JP2014103539A5 - - Google Patents
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Description
実施形態によれば、膜体と素子部とを含む圧力検知素子と、カバー部と、を備えたマイクロフォンパッケージが提供される。前記膜体は、圧力に応じて歪みを生ずる。前記素子部は、前記膜体の上に設けられる。前記素子部は、第１磁性層と、第２磁性層と、非磁性層と、を含む。前記第１磁性層は、第１方向の第１の磁化を有する。前記第２磁性層は、第２方向の第２の磁化を有する。前記非磁性層は、前記第１磁性層と前記第２磁性層との間に設けられる。前記第１の磁化の前記第１方向と前記第２の磁化の前記第２方向との間の角度は、前記膜体の前記歪みに応じて変化する。前記カバー部は、前記圧力検知素子の周りに設けられる。前記カバー部は、前記第２方向において前記第２磁性層と並び磁性を有する第１部分を含む。
磁性層Ｍｐには、ＣｏＰｔ−ＳｉＯ２グラニュラ、ＦｅＰｔ、ＣｏＰｔ、（Ｃｏ／Ｐｄ）多層膜、（Ｃｏ／Ｐｔ）多層膜、または（Ｃｏ／Ｉｒ）多層膜を用いることができる。ＴｂＦｅ及び（Ｃｏ／Ｎｉ）多層膜は、Ｍｐの機能を有する材料と見なすことができる。多層膜における層の数は、例えば、２以上１０である。
Claims (7)
- 膜体と素子部とを含む圧力検知素子であって、
圧力に応じて歪みを生ずる前記膜体と、
前記膜体の上に設けられた前記素子部であって、
第１方向の第１の磁化を有する第１磁性層と、
第２方向の第２の磁化を有する第２磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含み、
前記第１の磁化の前記第１方向と前記第２の磁化の前記第２方向との間の角度は、前記膜体の前記歪みに応じて変化する、前記素子部と、
を含む圧力検知素子と、
前記圧力検知素子の周りに設けられたカバー部と、
を備え、
前記カバー部は、前記第２方向において前記第２磁性層と並び磁性を有する第１部分を含むマイクロフォンパッケージ。 - 前記カバー部は、孔を有する第２部分をさらに含む請求項１記載のマイクロフォンパッケージ。
- 前記第１部分は、磁性を有する粒子を含む請求項１記載のマイクロフォンパッケージ。
- 前記第１部分は、非磁性体と、磁性体と、を含む請求項１記載のマイクロフォンパッケージ。
- 前記カバー部は、金属の蓋体をさらに含む請求項１記載のマイクロフォンパッケージ。
- 前記素子部と前記第１部分との間の距離は、前記カバー部の高さと前記膜体の高さとの差の絶対値よりも小さい請求項１〜５のいずれか１つに記載のマイクロフォンパッケージ。
- 前記第１部分は、ＮｉＦｅ合金を含む、請求項１〜６のいずれか１ついに記載のマイクロフォンパッケージ。
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| WO2020159527A1 (en) * | 2019-02-01 | 2020-08-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microphone boots for electronic devices |
| WO2020258172A1 (zh) * | 2019-06-27 | 2020-12-30 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 振动传感器、音频设备和振动传感器的组装方法 |
| CN111314830B (zh) * | 2019-12-07 | 2021-02-19 | 朝阳聚声泰（信丰）科技有限公司 | 一种信噪比高的mems麦克风及其生产方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5303594A (en) * | 1992-08-11 | 1994-04-19 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Pressure transducer utilizing diamond piezoresistive sensors and silicon carbide force collector |
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| JP2002357488A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 応力センサー |
| JP2003037312A (ja) * | 2001-07-23 | 2003-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 応力センサー |
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| JP2004349476A (ja) | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
| JP2005221418A (ja) | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Tdk Corp | 圧力センサ |
| DE102004011203B4 (de) | 2004-03-04 | 2010-09-16 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Montieren von Halbleiterchips und entsprechende Halbleiterchipanordnung |
| US6928878B1 (en) * | 2004-09-28 | 2005-08-16 | Rosemount Aerospace Inc. | Pressure sensor |
| WO2008114728A1 (ja) | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Alps Electric Co., Ltd. | 磁気式圧力センサ |
| WO2008134530A2 (en) * | 2007-04-25 | 2008-11-06 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | A capacitive microphone with integrated cavity |
| JP2009055082A (ja) * | 2007-08-23 | 2009-03-12 | Yamaha Corp | マイクロフォンパッケージ |
| US7863700B2 (en) * | 2008-06-30 | 2011-01-04 | Qimonda Ag | Magnetoresistive sensor with tunnel barrier and method |
| JP4837708B2 (ja) * | 2008-07-09 | 2011-12-14 | シャープ株式会社 | 電子部品およびその製造方法、並びに、電子部品を備えた電子装置 |
| WO2010006558A1 (zh) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 歌尔声学股份有限公司 | 微型麦克风、微型麦克风的保护框架及其制造方法 |
| JP2010035070A (ja) | 2008-07-31 | 2010-02-12 | Smk Corp | マイクロフォンモジュール |
| JP5136330B2 (ja) | 2008-09-26 | 2013-02-06 | 日産自動車株式会社 | 磁歪式応力センサ |
| JP5590824B2 (ja) * | 2009-06-11 | 2014-09-17 | 株式会社オーディオテクニカ | コンデンサマイクロホンユニット |
| CN101651913A (zh) * | 2009-06-19 | 2010-02-17 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 麦克风 |
| JPWO2011046091A1 (ja) | 2009-10-13 | 2013-03-07 | 日本電気株式会社 | 磁性体装置 |
| US10107875B2 (en) | 2009-11-30 | 2018-10-23 | Infineon Technologies Ag | GMR sensor within molded magnetic material employing non-magnetic spacer |
| JP5429013B2 (ja) | 2010-04-12 | 2014-02-26 | ヤマハ株式会社 | 物理量センサ及びマイクロフォン |
| JP5101659B2 (ja) | 2010-05-25 | 2012-12-19 | 株式会社東芝 | 血圧センサ |
| JP5617357B2 (ja) * | 2010-06-07 | 2014-11-05 | 大日本印刷株式会社 | センサデバイス及びその製造方法 |
| JP5235964B2 (ja) | 2010-09-30 | 2013-07-10 | 株式会社東芝 | 歪検知素子、歪検知素子装置、および血圧センサ |
| JP5677258B2 (ja) | 2011-09-27 | 2015-02-25 | 株式会社東芝 | 歪検知装置及びその製造方法 |
| JP5711705B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2015-05-07 | 株式会社東芝 | 圧力検知素子及びその製造方法 |
| TWM452269U (zh) | 2012-09-25 | 2013-05-01 | Neng-Yuan Ye | 安全勾扣之構造 |
| JP2014074606A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Toshiba Corp | 圧力センサ、音響マイク、血圧センサ及びタッチパネル |
| JP5951454B2 (ja) * | 2012-11-20 | 2016-07-13 | 株式会社東芝 | マイクロフォンパッケージ |
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