JP5595833B2 - 窒化アルミニウム基板 - Google Patents
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Description
本実施例および参考例では、窒化アルミニウム(AlN)基板の実質的な厚さが1.5mm以下の表1に示すNo.1ないしNo.11の試料を用いた。試料No.1のAlN基板は、以下のように作製される。
本比較例では、窒化アルミニウム(AlN)基板の実質的な厚さが1.5mmを超えるNo.12およびNo.13の試料を用いた。なお、AlN基板の作製手順は、実施例と同様である。
本比較例では、焼成時、窒化硼素(BN)からなるセッターを用いたものであり、厚さ1.5mmの単層AlN基板を試料No.14としたものである。なお、AlN基板の作製手順は、実施例とほぼ同様であり、メタライズ層の成分および厚さ、焼結条件は表1に示すとおりである。
本引用例は、特開平5−190703号公報に掲載された窒化アルミニウム基板であり、厚さ0.4mmのAlNグリーンシートを8層積層した後焼結して、多層構造のAlN基板を試料No.15として用いたものである。なお、AlN基板の作製手順は、実施例とほぼ同様であり、メタライズ層の成分および厚さ、焼結条件は表1に示すとおりである。
Claims (3)
- 同時焼成法により形成されたWまたはMoを主成分とするメタライズ層を片面に備える厚さ0.6mm以上1.5mm以下の単層の窒化アルミニウム基板において、
メタライズ層を除く窒化アルミニウム基板は窒化アルミニウムに対して焼結助剤を10重量%以下の割合で含有するとともに190W/m・K以上の熱伝導率を有し、メタライズ層の厚さは3〜10μmであり、メタライズ層表面を20倍に拡大観察した際に液相成分が観察されないことを特徴とする窒化アルミニウム基板。 - 請求項1記載の窒化アルミニウム基板において、メタライズ層を除く窒化アルミニウム基板の厚さは、0.6〜1.0mmであることを特徴とする窒化アルミニウム基板。
- 請求項1記載の窒化アルミニウム基板において、前記メタライズ層はAlNを含むことを特徴とする窒化アルミニウム基板。
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