JP2014210697A - 複合耐火物および複合耐火物の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態の複合耐火物は、図1(a)に示すように、Si−SiC焼結体を基材とする単層構造のセッターである。セッターは、図1(b)に示すように、骨格を三次元網目状とした構造からなる。骨格の気孔率は1%以下である。
本実施形態のセッターは、ゲルキャスト法により成形されるため、まず成形用スラリーを作製する。本実施形態の成形用スラリーは、有機溶剤にSiC粉末を分散させスラリーとした後、ゲル化剤を添加することにより、或いは、有機溶剤にSiC粉末及びゲル化剤を同時に添加して分散することにより作製することができる。
ST1で作製した成形用スラリーをウレタンフォームに含浸させた後、スラリーがウレタンフォームの気孔を塞がない程度に絞って余剰スラリーを除去し、固定用治具の上に載置して、常温〜40℃で数時間〜数十時間放置する。これにより、成形用スラリーは、ゲル化して硬化することによって成形体となる。
続いて、40℃〜100℃で3〜12時間乾燥を行い、更に、100℃〜200℃で3〜12時間加熱を行ってウレタン形状の焼き付け、すなわち、ウレタンフォームの弾性を除去する処理を行う。
図4(C)および図5に示すように、弾性を除去したウレタンフォームの上面に金属Si7を載置して、不活性ガス雰囲気で1400℃〜1500℃で1〜3時間加熱を行う。ウレタンフォームの骨格部4は、500℃付近で焼失するが、図4(D)に示すように、骨格部4が焼失して形成される空間に金属Si7が含浸することによって、三次元網目構造からなる緻密なSiC−Si骨格を有する新たな複合耐火物(気孔率50〜98%)が得られる。この方法によれば、金属Si7を、SiCスラリー成形体10で構成される骨格を伝って含浸させることができるため、金属Si7を空隙部5に目詰まりさせることなく、均一な含浸を行うことができる。
図3および図6中、ST3の「所定厚み・形状に固定」する工程において、ウレタンフォームを圧縮して固定することもできる。
図9に示すように、成形用スラリーの硬化(ST4)に先立って、ウレタンフォームの圧縮率の異なる層を重ねて一体化する工程(ST10)を設けることもできる。
有機溶剤にSiC(−C、−B4C)を分散させ、ウレタン樹脂(イソシアネートおよび触媒)を混合したSiCスラリーに150×150×5mmのウレタンフォームを浸漬し、余剰スラリーを除去後、スラリーを硬化させることによりウレタンフォームの骨格表面上にSiC(−C、−B4C)層を形成した成形体を120℃で乾燥し、SiC成形体を作製した。次に、SiC成形体に対し、重量比90%の金属SiをSiC成形体に載置し、減圧かつ還元雰囲気中1500℃で焼成し、三次元網目構造を有するSi−SiCからなる厚さ5mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は95%であった。
(実施例2)
有機溶剤にSiC(−C、−B4C)を分散させ、ウレタン樹脂(イソシアネートおよび触媒)を混合したSiCスラリーに150×150×5mmのウレタンフォームを浸漬し、余剰スラリーを除去後、固定用冶具を用いてウレタンフォームを厚さ1mmとなるように加圧・圧縮し、そのままスラリーを硬化させることにより、厚さ1mmのSiC成形体を作製した。実施例1と同様に焼成を行い、厚さ1mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は60%であった。段落(0038)に記載の方法により算出した骨格密度比は1.4倍であった。
(実施例3)
有機溶剤にSiC(−C、−B4C)を分散させ、ウレタン樹脂(イソシアネートおよび触媒)を混合したSiCスラリーに180×180×5mmのウレタンフォームを浸漬し、余剰スラリーを除去後、箱型の固定用冶具を用いてウレタンフォームがコウ鉢形状となるように固定し、そのままスラリーを硬化させることにより、厚さ5mmの箱型のSiC成形体を作製した。実施例1と同様に焼成を行い、厚さ5mmの通気性コウ鉢を作製した。作製した通気性コウ鉢の気孔率は95%であった。
(実施例4)
実施例1で得られたSiC成形体の片面または両面に、実施例2で得られたSiC成形体を貼り合わせ、一体化させたSiC成形体を実施例1と同様に焼成を行い、多層構造を有する厚さ6〜7mmの通気性セッターを作製した。
(実施例5)
実施例2で得られたSiC成形体の片面に、ウレタンフォームを使用せずにSiCスラリーを硬化させて厚さ1mmのシート状に成形したSiC成形体を貼り合わせ、一体化させたSiC成形体を実施例1と同様に焼成を行い、高強度な緻密質層を含む多層構造を有する厚さ2mmの通気性セッターを作製した。
(実施例6)
実施例2で得られたSiC成形体のエッジ部にSiCスラリーを幅5mmまで含浸して気孔を塞いだ後、硬化させて一体化させたSiC成形体を実施例1と同様に焼成を行い、幅5mmの高強度な緻密質層のエッジ部を有する厚さ1mmの通気性セッターを作製した。
(実施例7)
実施例2で得られたSi−SiC焼成体の片面または両面にZrO2および/またはAl2O3−SiO2からなるスラリーをスプレー塗布後1350℃で焼成し、ZrO2および/またはAl2O3−SiO2からなる層を形成した。
(比較例1)
Ni金網からなるセッターを作製した。
(比較例2)
特許文献1記載の手法で厚さ1mmのセッターを作製した。
(実施例8)
有機溶剤にSiC(−C、−B4C)を分散させ、ウレタン樹脂(イソシアネートおよび触媒)を混合したSiCスラリーに150×150×5mmのウレタンフォームを浸漬し、余剰スラリーを除去後、固定用冶具を用いてウレタンフォームを厚さ1mmとなるように加圧し、そのままスラリーを硬化させることにより、厚さ1mmのSiC成形体を作製した。実施例1と同様に焼成を行い、厚さ1mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は60%であった。骨格全体のSiCの含有比率は46.5質量%、Siの含有比率は48.4質量%であり、該骨格の芯部におけるC含有量は19.8質量%、表層部におけるC含有量は46.8質量%であった。また、(気孔径/骨格径)の比率は4.9であった。
(実施例9)
150×150×3mmのウレタンフォームを用いて、実施例8と同様の方法で厚さ1mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は70%であった。骨格全体のSiCの含有比率は54.1質量%、Siの含有比率は40.0質量%であり、該骨格の芯部におけるC含有量は11.1質量%、表層部におけるC含有量は33.6質量%であった。また、(気孔径/骨格径)の比率は4.6であった。
(実施例10)
150×150×2mmのウレタンフォームを実施例8と同様の方法で厚さ1mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は80%であった。骨格全体のSiCの含有比率は58.8質量%、Siの含有比率は35.8質量%であり、該骨格の芯部におけるC含有量は6.0質量%、表層部におけるC含有量は16.0質量%であった。また、(気孔径/骨格径)の比率は3.9であった。
(比較例3)
有機溶剤にSiC(−C、−B4C)を分散させ、ウレタン樹脂(イソシアネートおよび触媒)を混合したSiCスラリーに150×150×5mmのウレタンフォームを浸漬し、余剰スラリーを除去後、固定用冶具を用いてウレタンフォームを厚さ1mmとなるように加圧し、そのままスラリーを硬化させることにより、厚さ1mmのSiC成形体を作製した。次に、SiC成形体に対し、重量比60%の金属SiをSiC成形体に載置し、減圧かつ還元雰囲気中1500℃で焼成し、、厚さ1mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は60%であった。骨格全体のSiCの含有比率は73.3質量%、Siの含有比率は21.6質量%であり、該骨格の芯部におけるC含有量は10.1質量%、表層部におけるC含有量は55.7質量%であった。また、(気孔径/骨格径)の比率は3.6であった。
(比較例4)
比較例3と同様の方法で、厚さ1mmのSiC成形体を作製し、次に、SiC成形体に対し、重量比120%の金属SiをSiC成形体に載置し、減圧かつ還元雰囲気中1500℃で焼成し、、厚さ1mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は60%であった。骨格全体のSiCの含有比率は28.4質量%、Siの含有比率は66.2質量%であり、該骨格の芯部におけるC含有量は11.4質量%、表層部におけるC含有量は13.6質量%であった。また、(気孔径/骨格径)の比率は4.2であった。
(比較例5)
有機溶剤にSiC(−C、−B4C)を分散させ、ウレタン樹脂(イソシアネートおよび触媒)を混合したSiCスラリーに150×150×5mmのウレタンフォームを浸漬し、余剰スラリーを十分除去せずに、固定用冶具を用いてウレタンフォームを厚さ1mmとなるように加圧し、そのままスラリーを硬化させることにより、厚さ1mmのSiC成形体を作製した。次に、SiC成形体に対し、重量比60%の金属SiをSiC成形体に載置し、減圧かつ還元雰囲気中1500℃で焼成し、、厚さ1mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は40%であった。骨格全体のSiCの含有比率は68.8質量%、Siの含有比率は23.8質量%であり、該骨格の芯部におけるC含有量は11.1質量%、表層部におけるC含有量は55.4質量%であった。また、(気孔径/骨格径)の比率は1.3であった。
2 気孔部
3 Si-SiC骨格の表層部
4 ウレタンフォームの骨格部
5 空隙部
7 金属Si
8 第1層
9 第2層
10 SiCスラリー成形体
有機溶剤にSiC(−C、−B4C)を分散させ、ウレタン樹脂(イソシアネートおよび触媒)を混合したSiCスラリーに150×150×5mmのウレタンフォームを浸漬し、余剰スラリーを除去後、スラリーを硬化させることによりウレタンフォームの骨格表面上にSiC(−C、−B4C)層を形成した成形体を120℃で乾燥し、SiC成形体を作製した。次に、SiC成形体に対し、重量比90%の金属SiをSiC成形体に載置し、減圧かつ還元雰囲気中1500℃で焼成し、三次元網目構造を有するSi−SiCからなる厚さ5mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は95%であった。
(実施例2)
有機溶剤にSiC(−C、−B4C)を分散させ、ウレタン樹脂(イソシアネートおよび触媒)を混合したSiCスラリーに150×150×5mmのウレタンフォームを浸漬し、余剰スラリーを除去後、固定用冶具を用いてウレタンフォームを厚さ1mmとなるように加圧・圧縮し、そのままスラリーを硬化させることにより、厚さ1mmのSiC成形体を作製した。実施例1と同様に焼成を行い、厚さ1mmの通気性セッターを作製した。作製した通気性セッターの気孔率は60%であった。段落(0055)に記載の方法により算出した骨格密度比は1.4倍であった。
(実施例3)
有機溶剤にSiC(−C、−B4C)を分散させ、ウレタン樹脂(イソシアネートおよび触媒)を混合したSiCスラリーに180×180×5mmのウレタンフォームを浸漬し、余剰スラリーを除去後、箱型の固定用冶具を用いてウレタンフォームがコウ鉢形状となるように固定し、そのままスラリーを硬化させることにより、厚さ5mmの箱型のSiC成形体を作製した。実施例1と同様に焼成を行い、厚さ5mmの通気性コウ鉢を作製した。作製した通気性コウ鉢の気孔率は95%であった。
(実施例4)
実施例1で得られたSiC成形体の片面または両面に、実施例2で得られたSiC成形体を貼り合わせ、一体化させたSiC成形体を実施例1と同様に焼成を行い、多層構造を有する厚さ6〜7mmの通気性セッターを作製した。
(実施例5)
実施例2で得られたSiC成形体の片面に、ウレタンフォームを使用せずにSiCスラリーを硬化させて厚さ1mmのシート状に成形したSiC成形体を貼り合わせ、一体化させたSiC成形体を実施例1と同様に焼成を行い、高強度な緻密質層を含む多層構造を有する厚さ2mmの通気性セッターを作製した。
(実施例6)
実施例2で得られたSiC成形体のエッジ部にSiCスラリーを幅5mmまで含浸して気孔を塞いだ後、硬化させて一体化させたSiC成形体を実施例1と同様に焼成を行い、幅5mmの高強度な緻密質層のエッジ部を有する厚さ1mmの通気性セッターを作製した。
(実施例7)
実施例2で得られたSi−SiC焼成体の片面または両面にZrO2および/またはAl2O3−SiO2からなるスラリーをスプレー塗布後1350℃で焼成し、ZrO2および/またはAl2O3−SiO2からなる層を形成した。
(比較例1)
Ni金網からなるセッターを作製した。
(比較例2)
特許文献1記載の手法で厚さ1mmのセッターを作製した。
Claims (13)
- Si−SiC焼結体を基材とする複合耐火物であって、
前記Si−SiC焼結体は、気孔率1%以下の骨格で構成された三次元網目状構造を有し、
該骨格におけるSiCの含有比率が35〜70質量%、金属Siの含有比率が25〜60質量%であることを特徴とする複合耐火物。 - 前記Si-SiC焼結体は、該骨格におけるSiCの含有比率が40〜65質量%、金属Siの含有比率が30〜55質量%であることを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。
- 前記三次元網目構造において、該三次元網目構造を構成する気孔と骨格の各々の形状が、
(気孔径/骨格径)の平均値≧3を満足することを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。 - 前記骨格が、
金属Siを主成分とし、残部にCを含む芯部と、SiCを主成分とし、残部に金属Siを含む表層部から構成され、
該芯部におけるC含有量が5〜20質量%、
該表層部におけるC含有量が15〜50質量%
であることを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。 - 前記三次元網目構造を構成する骨格密度が垂直断面と水平断面とで異なり、垂直断面における骨格密度が水平断面における骨格密度の1.1〜40倍であることを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。
- 前記Si-SiC焼結体の気孔率が50〜98%であることを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。
- 前記基材の表層に、被処理体に対する耐反応性を備えた表面コート層を有することを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。
- 前記基材の表層に、気孔率が0.1〜2%のSi-SiC焼結体からなる緻密質層を有することを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。
- 前記基材が、気孔率の異なる前記Si-SiC焼結体を積層した構造を有することを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。
- 前記積層構造の内、最表層が、気孔率0.1〜2%の緻密層であることを特徴とする請求項9記載の複合耐火物。
- 前記基材のエッジ部に、気孔率0.1〜2%の緻密層からなる枠部を形成したことを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。
- 前記基材を支持するニッケル合金で構成される枠部材を備えることを特徴とする請求項1記載の複合耐火物。
- 請求項1記載の複合耐火物の製造方法であって、
有機溶剤にSiC粉末を分散させ、更に、ゲル化剤を添加して得られた成形用スラリーに、三次元網目構造からなる骨格を有するウレタンフォームを浸漬し、スラリーを硬化させる成形工程と、
前記成形工程で得た成形体を乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥工程を経た乾燥成形体に、金属Siを載置し、減圧かつ還元雰囲気中で焼成を行い、金属Siを前記乾燥成形体の骨格に含浸させる焼成工程を有することを特徴とする複合耐火物の製造方法。
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