに配置されたキャリアテープの部品収納ポケットが深い場合、部品の電極表面の光の反射が強いまたは一様でない場合、基板に実装される部品が高密度に実装されている場合、あるいは、隣接する実装済み部品の高さが高く、認識対象となる部品が影になり易い場合などは、特により精確な部品の認識を行うことができる。

さらに、ヘッド搭載カメラの撮像方向を斜め方向とするような場合にあっては、ヘッド搭載カメラおよび必要な照明装置をノズルユニットのθ回転中心に対して傾斜された方向において、互いに対向するように設置する必要がある。そのため、斜めから撮像する構成では、実装ヘッドのＸＹ平面視（上面視）におけるサイズを小型化することができない。これに対して、上記実施形態の構成では、部品および／または基板の表面に対して鉛直方向に実装ヘッド１０のヘッド搭載カメラ３６の撮像方向が配置される構成が採用されているため、特にＹ方向における実装ヘッド１０の小型化を図ることができる。

また、実装ヘッド１０において、吸着ノズル１２とヘッド搭載カメラ３６とが複数組装備されていることにより、部品取り出し動作および部品実装動作をさらに効率的なものとすることができる。

したがって、部品実装における生産性を向上させることができる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。

例えば、実装ヘッドにおいて、同じ仕様のノズルユニットを複数台装備させるような場合について説明したが、このような場合に代えて、それぞれのノズルユニットにおいて、異なる仕様、機種の吸着ノズルを装備させるようにしても良い。

また、実装ヘッドにおいて、複数のノズルユニットが一列に配列されているような場合について説明したが、このような場合に代えて、それぞれのノズルユニットを円周上に配列させるようにして、この円周上にてそれぞれのノズルユニットを回転移動可能とするような構成を採用することもできる。

また、第１作業位置Ｐ１と第２作業位置Ｐ２との間での吸着ノズルの進退移動が、溝カムとカムフォロアとを用いて、ノズル昇降部により行われるような場合を例として説明したが、吸着ノズルの進退移動を行うための構成としては、その他様々な構成を採用することができる。例えば、ノズル昇降部とは別に、第１作業位置Ｐ１と第２作業位置Ｐ２との間での吸着ノズルの進退移動を行うための専用のノズル移動装置を設けても良い。ただし、ノズル昇降部にて、吸着ノズルの昇降動作とＹ方向の移動とを同時に実現できる上記実施形態の構成を採用することにより、実装ヘッドの構成を簡単なものにすることができる。

また、それぞれのノズルユニットにおいて、吸着ノズルをＹ方向に移動させることで、第１作業位置と第２作業位置との間の吸着ノズルの移動が行われるような場合について説明したが、吸着ノズルの移動方向としてはその他様々な方向に行うことができる。すなわち、ヘッド搭載カメラの撮像視野内から退避される位置であれば、第１作業位置に対して第２作業位置はどのような方向（例えばＸ方向、あるいはＹ方向に対して傾斜された方向など）に設定しても良い。ただし、上記実施形態のように、第１作業位置と第２作業位置とをＹ方向に配列させるように設定することで、実装ヘッドのＸ方向の幅寸法をコンパクトにすることができる。

また、上述の実施形態において、例えば、基板３の実装位置の真上に位置されたヘッド搭載カメラ３６により、実装位置の高さ認識（あるいは部品実装高さの認識）を行う場合について以下に説明する。実装位置の高さ認識方法としては、様々な方法を適用できる。例えば、実装ヘッドにおいて、ヘッド搭載カメラ３６の撮像対象位置に対して、傾斜した方向から傾斜光（例えば、レーザ光）を照射する傾斜光照射部を備えさせるようにしても良い。この場合、傾斜光照射部から撮像対象位置に対して傾斜光を照射して、その反射光により形成される画像をヘッド搭載カメラ３６にて撮像することにより、部品供給位置から取り出される部品の吸着高さ、基板の実装位置での基板の高さ、および実装位置での部品実装高さなどを３次元的に認識することができる。この場合、撮像対象位置に対するヘッド搭載カメラおよび傾斜光照射部の相対位置を固定した状態にて、吸着ノズルによる動作を行うことができるため、高精度な認識を行うことができる。

また、ヘッド搭載カメラは、その撮像方向がＺ方向下向き（すなわち、直下方向）となる撮像視野を有するような場合について説明したが、撮像方向は、完全に直下方向でなくても良く、僅かに傾斜されているような場合であっても良い。すなわち、撮像方向が実質的にＺ方向下向きであれば良い。

また、実装ヘッドにおける第１作業位置Ｐ１は、ヘッド搭載カメラの撮像視野内に含まれる位置であれば良く、必ずしも撮像視野の中心に位置されている必要はない。

さらに、ヘッド搭載カメラにより撮像された対象位置（実装位置など）の画像データを認識処理して、その結果に基づいて、第１作業位置Ｐ１に位置される吸着ノズルの位置を微少量補正するような場合、例えば、第１作業位置Ｐ１に位置された吸着ノズルの移動位置を微少量（例えば、ＸＹ方向に）補正する位置補正装置をそれぞれのノズルユニットに備えさせるようにしても良い。このような微少量の位置補正装置としては、例えば、ピエゾ素子を用いることができる。また、吸着ノズルを微少量だけ、Ｘ方向またはＹ方向に移動させる機構を位置補正装置として適用することもできる。

なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

１ 部品実装装置
２ 部品
３ 基板
４ 実装位置
１０ 実装ヘッド
１１（１１Ａ、１１Ｂ） ノズルユニット
１２（１２Ａ、１２Ｂ） 吸着ノズル
１３ ノズル回転部
１４ ノズル昇降部（ノズル移動装置、１軸移動装置）
１５ ノズル昇降モータ
１６ ボールネジ軸
１７ 昇降ブロック
１８ スライドブロック
１９ ガイド
２０ Ｘビーム（ヘッド移動装置）
２２ Ｙビーム（ヘッド移動装置）
２４ 基台
２６ 基板保持部
２８ 基板搬送装置
３０ 部品供給装置
３１ 部品供給位置
３２ ヘッドブロック
３３ プレート
３４ 溝カム
３５ カムフォロア
３６ ヘッド搭載カメラ（認識カメラ装置）
３７ 部品認識カメラ
Ｈ１ 下降位置
Ｈ２ 上昇位置
Ｐ１ 第１作業位置
Ｐ２ 第２作業位置
Ｑ 光軸
Ｓ 撮像視野

Claims (8)

1. 基板上の実装位置に部品を実装する部品実装装置において、
   部品を吸着保持する複数の吸着ノズルを装備する実装ヘッドと、
   基板の表面沿いの方向に実装ヘッドを移動させるヘッド移動装置と、
   複数の吸着ノズルに個別に対応するように実装ヘッドに設けられ、基板の表面に直交する方向を実質的な撮像方向とする撮像視野内に位置された実装位置の画像を撮像して、実装位置を認識する複数の認識カメラ装置と、を備え、
   互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との組において、吸着ノズルにより吸着保持された部品の基板への実装動作が行われる実装位置が、実装ヘッドに設けられた認識カメラ装置の撮像視野内に位置された状態にて、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置と、認識カメラ装置の撮像視野内からの退避位置である第２作業位置との間で、吸着ノズルを進退移動させるノズル移動装置が、実装ヘッドにさらに装備されている、部品実装装置。
2. 複数の部品を収容するとともに、収容された部品を部品供給位置に配置させる部品供給装置をさらに備え、
   実装ヘッドに設けられた認識カメラ装置の撮像視野内に部品供給装置の部品供給位置が位置された状態にて、互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との組において、部品供給位置に配置された部品を認識カメラ装置により認識し、ノズル移動装置により吸着ノズルが第１作業位置に移動されることで、部品供給位置に配置された部品が吸着ノズルにより吸着保持される、請求項１に記載の部品実装装置。
3. 互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との複数の組に個別に対応するように、複数のノズル移動装置が実装ヘッドに装備されている、請求項１または２に記載の部品実装装置。
4. 実装ヘッドにおいて、複数の吸着ノズルが一列に配列されて装備され、
   互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との組において、ノズル移動装置は、吸着ノズルの配列方向に交差する方向に吸着ノズルを進退移動させることで、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置に吸着ノズルを位置させる、請求項１から３のいずれか１つに記載の部品実装装置。
5. 互いに対応する吸着ノズルと認識カメラ装置との組において、ノズル移動装置は、
   基板の表面に直交する方向に吸着ノズルを移動させる１軸移動装置と、
   認識カメラ装置の撮像視野内からの退避位置である第２作業位置に位置された状態の吸着ノズルが、基板の表面に近接するように１軸移動装置により移動される移動過程において、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置に吸着ノズルを位置させるように、少なくとも基板の表面沿いの方向において吸着ノズルの移動を案内するカム機構とを備える、請求項１から４のいずれか１つに記載の部品実装装置。
6. ノズル移動装置は、認識カメラ装置の撮像視野内の位置である第１作業位置に位置される吸着ノズルを、認識カメラ装置により認識された実装位置に一致させるように、吸着ノズルの移動位置を補正する位置補正装置を備える、請求項１から５のいずれか１つに記載の部品実装装置。
7. 複数の吸着ノズルとそれぞれの吸着ノズルに個別に対応する複数の認識カメラ装置とが装備された実装ヘッドを、基板の表面沿いの方向に移動させて、基板の表面に直交する方向を実質的な撮像方向とする少なくとも１台の認識カメラ装置の撮像視野内に、基板上の実装位置を位置させて、前記１台の認識カメラ装置により実装位置の認識を行い、
   前記１台の認識カメラ装置の撮像視野外に位置されている前記１台の認識カメラ装置に対応する吸着ノズルを、実装ヘッドに設けられた前記１台の認識カメラ装置の撮像視野内に位置された状態の実装位置の上方に位置させて、前記吸着ノズルに吸着保持されている部品を基板に実装し、
   その後、前記吸着ノズルを撮像視野外に退避移動させた後、前記１台の認識カメラ装置により実装位置における部品の実装状態を認識する、部品実装方法。
8. 複数の吸着ノズルとそれぞれの吸着ノズルに個別に対応する複数の認識カメラ装置とが装備された実装ヘッドを、基板の表面沿いの方向に移動させて、基板の表面に直交する方向を実質的な撮像方向とする少なくとも１台の認識カメラ装置の撮像視野内に、部品供給装置の部品供給位置を位置させて、前記１台の認識カメラ装置により部品供給位置に配置された部品の認識を行い、
   前記１台の認識カメラ装置の撮像視野外に位置されている前記１台の認識カメラ装置に対応する吸着ノズルを、前記１台の認識カメラ装置により認識された部品を取り出す位置に一致させるようにその移動位置を補正しながら、実装ヘッドに設けられた前記１台の認識カメラ装置の撮像視野内に位置された状態の部品供給位置の上方に位置させて、部品供給位置に位置されている部品を前記吸着ノズルにより吸着保持して取り出し、
   その後、基板の表面沿いの方向に実装ヘッドを移動させて、吸着ノズルに吸着保持されている部品を基板上に実装する、部品実装方法。

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