JP4952953B2 - 超硬材料又はサーメット材料焼結用セッターの製造方法 - Google Patents
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請求項1:
カーボン基材上に、タングステン、又はY 2 O 3 で安定化したZrO 2 からなる中間層を形成すると共に、該中間層上に溶射法により希土類元素含有酸化物からなる下地溶射膜を形成し、更にこの下地溶射膜上に、希土類元素含有酸化物による1個の凸部高さが0.02mm〜0.5mmであるエンボス模様又はスリット模様の被覆層を溶射法により形成したことを特徴とする超硬材料又はサーメット材料焼結用セッターの製造方法。
請求項2:
被覆層を形成する希土類元素含有酸化物が、Y元素とAl元素を含有したYAG組成の複合酸化物又はDy 2 O 3 である請求項1記載の製造方法。
請求項3:
エンボス模様又はスリット模様の被覆層を、平均粒径が10〜70μmの希土類元素含有酸化物粒子を格子状、網目状又はスリット状のマスクパターンの空隙を通して溶射することにより形成した請求項1又は2記載の製造方法。
請求項4:
エンボス模様又はスリット模様の凸部間の隙間間隔を0.02mm〜5mmとなるように形成した請求項1乃至3のいずれか1項記載の製造方法。
請求項5:
セッターが真空、不活性雰囲気又は還元雰囲気下での超硬材料又はサーメット材料の焼結用である請求項1乃至4のいずれか1項記載の製造方法。
本発明の耐熱性被覆部材は、基材表面上に、エンボス模様又はスリット模様を有する被膜層、好ましくは酸化物被膜層が形成されているもので、その上に製品を置き、焼成、焼結などの熱処理を行うものであり、特に、本発明の耐熱性被覆部材は、真空、酸化雰囲気、不活性雰囲気又は還元雰囲気下で、製品となる粉末冶金金属、サーメット又はセラミックスの焼結又は熱処理を行う際に使用される。例えばセッター(敷板)、サヤ、トレー、焼成こう鉢、金型といった焼成用部材が挙げられるが、本発明は耐熱性被覆部材としてセッターの製造方法を提供する。
50×50×5mmのカーボン基材表面をブラストで荒らした後、Yb2O3酸化物粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、膜厚50μmのYb2O3溶射下地膜を形成した。次に、70×70×5mmのステンレス製金網(マス目長さ1mm;線径太さ0.3mm)をマスクパターン材として準備した。上記Yb2O3溶射下地膜上に金網をセットし、Yb2O3酸化物粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することで、凸部高さ100μmのマス目状のエンボス模様を形成させた。
50×50×5mmのカーボン基材表面をブラストで荒らした後、カーボン基材との密着力強化のために下地中間層として、W粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、膜厚40μmの金属被膜を形成させ、更にその被膜上にY元素とAl元素を含有したYAG組成の複合酸化物粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、トータルの膜厚100μmの溶射下地膜を形成した。次に、70×70×5mmのステンレス製金網(マス目長さ0.6mm;線径太さ0.3mm)をマスクパターン材として準備した。上記溶射下地膜上に金網をセットし、Y元素とAl元素を含有したYAG組成の複合酸化物粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することで、凸部高さ60μmのマス目状のエンボス模様を形成させた。
50×50×5mmのカーボン基材表面をブラストで荒らした後、Yb2O3酸化物粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、膜厚150μmのYb2O3溶射被覆部材を作製した。
50×50×5mmのカーボン基材表面をブラストで荒らした後、カーボン基材との密着力強化のために下地中間層として、W粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、膜厚40μmの金属被膜を形成させ、更にその被膜上にY元素とAl元素を含有したYAG組成の複合酸化物粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、トータルの膜厚160μmの溶射被覆部材を得た。
なお、試料膜厚と凸部高さは溶射被膜断面を研磨し、低倍率の電子顕微鏡で測定した。
次に、タングステンカーバイト粉にコバルト粉を質量比率で10質量%混ぜ合わせて、φ20×10mmの超硬成形体を作製した。この成形体を1,550℃で熱処理を施した溶射被覆部材の中央部に乗せてカーボンヒーター炉内にセットし、真空引き後、800℃まで窒素雰囲気下で400℃/hrで昇温し、その後、真空引きを行い、10-2torrの真空雰囲気下、1,400℃まで400℃/hrの速度で昇温した。2時間保持した後、加熱を切り、1,000℃でアルゴンガスを導入して500℃/hrの速度で常温付近まで冷却した。1回毎に新しい超硬成形体を乗せながら、同様の熱試験を50回繰り返した場合の溶射被膜と超硬焼結体試料との固着による被膜剥離を調べた。その結果、参考例1及び実施例2のエンボス溶射被覆部材は超硬試料との固着がなく、被膜剥離が見られなかった。一方、比較例1の被覆部材は、35回目に超硬試料が溶射被膜と固着し、一部溶射被膜に剥離が発生した。また、比較例2の被覆部材は、40回目に同様の固着による剥離が発生した。溶射被膜層をエンボス模様にする効果で、耐久性の向上が計られた。
溝角度90°、溝ピッチ5mm、溝数8個の50×50×5mmのカーボン溝板表面をブラストで荒らした後、カーボン基材との密着力強化のために下地中間層として、8mol%Y2O3含有ZrO2粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、膜厚40μmの溶射被膜を形成させ、更にその被膜上にYb2O3とAl2O3が質量比率で40:60で含有された複合酸化物粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、溝板斜面部のトータル膜厚が100μmの下地膜を得た。この試料を3−aとする。
次に、70×70×5mmの菱形状金網(目開き一辺の長さ1mm;線径太さ0.3mm)をマスクパターン材として準備した。上記下地膜上に金網をセットし、Dy2O3粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することで、凸部高さ100μmの菱形メッシュ状のエンボス模様を形成させた。この試料を3−bとする。
次に、タングステンカーバイト粉にコバルト粉を質量比率で10質量%混ぜ合わせて、φ7×30mmの超硬成形体を作製した。この成形体を1,550℃で熱処理を施した溶射被覆部材の中央部に乗せてカーボンヒーター炉内にセットし、真空引き後、800℃まで窒素雰囲気下で400℃/hrで昇温し、その後、真空引きを行い、10-2torrの真空雰囲気下、1,400℃まで400℃/hrの速度で昇温した。2時間保持した後、加熱を切り、1,000℃でアルゴンガスを導入して500℃/hrの速度で常温付近まで冷却した。この場合の溶射被膜と超硬焼結体試料との固着性を調べた。その結果、3−b試料のエンボス溶射被覆部材は超硬試料との固着が見られなかった。一方、3−aの被覆部材は超硬試料との弱い固着が見られた。溶射被膜層をエンボス模様(起伏の大きな凹凸面)にすることで、固着性に差がでることが確認できた。
外径80mm、内径70mm、高さ100mmの円筒形のカーボン基材を準備した。表面をブラストで荒らした後、直径3mm、隙間間隔1mmの穴の開いた厚み0.5mmのパンチングメタル板を外周に巻きつけて固定した。その試料を回転台の上にセットし、回転数60rpmで回転させながら、Yb2O3粒子をアルゴン/水素でプラズマ溶射することにより、凸部高さ300μmの円形状のエンボス模様を形成させた。
曲面部分への酸化物被膜による円形状のエンボス模様を容易に描くことができた。従って、曲面を有する製品試料を焼成あるいは焼結する場合の変形防止や固着防止に適用可能である。
2 下地膜
3 エンボス模様の被膜層
4 マスクパターン
Claims (5)
- カーボン基材上に、タングステン、又はY 2 O 3 で安定化したZrO 2 からなる中間層を形成すると共に、該中間層上に溶射法により希土類元素含有酸化物からなる下地溶射膜を形成し、更にこの下地溶射膜上に、希土類元素含有酸化物による1個の凸部高さが0.02mm〜0.5mmであるエンボス模様又はスリット模様の被覆層を溶射法により形成したことを特徴とする超硬材料又はサーメット材料焼結用セッターの製造方法。
- 被覆層を形成する希土類元素含有酸化物が、Y元素とAl元素を含有したYAG組成の複合酸化物又はDy 2 O 3 である請求項1記載の製造方法。
- エンボス模様又はスリット模様の被覆層を、平均粒径が10〜70μmの希土類元素含有酸化物粒子を格子状、網目状又はスリット状のマスクパターンの空隙を通して溶射することにより形成した請求項1又は2記載の製造方法。
- エンボス模様又はスリット模様の凸部間の隙間間隔を0.02mm〜5mmとなるように形成した請求項1乃至3のいずれか1項記載の製造方法。
- セッターが真空、不活性雰囲気又は還元雰囲気下での超硬材料又はサーメット材料の焼結用である請求項1乃至4のいずれか1項記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003174390A Division JP2005008483A (ja) | 2003-06-19 | 2003-06-19 | 被覆部材及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009019280A JP2009019280A (ja) | 2009-01-29 |
JP4952953B2 true JP4952953B2 (ja) | 2012-06-13 |
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ID=40359171
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4952953B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113604769A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-11-05 | 厦门金鹭特种合金有限公司 | 一种防色差的低Co金属陶瓷烧结用隔层 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE506482C2 (sv) * | 1996-04-23 | 1997-12-22 | Sandvik Ab | Sintringsunderlag |
JP2001200378A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-07-24 | Kyushu Refract Co Ltd | 電子部品焼成用治具 |
JP2003073794A (ja) * | 2001-06-18 | 2003-03-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 耐熱性被覆部材 |
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2008
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2009019280A (ja) | 2009-01-29 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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