JP5465216B2 - 焼成用セッター - Google Patents
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Description
基材原料としては、1〜12質量%のC粉体、88〜99質量%のSiC粉体含有し、更に、外配で(SiCとSiの合計含有量を100質量%として)、0.1〜15質量%の有機質バインダー及び適当量の水分を含有した原料を使用する。この成形用原料を混練し、成形体を成形する。次いで、この成形体を、金属シリコン雰囲気下で、減圧の不活性ガス雰囲気又は真空中に置き、成形体中に金属シリコンを含浸させてSi−SiC質焼結体を製造する。
本発明にいう中間結合層とは、基材の表面に形成された層であって、表面コート層と基材とを接着する層をいう。
本発明にいう表面コート層とは、中間結合層の表面に形成された層であって、被焼成体である電子部品材料との接触面を構成するものをいう。表面コート層を形成すると、基材や表層に含まれる反応性物質と電子部品材料との接触が防止される。本発明のセッターにおいては、表面コート層に被焼成体との反応性が低い材質である、ジルコニアを含むことが好ましい。
実施例1〜5および比較例1〜5では、中間結合層の成分および施工方法を変更しながら、基材・中間結合層・表面コート層の3層構造からなる各セッターを作成し、その後、加熱試験を行って中間結合層の剥離に関する評価を行った。
中間結合層の化学組成および施工方法は、各々、表1に示すものとした。更に、被焼成体(例えばセラミックコンデンサ)との反応性が低い材質であるジルコニアを中間結合層の表面に溶射法あるいはスプレーコート法で積層した後、スプレーコート法で施工した物に関しては1350℃で焼き付けを行って表面コート層を形成した。溶射法で施工した物に関しては、溶射完了後焼付は行わずにそのまま下記の評価に移行した。
表内は中間層の化学組成を重量%を示し、主成分を内配、微量成分を外配で示した。
Claims (7)
- 基材と、その上層に表面コート層を有し、該基材が、SiCを70〜99質量%、Siを1〜30質量%含有するとともに、
該表面コート層と基材とを接着する中間結合層を有し、
該中間結合層は、スプレーコート法で基材の表面に積層したスプレーコート層であり、
該中間結合層は、ムライトを主成分とする骨材粒子を含有し、化学組成としては、Al 2 O 3 を70〜85質量%、SiO 2 を15〜30質量%含有し、
該Al 2 O 3 とSiO 2 の合計含有量を100質量%として、更に、MgO、Fe 2 O 3 、Na 2 O、B 2 O 3 を微量成分として含有し、
MgOの含有量が0.5〜3質量%、Fe 2 O 3 の含有量が0.01〜0.1質量%、Na 2 Oの含有量が0.05〜0.5質量%、B 2 O 3 の含有量が0.001〜0.01質量%であることを特徴とする小型電子部品焼成用セッター。 - 該基材が、SiCとSiの合計含有量を100質量%として、更に、AlとFeとCaを微量成分として含有し、
該Alの含有量が0.01〜0.2質量%、Feの含有量が0.01〜0.2質量%、Caの含有量が0.01〜0.2質量%であることを特徴とする請求項1記載の小型電子部品焼成用セッター。 - 該基材の、算術平均による表面粗さがRa=0.1〜30μm、弾性率が200〜400GPa、4点曲げ強度が100〜400MPaで、室温における熱伝導率が150〜240W/m・k、気孔率が1%以下であることを特徴とする請求項1または2記載の小型電子部品焼成用セッター。
- 該骨材粒子の平均粒子径が5〜50μmであることを特徴とする請求項1に記載の小型電子部品焼成用セッター。
- 該中間結合層の気孔率が20〜60%であることを特徴とする請求項4に記載の小型電子部品焼成用セッター。
- 該表面コート層は、カルシア(CaO)またはイットリア(Y 2 O 3 )で安定化された安定化ジルコニアと、BaZrO3と、CaZrO3とのうち少なくとも一種からなるジルコニア化合物を積層して形成され、50〜500μmの膜厚を有することを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の小型電子部品焼成用セッター。
- 請求項1記載の小型電子部品焼成用セッターの製造方法であって、
中間結合層の骨材原料にシリカ原料を添加した混合原料のスラリーを用いて、スプレーコート法により、基材の表面に中間結合層を積層後、該シリカ原料が加熱によりガラス質となる温度で焼き付けを行い、中間結合層と基材を接着させ、
更に、溶射またはスプレーコート法により、該中間結合層の表面に表面コート層を積層することを特徴とする小型電子部品焼成用セッターの製造方法。
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