JP5374716B2 - マイクロフォンとその製造方法 - Google Patents
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Description
図8は、本発明の実施形態に係るマイクロフォンの変形例を示す断面図である。
2 基板
3 変換体
4 増幅素子
5 本体
6 背面空間
7 振動膜
8 変換体電極
9 実装端子
10 基板電極
11 バンプ
12 パターン
13 シールドキャップ
14 樹脂体
15 前面空間
Claims (14)
- 音孔が形成され、上面上に基板電極を有する基板と、
音圧を電気信号に変換し、前記基板の上面上に設けられた変換体と、
シールドキャップと、
バンプとを備え、
前記変換体は、背面空間が形成された本体と、前記本体の背面空間の底部に設けられ、前記音圧を受ける振動膜と、前記本体の下面のうち前記基板電極に対向する領域に設けられた変換体電極とを有しており、
前記シールドキャップは、前記本体の上面及び側面に接し、前記背面空間の大きさを前記本体と前記シールドキャップとにより固定化するように前記背面空間の上部を覆っており、
前記バンプは、前記基板電極と前記変換体電極とを接続するマイクロフォン。 - 前記変換体の本体はシリコンにより構成されている請求項1に記載のマイクロフォン。
- 前記振動膜はシリコンにより構成されており、前記本体と前記振動膜とは一体的に形成されている請求項2に記載のマイクロフォン。
- 前記背面空間は前記本体を貫通しており、且つ前記振動膜から上方に向かって広がっている請求項1〜3のうちいずれか1つに記載のマイクロフォン。
- 前記基板の上面の一部と、前記シールドキャップの外表面の少なくとも一部とを覆う樹脂体をさらに備えている請求項1〜4のうちいずれか1つに記載のマイクロフォン。
- 前記樹脂体は、前記シールドキャップの側面を覆うことを特徴とする請求項5に記載のマイクロフォン。
- 前記変換体で生成された信号を増幅する増幅素子をさらに備えている請求項1〜6のうちいずれか1つに記載のマイクロフォン。
- 前記基板は、自身の下面に設けられた実装端子を有している請求項1〜7のうちいずれか1つに記載のマイクロフォン。
- 前記背面空間の体積は、前記振動膜の下面から前記音孔までの空間の体積よりも大きい請求項1〜8のうちいずれか1つに記載のマイクロフォン。
- 背面空間が形成された本体と、前記背面空間の底部に設けられた振動膜と、前記本体の下面に設けられた変換体電極とを有する変換体を準備する工程(a)と、
音孔が形成され、上面の前記変換体電極に対応する位置に形成された基板電極を有する基板上に前記変換体を載せ、前記変換体電極と前記基板電極とを接続させる工程(b)と、
前記工程(b)の後、前記本体の上面及び側面に接し、前記背面空間の大きさを前記本体と前記シールドキャップとにより固定化するように前記背面空間の上部を覆うシールドキャップを前記基板上に設置する工程(c)とを備えているマイクロフォンの製造方法。 - 前記工程(b)では、前記変換体電極と前記基板電極とを超音波熱圧着により接続させる請求項10に記載のマイクロフォンの製造方法。
- 前記工程(c)の後、前記基板の上面の一部と、前記シールドキャップの外表面の少なくとも一部とを樹脂で封止する工程(d)をさらに備えている請求項10または11に記載のマイクロフォンの製造方法。
- 前記工程(a)は、シリコン板の中央部を選択的にウェットエッチングすることで、逆角錐状の前記背面空間を形成する工程(a1)を含む請求項10〜12のうちいずれか1つに記載のマイクロフォンの製造方法。
- 前記工程(a1)では、前記背面空間が前記本体を貫通する前にウェットエッチングを停止することで、前記振動膜を前記本体と一体的に形成する請求項13に記載のマイクロフォンの製造方法。
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