JP2016013958A5 - 素子及びタッチパネル - Google Patents
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Claims (4)
- 絶縁膜上の第１の電極と、
前記絶縁膜上の第２の電極と、
前記第１の電極と電気的に接続された第１の導電膜と、
前記第２の電極と電気的に接続された第２の導電膜と、を有し、
前記第１の電極と、前記第２の電極とは互いに離間して配置され、
前記第１の電極は、酸素を含むグラフェンを有し、
前記第２の電極は、酸素を含むグラフェンを有する素子。 - 絶縁膜上の第１の電極と、
前記絶縁膜上の第２の電極と、
前記絶縁膜の第１の開口部を介して、前記第１の電極と電気的に接続された第１の導電膜と、
前記絶縁膜の第２の開口部を介して、前記第２の電極と電気的に接続された第２の導電膜と、を有し、
前記第１の電極と、前記第２の電極とは互いに離間して配置され、
前記第１の電極は、酸素を含むグラフェンを有し、
前記第２の電極は、酸素を含むグラフェンを有する素子。 - 請求項１又は２において、
前記第１の電極の有する前記グラフェン、又は前記第２の電極の有する前記グラフェンの少なくとも一は、Ｘ線光分子分光法の結果から算出される酸素の割合が０％以上２０％以下である素子。 - 請求項１乃至３のいずれか一に記載の素子を有するタッチパネル。
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