JP2006001271A - Ag系2層膜および透明導電体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 (1) 第1層としてAg薄膜を有し、その上に第2層として貴金属元素であるAu、Pd、Ptの1種以上を含有するAg合金膜を有するAg系2層膜であって、前記Ag合金膜の膜厚をY(nm)、前記Ag合金膜での貴金属元素の含有量をX(at%)、前記Ag薄膜の膜厚をZ(nm)としたときに、Y≧8/Xであると共に、Y+Z≧5であることを特徴とするAg系2層膜、(2) 透明基体上に透明膜が形成され、その上に前記Ag系2層膜が形成され、その上に透明膜が形成されていることを特徴とする透明導電体、(3) 前記Ag系2層膜でのXが25at%以上、Yが8nm以上であり、且つ、Ag薄膜及びAg合金膜が希土類元素を0.05〜3.0at%含有するもの等。
【選択図】 図1
Description
(1) スパッタリング装置チャンバー内に純Agターゲットをセットし、ガラス基板(コーニング#:φ50.8 ×0.7mm )をターゲットに正対するようにセットし、チャンバー内を1×10-5torr以下となるように真空に引いた。その後、チャンバー内にArガスを導入し、チャンバー内圧力を2×10-3torrとなるようにして、ターゲットにDC(直流)を印加してプラズマを発生させAgターゲットをスパッタすることにより、ガラス基板上にAg薄膜を厚さ20nm成膜した。
前記例1の(3) のAg(15nm)/ Ag-8at%Au(5nm)の成膜の場合と同様の方法で、種々の厚さの純Ag膜の上に種々の組成のAg-Au 合金膜を純Ag膜とAg-Au 合金膜を合わせた厚さが20nmになるように成膜した。これらの膜について、前記例1の場合と同様の方法により耐凝集性の評価試験を行った。即ち、前記例1の場合と同様の方法により浸せきし、浸せき後の膜表面を光学顕微鏡(×50)で観察した。
前記例2のAg-Au 合金ターゲットをAg-4at%Pd ターゲットに換えて、例2の場合と同様の方法により、ガラス基板上に種々の厚さのAg/Ag-4at%Pdの2層膜を成膜した。
(1) スパッタリング装置チャンバー内に純Agターゲット、ITO ターゲットおよびAg-8at%Au ターゲットの三つのターゲットをセットし、回転する基板台上にガラス基板をセットし、例1の場合と同様にして、チャンバー内を真空排気後、Arガス導入によりチャンバー内圧力を2×10-3torrとした。基板台を回転させることにより、ガラス基板をITO ターゲット正面に移動し、ITO ターゲットにRF(高周波)を印加することにより、ITO を所定時間スパッタしてガラス基板上に膜厚20nmのITO 膜を成膜した。このとき、純Agターゲット及びAg-8at%Au ターゲット表面にITO が付かないように、シャッターで純Agターゲット表面とAg-8at%Au ターゲット表面を各々カバーした。
スパッタリング装置チャンバー内に表4に示す組成の2種類のAg合金ターゲットをセットし、回転する基板台上にガラス基板を2枚セットし、実施例1の(1) の場合と同様にして、チャンバー内を真空排気及びArガス導入によりチャンバー内圧力を2×10-3torrとした。基板台を回転させることによりガラス基板を第1層〔Ag薄膜(Ag―希土類膜)〕成膜用のAg―希土類合金ターゲット正面に移動し、Ag―希土類合金ターゲットにDCを印加することにより、Ag―希土類合金を所定時間スパッタしてガラス基板上に所定膜厚のAg薄膜(Ag―希土類膜)(第1層)を成膜した。このとき、もう一つのAg合金(Ag―貴金属―希土類合金)ターゲット(第2層成膜用)の表面にAg―希土類合金が付かないように、シャッターで該Ag合金ターゲット表面をカバーした。
Claims (5)
- 第1層としてAg薄膜を有し、その上に第2層として貴金属元素であるAu、Pd、Ptの1種以上を含有するAg合金膜を有するAg系2層膜であって、前記Ag合金膜の膜厚をY(nm)、前記Ag合金膜での貴金属元素の含有量をX(at%)、前記Ag薄膜の膜厚をZ(nm)としたときに、Y≧8/Xであると共に、Y+Z≧5であることを特徴とするAg系2層膜。
- 透明基体上に透明膜が形成され、その上に請求項1記載のAg系2層膜が形成され、その上に透明膜が形成されていることを特徴とする透明導電体。
- 前記基体上の透明膜の厚さが5〜100nmであると共に、前記Ag系2層膜上の透明膜の厚さが5〜100nmである請求項2記載の透明導電体。
- 前記Xが25at%以上であり、前記Yが8nm以上であると共に、前記Ag薄膜およびAg合金膜のそれぞれが希土類元素の1種以上を0.05〜3.0at%含有し、反射膜として用いられる請求項1記載のAg系2層膜。
- 前記希土類元素の1種以上がNd及び/またはYである請求項4記載のAg系2層膜。
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