JP2014236058A - 熱電子発電素子 - Google Patents
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Abstract
Description
該エミッタ基板の表面に形成され、熱電子を発生させるエミッタと、
上記エミッタ基板に対向して配置された高抵抗材料よりなるコレクタ基板と、
該コレクタ基板の表面に形成され、上記熱電子を収集するコレクタとを有し、
上記エミッタ基板及び上記コレクタ基板の少なくとも一方は、他方に向けて突出したスペーサー部を有しており、
上記エミッタ基板と上記コレクタ基板とは、上記スペーサー部の先端において互いに当接していることを特徴とする熱電子発電素子にある。
上記熱電子発電素子の実施例について、図1〜図8を用いて説明する。図3に示すように、熱電子発電素子1は、エミッタ基板2と、エミッタ基板2の表面21に形成され、熱電子を発生させるエミッタ3と、エミッタ基板2に対向して配置されたコレクタ基板4と、コレクタ基板4の表面41に形成され、熱電子を収集するコレクタ5とを有している。エミッタ基板2及びコレクタ基板4は、高抵抗材料である真性シリコン半導体より構成されている。
同様に、コレクタ5と電気的に接続されている接続部12cは、辺部11の他端112から縦方向Xの外方に向けて突出しており、重なり方向Zから見て略長方形状を呈している。接続部12cは、縦方向Xに延出したコレクタ基板4とコレクタ5とから構成されている。
図4に示すように、真性シリコン半導体よりなるウエハ6の表面に、エッチングマスクとして機能するSiO2膜61を熱CVD法により成膜する。次いで、図5に示すように、SiO2膜61上にレジスト62を塗布してパターニングを行い、スペーサー部22を形成する領域をレジスト62で覆う。パターニングの後、フッ酸を用いてウェットエッチングを行い、表面に露出しているSiO2膜61を除去する。これにより、図6に示すように、スペーサー部22を形成する領域のみにSiO2膜61とレジスト62とを積層させる。
・H2ガス流量 400sccm
・N2ガス流量 40sccm
・マイクロ波出力 800W
・装置内真空度 100Torr
コレクタ基板4及びコレクタ5は、上述したエミッタ基板2及びエミッタ3の作製工程と略同一の手順により作製することができる。
本例は、図9〜図15に示すように、実施例1の熱電子発電素子1におけるスペーサー部22b及び42bに替えて、複数の補強凸部23及び43を設けた例である。図9に示すように、本例の熱電子発電素子102におけるエミッタ基板202は、実施例1と同様に、縦方向Xの両側縁部に一対のスペーサー部22aを有している。そして、一対のスペーサー部22aの間に、コレクタ基板402に向けて突出した複数の補強凸部23を有している。
真性シリコン半導体よりなるウエハ6の表面に、エッチングマスクとして機能するSiO2膜61を熱CVD法により成膜する。次いで、SiO2膜61上にレジストを塗布してパターニングを行い、一対のスペーサー部22aを形成する領域をレジストで覆う。パターニングの後、フッ酸を用いてウェットエッチングを行い、表面に露出しているSiO2膜61を除去する。次いで、ICPドライエッチングを行うことにより、ウエハ6上のレジストを除去しつつシリコン半導体をエッチングする。これにより、図11に示すように、補強凸部23を形成する領域をスペーサー部22aを形成する領域よりも1〜2μm程度低くする。この高さの差は、エミッタ基板202が完成した状態における、スペーサー部22aと補強凸部23との高さの差に相当する。
本例は、エミッタ基板203及びコレクタ基板403の材質としてダイヤモンド半導体を用いた熱電子発電素子103の例である。本例の熱電子発電素子103におけるエミッタ基板203及びコレクタ基板403は、各々、厚み方向の表面21及び41が(001)面である真性ダイヤモンド半導体より構成されている(図18参照)。
・H2ガス流量 400sccm
・PH3ガス流量 2sccm
・マイクロ波出力 1000W
・装置内真空度 30Torr
本例は、図19に示すように、実施例1の熱電子発電素子1における接続部12を、エミッタ基板2及びコレクタ基板4の背面に形成した例である。本例の熱電子発電素子104におけるエミッタ基板2は、厚み方向(重なり方向Z)に貫通形成された貫通穴29を複数有している。貫通穴29は、エミッタ基板2におけるエミッタ3が配される領域に形成されている。
本例は、実施例3におけるエミッタ3及びコレクタ5の配置を変更した例である。エミッタ3及びコレクタ5は、実施例1と同様に、エミッタ基板2の表面21やコレクタ基板4の表面41を覆うように構成されていてもよい(図20参照)。また、図21に示すように、エミッタ補強凸部233やコレクタ補強凸部433と対面する位置に、エミッタ3及びコレクタ5を形成しないように構成してもよい。
2、202、203 エミッタ基板
21 エミッタ基板の表面
22、223 スペーサー部
3 エミッタ
31 エミッタの表面
4、402、403 コレクタ基板
41 コレクタ基板の表面
42、423 スペーサー部
5 コレクタ
51 コレクタの表面
Claims (8)
- 高抵抗材料よりなるエミッタ基板(2、202、203)と、
該エミッタ基板(2、202、203)の表面に形成され、熱電子を発生させるエミッタ(3)と、
上記エミッタ基板(2、202、203)に対向して配置された高抵抗材料よりなるコレクタ基板(4、402、403)と、
該コレクタ基板(4、402、403)の表面に形成され、上記熱電子を収集するコレクタ(5)とを有し、
上記エミッタ基板(2、202、203)及び上記コレクタ基板(4、402、403)の少なくとも一方は、他方に向けて突出したスペーサー部(22、223、42、423)を有しており、
上記エミッタ基板(2、202、203)と上記コレクタ基板(4、402、403)とは、上記スペーサー部(22、223、42、423)の先端において互いに当接していることを特徴とする熱電子発電素子(1、102、103、104)。 - 上記エミッタ基板(202、203)及び上記コレクタ基板(402、403)のうち少なくとも一方は他方に向けて突出した補強凸部(23、233、43、433)を有しており、上記エミッタ(3)、上記コレクタ(5)、上記エミッタ基板(2、202、203)及び上記コレクタ基板(4、402、403)のうち上記補強凸部(23、233、43、433)の先端に対面する部材(2、202、203、23、233、3、4、402、403、43、433、5)と上記補強凸部(23、233、43、433)の先端との間に間隙が形成されており、かつ、上記エミッタ基板(2、202、203)または上記コレクタ基板(4、402、403)が湾曲した状態において、上記補強凸部(23、233、43、433)の先端と、これに対面する部材(2、202、203、23、233、3、4、402、403、43、433、5)とが当接可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の熱電子発電素子(102、103、104)。
- 上記エミッタ(3)の表面(31)と上記コレクタ(5)の表面(51)とが互いに平行であることを特徴とする請求項1または2に記載の熱電子発電素子(1、102、103、104)。
- 上記エミッタ(3)の表面(31)と上記コレクタ(5)の表面(51)とが間隙を介して対面していることを特徴とする請求項3に記載の熱電子発電素子(1、102、103、104)。
- 上記エミッタ(3)は、半導体よりなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱電子発電素子(1、102、103、104)。
- 上記エミッタ(3)は、表面が水素終端されたダイヤモンド半導体よりなることを特徴とする請求項5に記載の熱電子発電素子(1、102、103、104)。
- 上記エミッタ(3)はn型またはp型のいずれかの導電型を呈するダイヤモンド半導体よりなり、上記コレクタ(5)は、n型またはp型のいずれかの導電型を呈し、かつ、上記エミッタ(3)よりもドーパント濃度の低いダイヤモンド半導体よりなることを特徴とする請求項6に記載の熱電子発電素子(1、102、103、104)。
- 厚み方向の表面(41)が(001)面であるダイヤモンド半導体よりなる上記エミッタ基板(203)及び上記コレクタ基板(403)と、
該エミッタ基板(203)から上記コレクタ基板(403)へ向けて立設された、頂面(24)が(001)面であり、側面(25)が{110}面である略直方体状を呈する複数のエミッタ補強凸部(233)と、
該エミッタ補強凸部(233)の基部(26)に配設され、表面(31)が{111}面である上記エミッタ(3)と、
上記コレクタ基板(403)から上記エミッタ基板(203)へ向けて立設された、頂面(44)が(001)面であり、側面(45)が{110}面である略直方体状を呈する複数のコレクタ補強凸部(433)と、
該コレクタ補強凸部(433)の基部(46)に配設され、表面(51)が{111}面である上記コレクタ(5)とを有し、
上記エミッタ補強凸部(233)の頂面(25)は、上記コレクタ基板(403)と間隙を介して対面し、かつ、上記エミッタ基板(203)または上記コレクタ基板(403)が湾曲した状態において上記コレクタ基板(403)と当接可能に構成されており、
上記コレクタ補強凸部(433)の頂面(45)は、上記エミッタ基板(203)と間隙を介して対面し、かつ、上記エミッタ基板(203)または上記コレクタ基板(403)が湾曲した状態において上記エミッタ基板(203)と当接可能に構成されており、
上記エミッタ補強凸部(233)と上記コレクタ補強凸部(433)とは、側面(25、45)同士が対面するように交互に並んで配置されており、
上記エミッタ(3)の表面(31)と上記コレクタ(5)の表面(51)とは、隣り合う上記エミッタ補強凸部(233)と上記コレクタ補強凸部(433)との間において互いに平行であることを特徴とする請求項7に記載の熱電子発電素子(103)。
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