JP2005255491A - 焼成用部材およびそれを用いた焼結体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 Al2O3、ZrO2、MgO、Si3N4およびSiCの群から選ばれる少なくとも1種からなる気孔率0.2%以上のセラミック基板の表面に、Re2O3(Re:Yまたは希土類元素)または、Tiの炭化物、窒化物、酸化物またはそれらの複合化合物からなる被覆膜を形成した焼成用部材である。
【選択図】 なし
Description
黒鉛基板(300mm×600mm×7mm)の表面にY2O3のプラズマ溶射膜を30μm厚みで成膜した。
実施例1のAl2O3基板を用いて、WC−10質量%Co組成で(VNMG160404)形状の超硬合金からなる切削工具チップを100個載置した状態で3段積層して真空炉内にセットし、真空中、1520℃×1時間で焼成した。焼成後、焼結体を取り出したところ、不具合発生は100個×3段中、1段平均90個が焼成用部材に固着するかまたは反りが発生してしまった。
気孔率0.1体積%、表面粗さRz=0.3μm、Ra=0.1μmのAl2O3基板(300mm×600mm×3mm)の表面に、PVD法によってTiC膜を20μm厚みで被覆した。得られた焼成用部材のTiC膜表面における表面粗さは十点平均粗さ(Rz)で0.3μm、算術平均粗さ(Ra)で0.1μmであった。
Claims (6)
- Al2O3、ZrO2、MgO、Si3N4およびSiCの群から選ばれる少なくとも1種からなる気孔率0.1%以上のセラミック基板の表面に、Re2O3(Re:Yまたは希土類元素)または、Tiの炭化物、窒化物、酸化物またはそれらの複合化合物からなる被覆膜を形成した焼成用部材。
- 前記被覆膜の厚みが0.001〜1mmである請求項1記載の焼成用部材。
- 前記基板と前記被覆膜との間で元素の拡散が生じている請求項1記載の焼成用部材。
- 前記基板と前記被覆膜との間に反応性生成物が存在する請求項3記載の焼成用部材。
- 原料粉末を成形した成形体を、請求項1乃至4のいずれか記載の焼成用部材の被覆膜の上面に載置して焼成する焼結体の製造方法。
- 前記焼結体が焼結合金である請求項5記載の焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004071423A JP4991093B2 (ja) | 2004-03-12 | 2004-03-12 | 焼成用部材およびそれを用いた焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005255491A true JP2005255491A (ja) | 2005-09-22 |
JP4991093B2 JP4991093B2 (ja) | 2012-08-01 |
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ID=35081586
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JP2004071423A Expired - Fee Related JP4991093B2 (ja) | 2004-03-12 | 2004-03-12 | 焼成用部材およびそれを用いた焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4991093B2 (ja) |
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