JP4716042B2 - 耐熱性被覆部材 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title description 26
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 82
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 34
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 29
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 29
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 27
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 27
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 25
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 18
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 11
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 9
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 claims description 9
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011195 cermet Substances 0.000 claims description 5
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 44
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 30
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 30
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 23
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 19
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 19
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical group [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 12
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 10
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 8
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 8
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 6
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 6
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005382 thermal cycling Methods 0.000 description 3
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N B#[Ti]#B Chemical compound B#[Ti]#B QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001199 N alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005539 carbonized material Substances 0.000 description 1
- -1 cermets Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000010285 flame spraying Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011856 silicon-based particle Substances 0.000 description 1
- 239000002893 slag Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
製品との反応防止という点では上記手法は有効であるが、繰り返し熱サイクルによる溶射皮膜とトレー基板界面部の熱的劣化により容易に皮膜が剥がれるといった問題が生じる場合がある。繰り返しの熱サイクルで基板と酸化物皮膜が剥がれない耐熱性、耐蝕性、耐久性、非反応性のある皮膜部材が望まれている。
(1)カーボン基材上に、(i)Yb2O3からなる中間被覆層が形成され、更にこの中間被覆層上に、上層被覆層として、
(v)Y元素とAl元素との複合酸化物を含む被覆層
又は
(viii)Y2O3とYb2O3の混合被覆層
が形成されてなることを特徴とする耐熱性被覆部材。
(2)上層被覆層がY元素とAl元素との複合酸化物にAl酸化物が混合された被覆層である(1)記載の耐熱性被覆部材。
(3)Y元素とAl元素との複合酸化物が、Y2O3を80質量%以下含有すると共に、Al2O3を20質量%以上含有する(1)又は(2)記載の耐熱性被覆部材。
(4)Y2O3とYb2O3の混合被覆層が、Y2O3を80質量%以下含有すると共に、Yb2O3を20質量%以上含有する(1)、(2)又は(3)記載の耐熱性被覆部材。
(5)真空、不活性雰囲気又は還元雰囲気下での粉末冶金金属、サーメット又はセラミックスの焼結に治具として用いる(1)〜(4)のいずれかに記載の耐熱性被覆部材。
(6)炭化タングステンの焼結又は熱処理に治具として用いる耐熱性被覆部材であって、金属カーボン、又は炭化物、窒化物もしくは酸化物セラミックス基材上に、中間被覆層として、
(i)Yb2O3又はY2O3からなる中間被覆層、
(ii)Wからなる中間被覆層、又は
(iii)Y2O3又はAl2O3とWとを含有する中間被覆層
が形成され、更にこの中間被覆層上に上層被覆層として
(v)Y元素とAl元素との複合酸化物を含む被覆層、
(vii)Yb2O3 とAl2O3 との混合物又はY2O3とYb2O3とAl2O3の混合物の被覆層、又は
(viii)Y2O3とYb2O3の混合被覆層
が形成されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。
(7)中間被覆層が、(A)Wからなる下層と、(B)Yb2O3、Y2O3又はAl2O3からなる上層との二層構造であると共に、上層被覆層がY元素とAl元素との複合酸化物を含む被覆層又はY2O3とYb2O3の混合被覆層である(6)記載の耐熱性被覆部材。
(8)上層被覆層が、Y元素とAl元素との複合酸化物にAl酸化物が混合された被覆層である(6)又は(7)記載の耐熱性被覆部材。
(9)Y元素とAl元素との複合酸化物が、Y2O3を80質量%以下含有すると共に、Al2O3を20質量%以上含有する(6),(7)又は(8)記載の耐熱性被覆部材。
(10)Y2O3とYb2O3の混合被覆層が、Y2O3を80質量%以下含有すると共に、Yb2O3を20質量%以上含有する(6),(7)又は(8)記載の耐熱性被覆部材。
(11)被覆層の総厚さが0.02〜0.4mmである(1)〜(10)のいずれかに記載の耐熱性被覆部材。
(12)被覆層が溶射皮膜である(1)〜(11)のいずれかに記載の耐熱性被覆部材。
(i)ランタノイド元素又はY,Zr,AlもしくはSi元素の酸化物、これら酸化物の混合物、又はこれら元素の複合酸化物膜、
(ii)Mo,W,Nb,Zr,Ta,Si又はB元素の金属、炭化物又は窒化物膜、又は
(iii)ZrO2,Y2O3,Al2O3もしくはランタノイド酸化物、これら酸化物の混合物、又はZr,Y,Alもしくはランタノイド元素の複合酸化物と、Mo,W,Nb,Zr,Ta,Si又はB金属元素とを含有する膜
が挙げられる。
特に、中間層の主成分としては、金属層としてW(タングステン)、酸化物層としてはYb2O3が有望である。
こうした理由から、製品との固着防止、上層被覆層の蒸発防止と基材との剥離防止が可能になる。従って、中間層皮膜上に酸化物、複合酸化物皮膜を形成させた皮膜形成治具を得ることができる。
(iv)ランタノイド元素と3B族元素との複合酸化物を含む膜、
(v)Y元素と3B族元素との複合酸化物を含む膜、
(vi)Y元素とランタノイド元素と3B族元素との複合酸化物を含む膜、
(vii)ランタノイド元素、Al元素又はY元素の酸化物膜、又は
(viii)Y酸化物とランタノイド酸化物の混合被覆膜
が挙げられる。
なお、(iv)の膜は、ランタノイド元素の酸化物及び/又は3B族元素の酸化物を含んでもよく、(v)の膜はY元素の酸化物及び/又は3B族元素の酸化物を含んでもよく、(vi)の膜はY元素の酸化物、ランタノイド元素の酸化物、3B族元素の酸化物やこれらの酸化物を混合状態で含んでもよい。
3B族元素の中でも特にAlとYの複合酸化物が有望である。更に、Al元素とランタノイド元素中のSm,Eu,Gd,Dy,Er,Yb,Luの複合酸化物が特に有効である。
なお、中間被覆層が上記(A)、(B)の二層構造の場合、その厚さの割合は、1:0.5〜1:2とすることが好ましい。
[実施例、比較例]
表1,2に示すように、カーボン、モリブデン金属、アルミナセラミックス、ムライトセラミックス、炭化珪素母材を準備した。各母材を加工して、50×50×5mmの形状の基材とし、表面をブラストで粗した後、Y元素又はランタノイド元素とAl元素とを含有した複合酸化物粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、膜厚100μmの溶射被覆部材を得た(比較例1〜5)。
参考例1〜14、実施例1〜5と比較例1〜9の試料を10-2torrの真空雰囲気下、1,550℃の温度まで400℃/hrの速度で昇温した。2時間保持した後、加熱を切り、1,000℃でアルゴンガスを導入して500℃/hrの速度で常温付近まで冷却した。
Claims (12)
- カーボン基材上に、(i)Yb2O3からなる中間被覆層が形成され、更にこの中間被覆層上に、上層被覆層として、
(v)Y元素とAl元素との複合酸化物を含む被覆層
又は
(viii)Y2O3とYb2O3の混合被覆層
が形成されてなることを特徴とする耐熱性被覆部材。 - 上層被覆層がY元素とAl元素との複合酸化物にAl酸化物が混合された被覆層である請求項1記載の耐熱性被覆部材。
- Y元素とAl元素との複合酸化物が、Y2O3を80質量%以下含有すると共に、Al2O3を20質量%以上含有する請求項1又は2記載の耐熱性被覆部材。
- Y2O3とYb2O3の混合被覆層が、Y2O3を80質量%以下含有すると共に、Yb2O3を20質量%以上含有する請求項1,2又は3記載の耐熱性被覆部材。
- 真空、不活性雰囲気又は還元雰囲気下での粉末冶金金属、サーメット又はセラミックスの焼結に治具として用いる請求項1乃至4のいずれか1項記載の耐熱性被覆部材。
- 炭化タングステンの焼結又は熱処理に治具として用いる耐熱性被覆部材であって、金属カーボン、又は炭化物、窒化物もしくは酸化物セラミックス基材上に、中間被覆層として、
(i)Yb2O3又はY2O3からなる中間被覆層、
(ii)Wからなる中間被覆層、又は
(iii)Y2O3又はAl2O3とWとを含有する中間被覆層
が形成され、更にこの中間被覆層上に上層被覆層として
(v)Y元素とAl元素との複合酸化物を含む被覆層、
(vii)Yb2O3 とAl2O3 との混合物又はY2O3とYb2O3とAl2O3の混合物の被覆層、又は
(viii)Y2O3とYb2O3の混合被覆層
が形成されていることを特徴とする耐熱性被覆部材。 - 中間被覆層が、(A)Wからなる下層と、(B)Yb2O3、Y2O3又はAl2O3からなる上層との二層構造であると共に、上層被覆層がY元素とAl元素との複合酸化物を含む被覆層又はY2O3とYb2O3の混合被覆層である請求項6記載の耐熱性被覆部材。
- 上層被覆層が、Y元素とAl元素との複合酸化物にAl酸化物が混合された被覆層である請求項6又は7記載の耐熱性被覆部材。
- Y元素とAl元素との複合酸化物が、Y2O3を80質量%以下含有すると共に、Al2O3を20質量%以上含有する請求項6,7又は8記載の耐熱性被覆部材。
- Y2O3とYb2O3の混合被覆層が、Y2O3を80質量%以下含有すると共に、Yb2O3を20質量%以上含有する請求項6,7又は8記載の耐熱性被覆部材。
- 被覆層の総厚さが0.02〜0.4mmである請求項1乃至10のいずれか1項記載の耐熱性被覆部材。
- 被覆層が溶射皮膜である請求項1乃至11のいずれか1項記載の耐熱性被覆部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007217874A JP4716042B2 (ja) | 2003-03-28 | 2007-08-24 | 耐熱性被覆部材 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003089797 | 2003-03-28 | ||
JP2003089797 | 2003-03-28 | ||
JP2007217874A JP4716042B2 (ja) | 2003-03-28 | 2007-08-24 | 耐熱性被覆部材 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004079624A Division JP4189676B2 (ja) | 2003-03-28 | 2004-03-19 | 耐熱性被覆部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008019167A JP2008019167A (ja) | 2008-01-31 |
JP4716042B2 true JP4716042B2 (ja) | 2011-07-06 |
Family
ID=39075422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007217874A Expired - Lifetime JP4716042B2 (ja) | 2003-03-28 | 2007-08-24 | 耐熱性被覆部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4716042B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000509102A (ja) * | 1996-04-23 | 2000-07-18 | サンドビック アクティエボラーグ | 焼結トレー |
JP2000281469A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-10 | Ngk Insulators Ltd | 被覆層を有する炭素複合材およびその製造方法 |
JP2003073794A (ja) * | 2001-06-18 | 2003-03-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 耐熱性被覆部材 |
-
2007
- 2007-08-24 JP JP2007217874A patent/JP4716042B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2000509102A (ja) * | 1996-04-23 | 2000-07-18 | サンドビック アクティエボラーグ | 焼結トレー |
JP2000281469A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-10 | Ngk Insulators Ltd | 被覆層を有する炭素複合材およびその製造方法 |
JP2003073794A (ja) * | 2001-06-18 | 2003-03-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 耐熱性被覆部材 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008019167A (ja) | 2008-01-31 |
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