JP2015028211A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6630433B2 (ja) * 2016-05-12 2020-01-15 アルプスアルパイン株式会社 入力装置
JP6783984B2 (ja) * 2016-07-19 2020-11-11 豊田合成株式会社 発光素子
US10355210B2 (en) * 2017-10-30 2019-07-16 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Manufacturing method of OLED substrate and manufacturing method of OLED display device
CN114761608A (zh) * 2019-12-02 2022-07-15 三菱综合材料株式会社 Ag合金膜及Ag合金溅射靶
JP6908164B2 (ja) * 2019-12-02 2021-07-21 三菱マテリアル株式会社 Ａｇ合金膜
KR20220097789A (ko) 2020-12-31 2022-07-08 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20240025131A (ko) * 2022-08-17 2024-02-27 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 및 이를 구비하는 표시 장치
TWI897345B (zh) * 2024-02-19 2025-09-11 瀚宇彩晶股份有限公司 畫素陣列基板

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08203335A (ja) 1995-01-30 1996-08-09 Toppan Printing Co Ltd 透明導電膜及びその形成方法
JP4105956B2 (ja) * 2002-08-08 2008-06-25 株式会社神戸製鋼所 光反射膜およびこれを用いた液晶表示素子、ならびに光反射膜用スパッタリングターゲット
JP3655907B2 (ja) 2002-08-20 2005-06-02 株式会社神戸製鋼所 光情報記録媒体用反射膜と半透過反射膜、および光情報記録媒体
US7514037B2 (en) 2002-08-08 2009-04-07 Kobe Steel, Ltd. AG base alloy thin film and sputtering target for forming AG base alloy thin film
JP3997177B2 (ja) 2002-08-09 2007-10-24 株式会社神戸製鋼所 電磁波シールド用Ａｇ合金膜、電磁波シールド用Ａｇ合金膜形成体および電磁波シールド用Ａｇ合金膜の形成用のＡｇ合金スパッタリングターゲット
JP2004131747A (ja) * 2002-10-08 2004-04-30 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 表示デバイス用銀合金及びこの銀合金を用いて形成した電極膜または反射膜を使用する表示デバイス
JP3993530B2 (ja) 2003-05-16 2007-10-17 株式会社神戸製鋼所 Ａｇ−Ｂｉ系合金スパッタリングターゲットおよびその製造方法
DE10327336A1 (de) * 2003-06-16 2005-01-27 W. C. Heraeus Gmbh & Co. Kg Legierung und deren Verwendung
JP2005048231A (ja) 2003-07-28 2005-02-24 Ishifuku Metal Ind Co Ltd スパッタリングターゲット材
JP4379602B2 (ja) 2003-08-20 2009-12-09 三菱マテリアル株式会社 半透明反射膜または反射膜を構成層とする光記録媒体および前記反射膜の形成に用いられるＡｇ合金スパッタリングターゲット
TWI325134B (en) 2004-04-21 2010-05-21 Kobe Steel Ltd Semi-reflective film and reflective film for optical information recording medium, optical information recording medium, and sputtering target
JP4320000B2 (ja) 2004-04-21 2009-08-26 株式会社神戸製鋼所 光情報記録媒体用半透過反射膜と反射膜、および光情報記録媒体ならびにスパッタリングターゲット
JP2006001271A (ja) * 2004-05-17 2006-01-05 Kobe Steel Ltd Ａｇ系２層膜および透明導電体
US20060093511A1 (en) * 2004-11-03 2006-05-04 Jhewn-Kuang Chen Reflective alloy film
JP4418777B2 (ja) 2005-06-10 2010-02-24 石福金属興業株式会社 Ａｇ基合金からなるスパッタリングターゲット材および薄膜
JP4773145B2 (ja) * 2005-06-30 2011-09-14 アルバック成膜株式会社 増反射膜付きＡｇ又はＡｇ合金反射電極膜及びその製造方法
JP4377861B2 (ja) * 2005-07-22 2009-12-02 株式会社神戸製鋼所 光情報記録媒体用Ａｇ合金反射膜、光情報記録媒体および光情報記録媒体用Ａｇ合金反射膜の形成用のＡｇ合金スパッタリングターゲット
JP2007035104A (ja) 2005-07-22 2007-02-08 Kobe Steel Ltd 光情報記録媒体用Ａｇ合金反射膜、光情報記録媒体および光情報記録媒体用Ａｇ合金反射膜の形成用のＡｇ合金スパッタリングターゲット
JP4527624B2 (ja) 2005-07-22 2010-08-18 株式会社神戸製鋼所 Ａｇ合金反射膜を有する光情報媒体
KR100667081B1 (ko) * 2005-11-02 2007-01-11 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그의 제조방법
JP5059512B2 (ja) 2007-02-28 2012-10-24 株式会社神戸製鋼所 高強度、高延性Ａｌ合金およびその製造方法
WO2009041529A1 (ja) 2007-09-25 2009-04-02 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho 反射膜、反射膜積層体、ｌｅｄ、有機ｅｌディスプレイ及び有機ｅｌ照明器具
JP2010225572A (ja) 2008-11-10 2010-10-07 Kobe Steel Ltd 有機ｅｌディスプレイ用の反射アノード電極および配線膜
JP2010225586A (ja) * 2008-11-10 2010-10-07 Kobe Steel Ltd 有機ｅｌディスプレイ用の反射アノード電極および配線膜
JP5830908B2 (ja) 2011-04-06 2015-12-09 三菱マテリアル株式会社 導電性膜形成用銀合金スパッタリングターゲットおよびその製造方法
JP5806653B2 (ja) * 2011-12-27 2015-11-10 株式会社神戸製鋼所 反射電極用Ａｇ合金膜、反射電極、およびＡｇ合金スパッタリングターゲット

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