JP2009055082A - マイクロフォンパッケージ - Google Patents
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Abstract
【課題】マイクロフォンパッケージにおいて検出される音響の質の低下を防止できるようにする。
【解決手段】音響を検出するマイクロフォンチップ7及び該マイクロフォンチップ7を駆動制御する制御回路部9を有する音響検出ユニット5と、マイクロフォンチップ7及び制御回路部9を搭載する搭載面3b、並びに、音響検出ユニット5を囲繞するように搭載面3bから音響検出ユニット5よりも上方に突出する環状の側壁部27を有する箱型基板21と、搭載面3bの上方を覆うように側壁部27の上端面27aに配されて、箱型基板21と共に中空の空洞部Sを形成する蓋体23と、を備え、箱型基板21及び蓋体23の一方に空洞部Sを外方に連通させる音響孔3aを形成し、蓋体23に、その内面23bから空洞部S内に向けて上端面27aの下方側まで突出する突出部29を設けたマイクロフォンパッケージ1を提供する。
【選択図】図1
【解決手段】音響を検出するマイクロフォンチップ7及び該マイクロフォンチップ7を駆動制御する制御回路部9を有する音響検出ユニット5と、マイクロフォンチップ7及び制御回路部9を搭載する搭載面3b、並びに、音響検出ユニット5を囲繞するように搭載面3bから音響検出ユニット5よりも上方に突出する環状の側壁部27を有する箱型基板21と、搭載面3bの上方を覆うように側壁部27の上端面27aに配されて、箱型基板21と共に中空の空洞部Sを形成する蓋体23と、を備え、箱型基板21及び蓋体23の一方に空洞部Sを外方に連通させる音響孔3aを形成し、蓋体23に、その内面23bから空洞部S内に向けて上端面27aの下方側まで突出する突出部29を設けたマイクロフォンパッケージ1を提供する。
【選択図】図1
Description
この発明は、マイクロフォンパッケージに関する。
従来、マイクロフォンパッケージは、例えば特許文献1のように、中空の空洞部を形成したハウジング内の搭載面に、音響を検出するマイクロフォンチップやこれを制御するLSIチップを搭載して構成されている。また、ハウジングには空洞部を外方に連通させる音響孔が形成されている。
特表2004−537182号公報
ところで、中空の空洞部及び音響孔を有するハウジングでは、音響孔の周辺においてヘルムホルツの共鳴が発生するが、上記共鳴に基づくマイクロフォンパッケージの共振周波数が可聴領域内にある場合には、マイクロフォンチップにおいて検出する音響の質が低下するという問題がある。
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、共振周波数に基づく音質の低下を防止して、所望の音響特性が得られるマイクロフォンパッケージを提供することを目的としている。
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明のマイクロフォンパッケージは、音響を検出するマイクロフォンチップ及び該マイクロフォンチップを駆動制御する制御回路部を有する音響検出ユニットと、前記マイクロフォンチップ及び前記制御回路部を搭載する搭載面、並びに、前記音響検出ユニットを囲繞するように前記搭載面から前記音響検出ユニットよりも上方に突出する環状の側壁部を有する箱型基板と、前記搭載面の上方を覆うように前記側壁部の上端面に配されて、前記箱型基板と共に中空の空洞部を形成する蓋体と、を備え、前記箱型基板及び前記蓋体の一方に前記空洞部を外方に連通させる音響孔が形成され、前記蓋体に、その内面から前記空洞部内に向けて突出する突出部が設けられていることを特徴とする。
本発明のマイクロフォンパッケージは、音響を検出するマイクロフォンチップ及び該マイクロフォンチップを駆動制御する制御回路部を有する音響検出ユニットと、前記マイクロフォンチップ及び前記制御回路部を搭載する搭載面、並びに、前記音響検出ユニットを囲繞するように前記搭載面から前記音響検出ユニットよりも上方に突出する環状の側壁部を有する箱型基板と、前記搭載面の上方を覆うように前記側壁部の上端面に配されて、前記箱型基板と共に中空の空洞部を形成する蓋体と、を備え、前記箱型基板及び前記蓋体の一方に前記空洞部を外方に連通させる音響孔が形成され、前記蓋体に、その内面から前記空洞部内に向けて突出する突出部が設けられていることを特徴とする。
この発明に係るマイクロフォンパッケージによれば、蓋体に突出部を設けることにより、空洞部の容積を容易に小さくすることができる。そして、音響孔の大きさが一定である場合、マイクロフォンパッケージの共振周波数は、空洞部の容積が小さい程高くなるため、上記共振周波数を容易に可聴領域の周波数よりも高い周波数に引き上げることが可能となる。
また、前記マイクロフォンパッケージにおいては、前記突出部が、前記蓋体に一体に形成されていてもよい。
さらに、前記マイクロフォンパッケージにおいては、前記突出部が、前記蓋体の外面から前記空洞部に向けて窪むと共に前記蓋体の内面から突出する窪み部からなっていてもよい。
さらに、前記マイクロフォンパッケージにおいては、前記突出部が、前記蓋体の外面から前記空洞部に向けて窪むと共に前記蓋体の内面から突出する窪み部からなっていてもよい。
これらの場合には、マイクロフォンパッケージの部品点数を増やすことなく、空洞部の容積を小さくすることができる。また、窪み部は蓋体を変形することで形成できるため、空洞部の容積調整が容易となる。
また、前記マイクロフォンパッケージにおいては、前記窪み部が、前記側壁部の内周面に押し付けられるように環状に形成されていてもよい。
この場合には、窪み部を箱型基板の開口部分に挿入するだけで、蓋体を箱型基板に取り付けることができるため、箱型基板に対する蓋体の位置決めを容易に行うことができる。
この場合には、窪み部を箱型基板の開口部分に挿入するだけで、蓋体を箱型基板に取り付けることができるため、箱型基板に対する蓋体の位置決めを容易に行うことができる。
さらに、前記マイクロフォンパッケージにおいては、前記突出部が前記蓋体の内面に貼り付けられる吸音材からなっていてもよい。
この場合には、音響孔から空洞部内に入り込んだ音響が突出部において反射しないため、この余分な反射音がマイクロフォンチップにおいて検出されることを防止でき、マイクロフォンパッケージの音質向上をさらに図ることができる。
この場合には、音響孔から空洞部内に入り込んだ音響が突出部において反射しないため、この余分な反射音がマイクロフォンチップにおいて検出されることを防止でき、マイクロフォンパッケージの音質向上をさらに図ることができる。
また、本発明のマイクロフォンパッケージは、音響を検出するマイクロフォンチップ及び該マイクロフォンチップを駆動制御する制御回路部を有する音響検出ユニットと、前記マイクロフォンチップ及び前記制御回路部を搭載する搭載面、並びに、前記音響検出ユニットを囲繞するように前記搭載面から前記音響検出ユニットよりも上方に突出する環状の側壁部を有する箱型基板と、前記搭載面の上方を覆うように前記側壁部の上端面に配されて、前記箱型基板と共に中空の空洞部を形成する蓋体と、を備え、前記搭載面が、前記側壁部を立設する基準搭載面、及び、該基準搭載面との間に段差を有して前記基準搭載面よりも低く位置する窪み搭載面とからなり、前記基準搭載面に、前記マイクロフォンチップ及び前記制御回路部のうち高さ寸法が小さい方を配置し、前記窪み搭載面に、前記マイクロフォンチップ及び前記制御回路部のうち前記搭載面からの高さ寸法が大きい方を配置することを特徴とする。
この発明に係るマイクロフォンパッケージによれば、マイクロフォンチップ及び制御回路部のうち高さ寸法が大きい方に関して、基準搭載面から突出する高さ寸法を小さくすることができるため、側壁部の突出長さを短く設定することが可能となり、結果として、空洞部の容積を小さくすることができる。したがって、上述したように、マイクロフォンパッケージの共振周波数を容易に可聴領域の周波数よりも高い周波数に引き上げることが可能となる。
また、この場合には、側壁部の突出長さを短くできるため、マイクロフォンパッケージの薄型化も図ることができる。
また、この場合には、側壁部の突出長さを短くできるため、マイクロフォンパッケージの薄型化も図ることができる。
本発明によれば、マイクロフォンパッケージの共振周波数を容易に可聴領域の周波数よりも高い周波数に引き上げることができるため、共振周波数に基づく音質低下を防止して所望の音響特性を得ることが可能となる。
以下、図1を参照して本発明の一実施形態に係る半導体装置について説明する。図1に示すように、この実施形態に係るマイクロフォンパッケージ1は、中空の空洞部S及びこれを外方に連通させる音響孔3aを有するハウジング3と、ハウジング3内に設けられて音響を検出するための音響検出ユニット5と、を備えている。
そして、音響検出ユニット5は、ハウジング3内の搭載面3bに搭載されたマイクロフォンチップ7及び制御回路部9をワイヤー(電気配線部)11により電気接続して構成されている。
そして、音響検出ユニット5は、ハウジング3内の搭載面3bに搭載されたマイクロフォンチップ7及び制御回路部9をワイヤー(電気配線部)11により電気接続して構成されている。
マイクロフォンチップ7は、厚さ方向に貫通する内孔13aを形成してなる支持部13と、支持部13の内孔13aを覆うように設けられて音響等の圧力変動を振動により検出する音響検出部15とを備えている。
支持部13の上面には、ワイヤー11の一端を接合する電極パッド13bが形成されている。また、音響検出部15は、支持部13の内孔13aを覆うように設けられた略板状の固定電極15aと、固定電極15aと支持部13の厚さ方向に所定の間隔をもって対向配置されて圧力変動に応じて振動するダイヤフラム15bとを備えている。このマイクロフォンチップ7は、音響検出部15が内孔13aを介してハウジング3内の搭載面3bに対向するように、不図示のダイボンド材を介して搭載面3bに搭載されている。
支持部13の上面には、ワイヤー11の一端を接合する電極パッド13bが形成されている。また、音響検出部15は、支持部13の内孔13aを覆うように設けられた略板状の固定電極15aと、固定電極15aと支持部13の厚さ方向に所定の間隔をもって対向配置されて圧力変動に応じて振動するダイヤフラム15bとを備えている。このマイクロフォンチップ7は、音響検出部15が内孔13aを介してハウジング3内の搭載面3bに対向するように、不図示のダイボンド材を介して搭載面3bに搭載されている。
制御回路部9は、マイクロフォンチップ7を駆動制御するLSIチップ17と、LSIチップ17を封止する樹脂封止部19とから構成されている。
LSIチップ17は、例えばマイクロフォンチップ7からの電気信号を増幅するための増幅回路や、前記電気信号をデジタル信号として処理するためのA/D変換器、DSP(デジタルシグナルプロセッサ)等を含んで構成されている。このLSIチップ17の上面には、ワイヤー11の他端を接合する電極パッド17bが形成されている。そして、LSIチップ17は、不図示のダイボンド材を介してハウジング3の搭載面3bに搭載されている。また、樹脂封止部19は、LSIチップ17の他にLSIチップ17とワイヤー11との接合部分も封止しており、これによってLSIチップ17及び前記接合部分が保護されている。
なお、以上のように構成された音響検出ユニット5においては、マイクロフォンチップ7とLSIチップ17との間で上方に湾曲したループ形状をなすワイヤー11が音響検出ユニット5の構成部品の中で搭載面3bから最も高くに位置している。
LSIチップ17は、例えばマイクロフォンチップ7からの電気信号を増幅するための増幅回路や、前記電気信号をデジタル信号として処理するためのA/D変換器、DSP(デジタルシグナルプロセッサ)等を含んで構成されている。このLSIチップ17の上面には、ワイヤー11の他端を接合する電極パッド17bが形成されている。そして、LSIチップ17は、不図示のダイボンド材を介してハウジング3の搭載面3bに搭載されている。また、樹脂封止部19は、LSIチップ17の他にLSIチップ17とワイヤー11との接合部分も封止しており、これによってLSIチップ17及び前記接合部分が保護されている。
なお、以上のように構成された音響検出ユニット5においては、マイクロフォンチップ7とLSIチップ17との間で上方に湾曲したループ形状をなすワイヤー11が音響検出ユニット5の構成部品の中で搭載面3bから最も高くに位置している。
ハウジング3は、マイクロフォンチップ7及びLSIチップ17を搭載する箱型基板21、及び、箱型基板21と共に空洞部Sを形成する蓋体23を備えている。
箱型基板21は、例えばセラミック基板等の所謂多層配線基板をなしており、板状に形成されてハウジング3の搭載面3bをなす底壁部25と、音響検出ユニット5を囲繞するように搭載面3bから突出する環状の側壁部27とを備えている。ここで、側壁部27は、音響検出ユニット5を構成するワイヤー11よりも上方に突出している。
なお、箱型基板21がセラミック多層配線基板からなる場合、箱型基板21の配線部をなす所定パターンの導電路を形成したセラミックシートを複数積層して製造することができる。そして、側壁部27は、環状に形成されたセラミックシートを積層することで形成することができる。
なお、前述したマイクロフォンチップ7及び制御回路部9は、箱型基板21の側壁部27の内周面との間に隙間をあけて配されている。
箱型基板21は、例えばセラミック基板等の所謂多層配線基板をなしており、板状に形成されてハウジング3の搭載面3bをなす底壁部25と、音響検出ユニット5を囲繞するように搭載面3bから突出する環状の側壁部27とを備えている。ここで、側壁部27は、音響検出ユニット5を構成するワイヤー11よりも上方に突出している。
なお、箱型基板21がセラミック多層配線基板からなる場合、箱型基板21の配線部をなす所定パターンの導電路を形成したセラミックシートを複数積層して製造することができる。そして、側壁部27は、環状に形成されたセラミックシートを積層することで形成することができる。
なお、前述したマイクロフォンチップ7及び制御回路部9は、箱型基板21の側壁部27の内周面との間に隙間をあけて配されている。
蓋体23は、例えば銅材等の導電性板材によって形成されており、箱型基板21の搭載面3b及び音響検出ユニット5の上方を覆うように側壁部27の上端面27aに配されている。すなわち、蓋体23は、箱型基板21の開口部分を閉塞することで箱型基板21と共に中空の空洞部Sを形成している。
この蓋体23には、その外面23aから空洞部S内に向けて窪むと共に内面23bから空洞部S内に向けて側壁部27の上端面27aの下方側に突出する窪み部(突出部)29が形成されている。この窪み部29は、箱型基板21の側壁部27の内周面に押し付けられるように環状に形成されており、音響検出ユニット5と側壁部27の内周面との隙間にも入り込むように配されている。すなわち、上述のように突出する窪み部29の先端は、マイクロフォンチップ7の厚さ方向に関してマイクロフォンチップ7の上面よりも下方側に突出し、搭載面3bとの間に間隙を有する位置まで突出している。
なお、この窪み部29の先端は、上述した図示例に限らず、少なくとも側壁部27の上端面27aよりも下方側に突出し、かつ、搭載面3bとの間に間隙を有する位置に配されていればよい。すなわち、窪み部29の先端は、例えば、マイクロフォンチップ7の厚さ方向に関してマイクロフォンチップ7の上面と側壁部27の上端面27aとの間に配されるとしてもよい。
この蓋体23には、その外面23aから空洞部S内に向けて窪むと共に内面23bから空洞部S内に向けて側壁部27の上端面27aの下方側に突出する窪み部(突出部)29が形成されている。この窪み部29は、箱型基板21の側壁部27の内周面に押し付けられるように環状に形成されており、音響検出ユニット5と側壁部27の内周面との隙間にも入り込むように配されている。すなわち、上述のように突出する窪み部29の先端は、マイクロフォンチップ7の厚さ方向に関してマイクロフォンチップ7の上面よりも下方側に突出し、搭載面3bとの間に間隙を有する位置まで突出している。
なお、この窪み部29の先端は、上述した図示例に限らず、少なくとも側壁部27の上端面27aよりも下方側に突出し、かつ、搭載面3bとの間に間隙を有する位置に配されていればよい。すなわち、窪み部29の先端は、例えば、マイクロフォンチップ7の厚さ方向に関してマイクロフォンチップ7の上面と側壁部27の上端面27aとの間に配されるとしてもよい。
そして、この窪み部29のうち外周側の壁部29aは、側壁部27の内周面に沿うように配されており、内周側の壁部29bは、搭載面3b上のほぼ中央部分に配されているワイヤー11に接触しないように、搭載面3bの上方に膨らむドーム状に形成されている。ここで、ワイヤー11上に位置する蓋体23の中央部分の高さ位置は、側壁部27の上端面27aに配された蓋体23の周縁部分と同じ高さ以下とすることが好ましい。すなわち、蓋体23におけるドーム状の膨らみの大きさは、ワイヤー11のループ高さにあわせてできる限り低くすることが好ましい。
また、ハウジング3の音響孔3aは、上述した蓋体23にその厚さ方向に貫通して形成されており、制御回路部9に対向する位置に配されている。
また、ハウジング3の音響孔3aは、上述した蓋体23にその厚さ方向に貫通して形成されており、制御回路部9に対向する位置に配されている。
次に、上記構成のマイクロフォンパッケージ1の製造方法について、以下に述べる。
このマイクロフォンパッケージ1を製造する際には、はじめに、箱型基板21の搭載面3bにマイクロフォンチップ7及びLSIチップ17を搭載する(チップ搭載工程)。次いで、ワイヤーボンディングを施してマイクロフォンチップ7とLSIチップ17とをワイヤー11により電気接続し、さらにLSIチップ17と箱型基板21とを電気接続する(配線工程)。その後、前述のワイヤー11との接合部分を含むLSIチップ17全体を封止する樹脂封止部19を形成する(封止工程)。
このマイクロフォンパッケージ1を製造する際には、はじめに、箱型基板21の搭載面3bにマイクロフォンチップ7及びLSIチップ17を搭載する(チップ搭載工程)。次いで、ワイヤーボンディングを施してマイクロフォンチップ7とLSIチップ17とをワイヤー11により電気接続し、さらにLSIチップ17と箱型基板21とを電気接続する(配線工程)。その後、前述のワイヤー11との接合部分を含むLSIチップ17全体を封止する樹脂封止部19を形成する(封止工程)。
また、これらチップ搭載工程、配線工程及び封止工程の前後あるいは同時に、蓋体23を形成する(蓋体形成工程)。
この蓋体形成工程においては、はじめに、平らな導電性板材にその厚さ方向に貫通して音響孔3aとする貫通孔を形成する(音響孔形成工程)。次いで、導電性板材に絞り加工を施して、導電性板材の一方の主面から窪むと共に他方の主面から突出する環状の窪み部29を形成する(絞り加工工程)。なお、この絞り加工工程においては、環状の窪み部29のうち外周側の壁部29aを、導電性板材の他方の主面からほぼ垂直に伸びるように形成し、また、内周側の壁部29bを、他方の主面側から一方の主面に向けて膨ませてドーム状に形成する。
なお、前述した音響孔形成工程は、例えば絞り加工工程の前あるいは同時に実施されるとしてもよい。
この蓋体形成工程においては、はじめに、平らな導電性板材にその厚さ方向に貫通して音響孔3aとする貫通孔を形成する(音響孔形成工程)。次いで、導電性板材に絞り加工を施して、導電性板材の一方の主面から窪むと共に他方の主面から突出する環状の窪み部29を形成する(絞り加工工程)。なお、この絞り加工工程においては、環状の窪み部29のうち外周側の壁部29aを、導電性板材の他方の主面からほぼ垂直に伸びるように形成し、また、内周側の壁部29bを、他方の主面側から一方の主面に向けて膨ませてドーム状に形成する。
なお、前述した音響孔形成工程は、例えば絞り加工工程の前あるいは同時に実施されるとしてもよい。
そして、上述したチップ搭載工程、配線工程、封止工程及び蓋体形成工程の終了後には、蓋体23を箱型基板21に取り付けることで(蓋体設置工程)、箱型基板21及び蓋体23により空洞部Sが形成され、マイクロフォンパッケージ1の製造が完了する。なお、この蓋体設置工程においては、窪み部29を側壁部27の内側に嵌め込むことで、箱型基板21に対する蓋体23の位置決めを行うことができる。
上記マイクロフォンパッケージ1によれば、蓋体23に窪み部29を形成することにより、空洞部Sの容積を容易に小さくすることができる。そして、音響孔3aの大きさが一定である場合、マイクロフォンパッケージ1の共振周波数は、空洞部Sの容積が小さいほど高くなるため、上記共振周波数を容易に可聴領域の周波数よりも高い周波数に引き上げることが可能となる。したがって、マイクロフォンチップ7において検出される音響の質がこの共振周波数によって低下することを防止して、所望の音響特性を得ることが可能となる。
また、窪み部29は、蓋体23に一体に形成されているため、マイクロフォンパッケージ1の構成部品点数を増やすことなく、空洞部Sの容積を小さくすることができる。さらに、窪み部29は蓋体23をなす導電性板材に変形加工を施すことで形成できるため、空洞部Sの容積調整が容易となる。
さらに、このマイクロフォンパッケージ1によれば、窪み部29を箱型基板21の開口部分に挿入するだけで、蓋体23を箱型基板21に取り付けることが可能となるため、箱型基板21に対する蓋体23の位置決めを容易に行うことができる。
さらに、このマイクロフォンパッケージ1によれば、窪み部29を箱型基板21の開口部分に挿入するだけで、蓋体23を箱型基板21に取り付けることが可能となるため、箱型基板21に対する蓋体23の位置決めを容易に行うことができる。
また、蓋体23は導電性を有するため、マイクロフォンパッケージ1を搭載する実装基板のグランドパターンに蓋体23を電気接続することで、この蓋体23によりマイクロフォンパッケージ1の蓋体23側から空洞部S内への電磁気的なノイズの侵入を遮断するシールド部を構成することができる。この場合には、ノイズに基づいてマイクロフォンチップ7に誤作動が生じることを防止することができる。
そして、箱型基板21の内部に前述したグランドパターンに電気接続されるグランド配線が形成されている場合には、グランド配線の一部を蓋体23の窪み部29に接触する側壁部27の内周面に露出させておいてもよい。この場合には、窪み部29がグランド配線に押し付けられるため、蓋体23を簡単かつ確実にグランドパターンに電気接続することができ、前述のシールド部を容易に構成することが可能となる。
なお、上述したノイズの遮断を考慮しない場合には、蓋体23は導電性材料に限らず、樹脂材料等の他の材料によって形成されても構わない。
そして、箱型基板21の内部に前述したグランドパターンに電気接続されるグランド配線が形成されている場合には、グランド配線の一部を蓋体23の窪み部29に接触する側壁部27の内周面に露出させておいてもよい。この場合には、窪み部29がグランド配線に押し付けられるため、蓋体23を簡単かつ確実にグランドパターンに電気接続することができ、前述のシールド部を容易に構成することが可能となる。
なお、上述したノイズの遮断を考慮しない場合には、蓋体23は導電性材料に限らず、樹脂材料等の他の材料によって形成されても構わない。
さらに、上記マイクロフォンパッケージ1によれば、箱型基板21が、搭載面3bに立設されて音響検出ユニット5を囲繞する側壁部27を備えているため、チップ搭載工程の後から蓋体設置工程が完了するまでの間に、マイクロフォンチップ7やLSIチップ9、ワイヤー11を保護することができる。
なお、上記実施形態において、窪み部29は、音響検出ユニット5と側壁部27の内周面との隙間に入り込むように環状に形成されるとしたが、これに限ることはなく、少なくとも蓋体23の内面23bから空洞部S内に向けて突出していればよい。したがって、例えば図2に示すように、窪み部(突出部)31は、側壁部27の内周面から離れてマイクロフォンチップ7に対向して間隙を形成するように配置されていてもよいし、例えば制御回路部9に対向する位置のみに配置されていてもよい。この場合、蓋体23は、窪み部31の形成領域を除いて平板状に形成されていてもよい。
また、蓋体23には、窪み部29,31が形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば、蓋体23の外面23aから窪まずに蓋体23の内面23bから一体に突出するだけの突出部が形成されていてもよい。なお、この突出部の場合でも、前述した窪み部31の場合と同様に、マイクロフォンチップ7との間に間隙を形成するように配置されていてもよい。
さらに、例えば図3に示すように、蓋体23とは別個の部材により突出部33を形成し、平板状に形成された蓋体23の内面23bに貼り付けてもよい。この場合、突出部33の材質は蓋体と同一としてもよいし、異なっていてもよい。
そして、この図3に示す構成のマイクロフォンパッケージ30において、突出部33が、例えばスポンジゴム等の吸音材からなる場合には、音響孔3aから空洞部S内に入り込んだ音響が突出部33において反射しないため、この余分な反射音がマイクロフォンチップ7において検出されることを防止でき、マイクロフォンパッケージ30の音質向上をさらに図ることができる。
さらに、例えば図3に示すように、蓋体23とは別個の部材により突出部33を形成し、平板状に形成された蓋体23の内面23bに貼り付けてもよい。この場合、突出部33の材質は蓋体と同一としてもよいし、異なっていてもよい。
そして、この図3に示す構成のマイクロフォンパッケージ30において、突出部33が、例えばスポンジゴム等の吸音材からなる場合には、音響孔3aから空洞部S内に入り込んだ音響が突出部33において反射しないため、この余分な反射音がマイクロフォンチップ7において検出されることを防止でき、マイクロフォンパッケージ30の音質向上をさらに図ることができる。
また、蓋体23に窪み部29,31や突出部33を設ける代わりに、例えば図4に示すように、箱型基板21の底壁部25に、側壁部27を立設する基準搭載面3c、及び、基準搭載面3cとの間に段差を有して基準搭載面3cよりも低く位置する窪み搭載面3dを形成してもよい。そして、この場合には、基準搭載面3cにマイクロフォンチップ7及び制御回路部9のうち高さ寸法が小さい方を配置し、窪み搭載面3dにマイクロフォンチップ7及び制御回路部9のうち高さ寸法が小さい方を配置すればよい。なお、図示例においては、マイクロフォンチップ7の高さ寸法の方が大きいため、これを窪み搭載面3dに配置している。
この場合、蓋体23は平らな板状に形成されていてもよいが、上記実施形態の窪み部29,31や突出部33を有していてもよい。
この場合、蓋体23は平らな板状に形成されていてもよいが、上記実施形態の窪み部29,31や突出部33を有していてもよい。
この構成のマイクロフォンパッケージ40によれば、マイクロフォンチップ7及び制御回路部9のうち高さ寸法が高いものに関して、基準搭載面3cから突出する高さ寸法を小さくすることができるため、また、ワイヤー11のループ高さも低く設定できるため、側壁部27の突出長さを短く設定することが可能となり、結果として、空洞部Sの容積を小さくすることができる。したがって、上記実施形態と同様に、マイクロフォンパッケージ40の共振周波数を容易に可聴領域の周波数よりも高い周波数に引き上げることが可能となる。
また、この場合には、側壁部27の突出長さを短くできるため、マイクロフォンパッケージ40の薄型化も図ることができる。
また、この場合には、側壁部27の突出長さを短くできるため、マイクロフォンパッケージ40の薄型化も図ることができる。
また、上述した全ての実施形態においては、マイクロフォンチップ7及びLSIチップ17をワイヤー11によって電気接続した構成について述べたが、これに限ることはなく、マイクロフォンチップ7やLSIチップ17を箱型基板21の搭載面3bにフリップチップ実装した構成にも適用することができる。
なお、このフリップチップ実装の構成では、マイクロフォンチップ7及びLSIチップ17を電気接続する電気配線(電気配線部)を箱型基板21の底壁部25に形成しておけばよい。この場合、マイクロフォンチップ7、LSIチップ17及び箱型基板21の電気配線によって音響検出ユニットが構成されることになる。また、マイクロフォンチップ7をフリップチップ実装する場合には、例えば箱型基板21に搭載面3bから窪む凹部(バックキャビティ)を形成しておき、この凹部に音響検出部15が対向するようにマイクロフォンチップ7を搭載面3bに配置すればよい。
なお、このフリップチップ実装の構成では、マイクロフォンチップ7及びLSIチップ17を電気接続する電気配線(電気配線部)を箱型基板21の底壁部25に形成しておけばよい。この場合、マイクロフォンチップ7、LSIチップ17及び箱型基板21の電気配線によって音響検出ユニットが構成されることになる。また、マイクロフォンチップ7をフリップチップ実装する場合には、例えば箱型基板21に搭載面3bから窪む凹部(バックキャビティ)を形成しておき、この凹部に音響検出部15が対向するようにマイクロフォンチップ7を搭載面3bに配置すればよい。
さらに、この構成では、箱型基板21の側壁部27の突出高さが、マイクロフォンチップ7及び制御回路部9の高さ寸法よりも大きくなるように搭載面3bから突出していればよい。
そして、この構成において、例えばマイクロフォンチップ7が音響検出ユニットの構成部品の中で最も高く位置している場合には、制御回路部9に対向する蓋体23に窪み部31や突出部33を設ける、あるいは、マイクロフォンチップ7を窪み搭載面3dに配置することがより好ましく、これにより空洞部Sの容積をより小さくすることができる。
そして、この構成において、例えばマイクロフォンチップ7が音響検出ユニットの構成部品の中で最も高く位置している場合には、制御回路部9に対向する蓋体23に窪み部31や突出部33を設ける、あるいは、マイクロフォンチップ7を窪み搭載面3dに配置することがより好ましく、これにより空洞部Sの容積をより小さくすることができる。
また、上述した全ての実施形態において、ハウジング3の音響孔3aは蓋体23に形成されるとしたが、これに限ることはなく、例えば箱型基板21の底壁部25や側壁部27に形成されるとしてもよい。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
1,30,40…マイクロフォンパッケージ、3…ハウジング、3a…音響孔、3b…搭載面、3c…基準搭載面、3d…窪み搭載面、5…音響検出ユニット、7…マイクロフォンチップ、9…制御回路部、11…ワイヤー(電気配線部)、21…箱型基板、23…蓋体、27…側壁部、27a…上端面、29,31…窪み部(突出部)、33…突出部、S…空洞部
Claims (6)
- 音響を検出するマイクロフォンチップ及び該マイクロフォンチップを駆動制御する制御回路部を有する音響検出ユニットと、
前記マイクロフォンチップ及び前記制御回路部を搭載する搭載面、並びに、前記音響検出ユニットを囲繞するように前記搭載面から前記音響検出ユニットよりも上方に突出する環状の側壁部を有する箱型基板と、
前記搭載面の上方を覆うように前記側壁部の上端面に配されて、前記箱型基板と共に中空の空洞部を形成する蓋体と、を備え、
前記箱型基板及び前記蓋体の一方に前記空洞部を外方に連通させる音響孔が形成され、
前記蓋体に、その内面から前記空洞部内に向けて突出する突出部が設けられていることを特徴とするマイクロフォンパッケージ。 - 前記突出部が、前記蓋体に一体に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロフォンパッケージ。
- 前記突出部が、前記蓋体の外面から前記空洞部に向けて窪むと共に前記蓋体の内面から突出する窪み部からなることを特徴とする請求項2に記載のマイクロフォンパッケージ。
- 前記窪み部が、前記側壁部の内周面に押し付けられるように環状に形成されていることを特徴とする請求項3に記載のマイクロフォンパッケージ。
- 前記突出部が、前記蓋体の内面に貼り付けられる吸音材からなることを特徴とする請求項1に記載のマイクロフォンパッケージ。
- 音響を検出するマイクロフォンチップ及び該マイクロフォンチップを駆動制御する制御回路部を有する音響検出ユニットと、
前記マイクロフォンチップ及び前記制御回路部を搭載する搭載面、並びに、前記音響検出ユニットを囲繞するように前記搭載面から前記音響検出ユニットよりも上方に突出する環状の側壁部を有する箱型基板と、
前記搭載面の上方を覆うように前記側壁部の上端面に配されて、前記箱型基板と共に中空の空洞部を形成する蓋体と、を備え、
前記搭載面が、前記側壁部を立設する基準搭載面、及び、該基準搭載面との間に段差を有して前記基準搭載面よりも低く位置する窪み搭載面とからなり、
前記基準搭載面に、前記マイクロフォンチップ及び前記制御回路部のうち高さ寸法が小さい方を配置し、前記窪み搭載面に、前記マイクロフォンチップ及び前記制御回路部のうち前記搭載面からの高さ寸法が大きい方を配置することを特徴とするマイクロフォンパッケージ。
Priority Applications (3)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014103539A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Toshiba Corp | マイクロフォンパッケージ |
KR101590130B1 (ko) * | 2014-10-24 | 2016-02-01 | 주식회사 루셈 | 울림 공간 내의 음향 난반사가 방지되는 mems 마이크로폰 |
JP2016184794A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-20 | 株式会社プリモ | 単一指向性memsマイクロホン |
CN109270874A (zh) * | 2018-11-02 | 2019-01-25 | 深圳市欧兰特智能控制系统有限公司 | 家电控制系统和控制方法 |
-
2007
- 2007-08-23 JP JP2007216990A patent/JP2009055082A/ja active Pending
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