JP2007060389A - シリコンマイクロホンパッケージ - Google Patents
シリコンマイクロホンパッケージ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007060389A JP2007060389A JP2005244393A JP2005244393A JP2007060389A JP 2007060389 A JP2007060389 A JP 2007060389A JP 2005244393 A JP2005244393 A JP 2005244393A JP 2005244393 A JP2005244393 A JP 2005244393A JP 2007060389 A JP2007060389 A JP 2007060389A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon microphone
- circuit board
- sealing lid
- dimensional circuit
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】シリコンマイクロホンパッケージにおいて、優れた受音特性を得ることができるキャビティ及び通気穴(リーク穴)を持つと共に安価に作製することができる。
【解決手段】シリコンマイクロホンパッケージ1は、シリコンマイクロホンチップ2が実装される立体回路基板4と、立体回路基板4に設置される第1の封止用蓋5及び第2の封止用蓋6を備える。立体回路基板4は受音用の開口部4aとビアホール4bを有し、第2の封止用蓋6は溝部6aと溝部6aが臨む通気用の開口部6bを有する。第1の封止用蓋5は、シリコンマイクロホンチップ2を覆って設置され、第1の封止用蓋5と立体回路基板4に囲まれた空間がキャビティ7となる。第2の封止用蓋6は、通気用の開口部6bを受音用の開口部4aに合せ、かつ、溝部6aをビアホール4bに合せて設置され、ビアホール4b、溝部6a、及び通気用の開口部6bがキャビティ7の通気穴8となる。
【選択図】図1
【解決手段】シリコンマイクロホンパッケージ1は、シリコンマイクロホンチップ2が実装される立体回路基板4と、立体回路基板4に設置される第1の封止用蓋5及び第2の封止用蓋6を備える。立体回路基板4は受音用の開口部4aとビアホール4bを有し、第2の封止用蓋6は溝部6aと溝部6aが臨む通気用の開口部6bを有する。第1の封止用蓋5は、シリコンマイクロホンチップ2を覆って設置され、第1の封止用蓋5と立体回路基板4に囲まれた空間がキャビティ7となる。第2の封止用蓋6は、通気用の開口部6bを受音用の開口部4aに合せ、かつ、溝部6aをビアホール4bに合せて設置され、ビアホール4b、溝部6a、及び通気用の開口部6bがキャビティ7の通気穴8となる。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば、携帯電話、補聴器、車載用の音響センサ、超音波センサの受波装置などに用いられるシリコンマイクロホンパッケージに関するものである。
従来から、コンデンサマイクロホンにエレクトレットコンデンサマイクロホンを用いたエレクトレットコンデンサマイクロホンパッケージがある。このエレクトレットコンデンサマイクロホンパッケージは、部品点数が多く、また、樹脂材料やプリント基板などの存在のために、全体を小型軽量薄型化するのが困難である。さらに、コンデンサ部の振動板と振動板リングは接着剤で貼り合わせているために、高い信頼性が要求される車載用の音響センサには不向きとされている。
そこで、コンデンサマイクロホンに耐環境性の良いシリコンマイクロホンチップを用いたシリコンマイクロホンパッケージが注目されている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1のシリコンマイクロホンパッケージでは、印刷回路基板に穴をあけて、その穴をキャビティとしている。つまり、印刷回路基板に穴をあけて、印刷回路基板自体にキャビティを形成している。
特表2004−537182号公報
しかしながら、上述した特許文献1に記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいては、キャビティとするための穴を印刷回路基板に形成するのが困難である。また、シリコンマイクロホンパッケージの受音特性を向上するには、キャビティを大きくすると共に、キャビティと外部空間とを連通する通気穴(外部空間とキャビティ内の外圧/内圧差を調整するためのリーク穴)を設けるのが良く、通気穴はキャビティの大きさに対して十分に細くするのが望ましい。
ところが、上述した特許文献1に記載のシリコンマイクロホンパッケージのように印刷回路基板に形成した穴をキャビティとするのでは、キャビティを大きくすることが困難であると共に、キャビティの大きさに対して十分に細い通気穴を形成するのも困難であるため、優れた受音特性を得ることができない。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、優れた受音特性を得ることができるキャビティ及び通気穴(リーク穴)を持つと共に安価に作製することができるシリコンマイクロホンパッケージを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために請求項1の発明は、シリコンマイクロホンチップを立体回路基板に実装したシリコンマイクロホンチップパッケージにおいて、受音用の開口部を持ち、該開口部上にシリコンマイクロホンチップを実装した立体回路基板と、立体回路基板上にシリコンマイクロホンチップを覆ってキャビティを形成するように設置される第1の封止用蓋と、立体回路基板下に設置され、裏面に、キャビティを外部空間と連通するための通気穴を形成するための溝部と、この溝部が臨み外部空間に開口する通気用の開口部とが設けられた第2の封止用蓋とを備え、立体回路基板には、通気穴となるビアホールが設けられ、第2の封止用蓋は、通気用の開口部が受音用の開口部と合わさり、かつ、溝部がビアホールに合わさるように設置されるものである。
請求項2の発明は、請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいて、第2の封止用蓋は、キャップ形状であり、立体回路基板全体を覆うように設けられ、シールド性を持たせたものである。
請求項3の発明は、請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいて、立体回路基板には、端子用のパッドが形成され、このパッドと第1の封止用蓋とが略同一平面となるように該蓋設置用の段差を設けたものである。
請求項4の発明は、請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいて、立体回路基板の回路形状を受音用の開口部と同じ側に引き出すことにより、受音用の開口部とシリコンマイクロホンチップの端子の面方向とが同一面側となるようにしたものである。
請求項5の発明は、請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいて、立体回路基板の回路形状を受音用の開口部と反対側に引き出すことにより、受音用の開口部とシリコンマイクロホンチップの端子の面方向とが互いに反対面側となるようにしたものである。
請求項1の発明によれば、第1の封止用蓋を立体回路基板上に設置することにより、第1の封止用蓋と立体回路基板に包囲された空間がキャビティとなるため、大きいキャビティを容易に形成することができる。また、第2の封止用蓋を立体回路基板下に設置することにより、立体回路基板のビアホール、第2の封止用蓋の溝部、及び第2の封止用蓋の通気用の開口部がキャビティと外部空間とを連通する通気穴(リーク穴)となるため、キャビティの大きさに対して十分に細い通気穴を容易に形成することができる。従って、優れた受音特性を得るためのキャビティ及び通気穴を容易に形成することができ、優れた受音特性を発揮できるシリコンマイクロホンパッケージを安価に作製することができる。
請求項2の発明によれば、第2の封止用蓋が電磁ノイズをシールドする役割を果たす。
請求項3の発明によれば、立体回路基板に設置された第1の封止用蓋は端子用のパッドよりも突出しないため、シリコンマイクロホンパッケージを実装基板に実装するときに第1の封止用蓋が障害にならず、シリコンマイクロホンパッケージを実装基板に容易に実装することができる。
請求項4の発明によれば、シリコンマイクロホンチップの端子の面方向と同一面側から音響信号(空気中を伝播する音)を受音することができる。
請求項5の発明によれば、シリコンマイクロホンチップの端子の面方向と反対面側から音響信号を受音することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態によるシリコンマイクロホンパッケージについて図面を参照して説明する。図1は、シリコンマイクロホンパッケージの構成を、図2は、シリコンマイクロホンパッケージの立体回路基板の構成を、図3は、シリコンマイクロホンパッケージの第1の封止用蓋の構成を、図4は、シリコンマイクロホンパッケージの第2の封止用蓋の構成をそれぞれ示す。シリコンマイクロホンパッケージ1は、例えば、携帯電話、補聴器、車載用の音響センサ、超音波センサの受波装置などに用いられ、音響信号(空気中を伝播する音)を電気信号に変換出力する装置である。
シリコンマイクロホンパッケージ1は、音響信号を静電容量の変化として検出するシリコンマイクロホンチップ2と、シリコンマイクロホンチップ2により検出された音響信号を電気信号に変換出力する電界効果トランジスタ3と、シリコンマイクロホンチップ2及び電界効果トランジスタ3が実装される立体回路基板4と、立体回路基板4に設置される第1の封止用蓋5及び第2の封止用蓋6とを備えている。
このシリコンマイクロホンパッケージ1は、立体回路基板4及び第1の封止用蓋5に包囲された空間によってキャビティ7が形成されており、また、キャビティ7を外部空間と連通するための通気穴(リーク穴)8が形成されている。これらキャビティ7及び通気穴8は、音響信号の受音特性を向上するためのものであり、優れた受音特性を得るには、キャビティ7を大きくし、また、通気穴8をキャビティ7の大きさに対して十分に細くするのが望ましい。シリコンマイクロホンパッケージ1は、実装基板9に実装されて用いられる。
シリコンマイクロホンチップ2は、半導体製造技術を利用してシリコンを加工することにより作製されたものであり、基台部21と、振動膜22と、スペーサ23と、固定膜24とを有している。基台部21には、受音穴2aが形成されており、振動膜22は、受音穴2aに臨む位置に設けられている。固定膜24は、スペーサ23を介して振動膜22と重なるように設けられており、振動膜22と固定膜24との間には、間隙が設けられている。基台部21及びスペーサ23は絶縁性を有しており、振動膜22及び固定膜24は導電性を有している。シリコンマイクロホンチップ2は、振動膜22及び固定膜24の静電容量の変化により音響信号を検出する。電界効果トランジスタ3は、シリコンマイクロホンチップ2の振動膜22及び固定膜24の静電容量の変化、すなわちシリコンマイクロホンチップ2により検出された音響信号を電気信号に変換出力する。
立体回路基板4は、図2に示されるように、セラミック回路基板の積層により形成されたものであり、略矩形の底壁41と、底壁41から連続すると共に底壁41の外周方向に連続する周側壁42とを有し、略矩形の箱状をしている。底壁41及び周側壁42は、絶縁性の材料により形成されている。底壁41(すなわち立体回路基板4)には、音響信号を導入するための受音用の開口部4aと、通気穴8を形成するためのビアホール4bとが設けられており、周側壁42の上端縁には、第1の封止用蓋5を設置するための蓋設置用の段差4cが設けられている。
また、立体回路基板4は、シリコンマイクロホンチップ2及び電界効果トランジスタ3を電気的に接続する実装用配線43と、第1の封止用蓋5に電磁ノイズのシールド性を持たせるために第1の封止用蓋5を電気的に接続するシールド用配線44と、実装基板9上の回路91と電気的に接続される端子用パッド45a、45bと、実装用配線43及びシールド用配線44と端子用パッド45a、45bとを電気的に接続する通電回路配線46とを備えている。
実装用配線43は、底壁41の表面に設けられており、シールド用配線44は、蓋設置用の段差4cの表面に設けられている。端子用パッド45a、45bは、立体回路基板4の回路形状を受音用の開口部4aと反対側に引き出して、周側壁42の上端縁(受音用の開口部4aと反対側)に設けられている。つまり、受音用の開口部4aと端子用パッド45a、45bの面方向とが互いに反対面側となっている。上記蓋設置用の段差4cは、第1の封止用蓋5を設置したときに、第1の封止用蓋5が端子用パッド45a、45bよりも突出することがなく、第1の封止用蓋5と端子用パッド45a、45bとが略同一平面となるように設けられている。通電回路配線46は、底壁41及び周側壁42内に設けられている。シールド用配線44及び端子用パッド45bはグランド接続用である。
上記シリコンマイクロホンチップ2は、受音穴2aを立体回路基板4の底壁41側にして、受音穴2aが立体回路基板4の受音用の開口部4aに合わさるように、受音用の開口部4a上に設置され、シリコン系ダイボンド剤28により立体回路基板4に接合され、ワイヤ29a、29bによりワイヤボンディング実装される。また、上記電界効果トランジスタ3は、導電性接着剤又は半田(不図示)により立体回路基板4に接合される。なお、電界効果トランジスタ3の接合位置は、ビアホール4bを塞がないように、平面視で見てビアホールからずれている。
第1の封止用蓋5は、図3に示されるように、導電性材料により形成されており、略矩形の平板状をしている。第1の封止用蓋5は、立体回路基板4の蓋設置用の段差4c上に設置されて、シリコンマイクロホンチップ2、電界効果トランジスタ3、及び立体回路基板4のビアホール4bを覆う。このように第1の封止用蓋5を立体回路基板4に設置することにより、第1の封止用蓋5及び立体回路基板4によって、シリコンマイクロホンチップ2の受音穴2aと反対側の領域が外部空間から遮蔽される。つまり、第1の封止用蓋5及び立体回路基板4によってキャビティ7が形成され、第1の封止用蓋5及び立体回路基板4により囲まれた空間がキャビティ7となる。
また、第1の封止用蓋5は、立体回路基板4の蓋設置用の段差4cの表面に形成されているシールド用配線44と導電性接着剤又は半田(不図示)により電気的に接続され、これにより、第1の封止用蓋5が電磁ノイズをシールドする役割を果たす。また、第1の封止用蓋5の周縁(外周全周)と立体回路基板4は、封止樹脂59により封止され、これにより、キャビティ7の遮蔽性が高められる。なお、第1の封止用蓋5と立体回路基板4は、封止樹脂59に代えて、第1の封止用蓋5を立体回路基板4のシールド用配線44と導電性接着剤又は半田により電気的に接続する工程において、それら導電性接着剤又は半田によって封止してもよい。第1の封止用蓋5を蓋設置用の段差4cに設置した状態では、第1の封止用蓋5は、端子用パッド45a、45bよりも突出せず、端子用パッド45a、45bと略同一平面となる。
第2の封止用蓋6は、図4に示されるように、導電性材料により形成されており、略矩形の平板状をしている。第2の封止用蓋6の裏面には、通気穴8を形成するための通気用の溝部6aと、この溝部6aが臨み外部空間に開口する通気用の開口部6bとが設けられている。
第2の封止用蓋6は、溝部6aが立体回路基板4のビアホール4bに合わさり、かつ、通気用の開口部6bが立体回路基板4の受音用の開口部4aと合わさるように、立体回路基板4に設置される。このように第2の封止用蓋6を立体回路基板4に設置することにより、立体回路基板4のビアホール4b、第2の封止用蓋6の溝部6a、及び第2の封止用蓋6の通気用の開口部6bによって、キャビティ7と外部空間とを連通するリーク経路(図1の矢印Aで示す経路)が形成される。つまり、立体回路基板4のビアホール4b、第2の封止用蓋6の溝部6a、及び第2の封止用蓋6の通気用の開口部6bによって、キャビティ7と外部空間とを連通する通気穴(リーク穴)8が形成される。なお、第2の封止用蓋6は、封止樹脂69により立体回路基板4に固定される。
音響信号(音)は、実装基板9と反対側から導入され、図1の矢印B方向に、第2の封止用蓋6の通気用の開口部6b、立体回路基板4の受音用の開口部4a、及びシリコンマイクロホンチップ2の受音穴2aを経由して、シリコンマイクロホンチップ2の振動膜22に与えられる。振動膜22に音響信号が与えられると、その音響信号によって振動膜22が振動して振動膜22及び固定膜24の静電容量が変化し、これによって、シリコンマイクロホンパッケージ1は音響信号を検出する。
上記のように構成されたシリコンマイクロホンパッケージ1においては、第1の封止用蓋5を立体回路基板4に設置することにより、第1の封止用蓋5及び立体回路基板4により囲まれた空間がキャビティ7となるため、大きいキャビティ7を容易に形成することができる。また、第2の封止用蓋6を立体回路基板4に設置することにより、立体回路基板4のビアホール4b、第2の封止用蓋6の溝部6a、及び第2の封止用蓋6の通気用の開口部6bがキャビティ7と外部空間とを連通する通気穴(リーク穴)8となるため、キャビティ7の大きさに対して十分に細い通気穴8を容易に形成することができる。従って、優れた受音特性を得るためのキャビティ7及び通気穴8を容易に形成することができ、優れた受音特性を発揮できるシリコンマイクロホンパッケージ1を安価に作製することができる。
また、立体回路基板4に蓋設置用の段差4cを設けて、第1の封止用蓋5を蓋設置用の段差4cに設置することにより、第1の封止用蓋5が端子用パッド45a、45bと略同一平面になり端子用パッド45a、45bよりも突出しないため、シリコンマイクロホンパッケージ1を実装基板9に実装するときに第1の封止用蓋5が障害にならず、シリコンマイクロホンパッケージ1を実装基板9に容易に実装することができる。また、端子用パッド45a、45bを受音用の開口部4aと反対側に設けているため、端子用パッド45a、45bの面方向と反対面側(実装基板9と反対側)から音響信号を受音することができる。
図5は、シリコンマイクロホンパッケージ1の別の構成例を示す。このシリコンマイクロホンパッケージ1では、第2の封止用蓋6は、キャップ形状であり、立体回路基板4全体を覆うように設けられて、電磁ノイズのシールド性を持たせている。シリコンマイクロホンパッケージ1の他の構成については、上記図1乃至図4の構成と同様である。
このように構成されたシリコンマイクロホンパッケージ1においては、第1の封止用蓋5に加え、第2の封止用蓋6が立体回路基板4全体を覆って電磁ノイズをシールドする役割を果たすため、電磁ノイズのシールド性を高めることができる。
図6は、シリコンマイクロホンパッケージ1のさらに別の構成例を示す。このシリコンマイクロホンパッケージ1では、端子用パッド45a、45bは、立体回路基板4の回路形状を受音用の開口部4aと同じ側に引き出して、周側壁42の下端縁(受音用の開口部4aと同じ側)に設けられている。つまり、受音用の開口部4aと端子用パッド45a、45bの面方向とが同一面側となっている。
また、このシリコンマイクロホンパッケージ1では、蓋設置用の段差4cは、立体回路基板4の周側壁42の下端縁に設けられており、蓋設置用の段差4cには、第2の封止用蓋6が設置される。第2の封止用蓋6を蓋設置用の段差4cに設置した状態では、第2の封止用蓋6は、端子用パッド45a、45bよりも突出せず、端子用パッド45a、45bと略同一平面となる。
音響信号は、実装基板9側から導入され、図6の矢印B方向に、実装基板9の受音用スペース9a、第2の封止用蓋6の通気用の開口部6b、立体回路基板4の受音用の開口部4a、及びシリコンマイクロホンチップ2の受音穴2aを経由して、シリコンマイクロホンチップ2の振動膜22に与えられる。シリコンマイクロホンパッケージ1の他の構成については、上記図1乃至図4の構成と同様である。
このように構成されたシリコンマイクロホンパッケージ1においては、端子用パッド45a、45bを受音用の開口部4aと同じ側に設けているため、端子用パッド45a、45bの面方向と同一面側(実装基板9側)から音響信号を受音することができる。また、立体回路基板4に蓋設置用の段差4cを設けて、第2の封止用蓋6を蓋設置用の段差4cに設置することにより、第2の封止用蓋6が端子用パッド45a、45bと略同一平面になり端子用パッド45a、45bよりも突出しないため、シリコンマイクロホンパッケージ1を実装基板9に実装するときに第2の封止用蓋6が障害にならず、シリコンマイクロホンパッケージ1を実装基板9に容易に実装することができる。
なお、本発明は、上記実施形態の構成に限られず、種々の変形が可能である。例えば、立体回路基板4は、セラミック回路基板の積層により形成したものに代えて、樹脂の射出成形品上に3次元形状で回路を形成したものであってもよい。電界効果トランジスタ3は、キャビティ7の外部に配置して、実装基板9に実装してもよい。シリコンマイクロホンチップ2は、シリコン系ダイボンド剤28による接合、及びワイヤ29a、29bによるワイヤボンディング実装に代えて、フリップチップ実装してもよい。
1 シリコンマイクロホンパッケージ
2 シリコンマイクロホンチップ
2a 受音穴
3 電界効果トランジスタ
4 立体回路基板
4a 受音用の開口部
4b ビアホール
4c 蓋設置用の段差
5 第1の封止用蓋
6 第2の封止用蓋
6a 通気用の溝部
6b 通気用の開口部
7 キャビティ
8 通気穴
9 実装基板
45a、45b 端子用パッド
2 シリコンマイクロホンチップ
2a 受音穴
3 電界効果トランジスタ
4 立体回路基板
4a 受音用の開口部
4b ビアホール
4c 蓋設置用の段差
5 第1の封止用蓋
6 第2の封止用蓋
6a 通気用の溝部
6b 通気用の開口部
7 キャビティ
8 通気穴
9 実装基板
45a、45b 端子用パッド
Claims (5)
- シリコンマイクロホンチップを立体回路基板に実装したシリコンマイクロホンチップパッケージにおいて、
受音用の開口部を持ち、該開口部上にシリコンマイクロホンチップを実装した立体回路基板と、
前記立体回路基板上に前記シリコンマイクロホンチップを覆ってキャビティを形成するように設置される第1の封止用蓋と、
前記立体回路基板下に設置され、裏面に、前記キャビティを外部空間と連通するための通気穴を形成するための溝部と、この溝部が臨み外部空間に開口する通気用の開口部とが設けられた第2の封止用蓋とを備え、
前記立体回路基板には、前記通気穴となるビアホールが設けられ、
前記第2の封止用蓋は、前記通気用の開口部が前記受音用の開口部と合わさり、かつ、前記溝部が前記ビアホールに合わさるように設置されることを特徴とするシリコンマイクロホンパッケージ。 - 前記第2の封止用蓋は、キャップ形状であり、前記立体回路基板全体を覆うように設けられ、シールド性を持たせたことを特徴とする請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージ。
- 前記立体回路基板には、端子用のパッドが形成され、このパッドと前記第1の封止用蓋とが略同一平面となるように該蓋設置用の段差を設けたことを特徴とする請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージ。
- 前記立体回路基板の回路形状を前記受音用の開口部と同じ側に引き出すことにより、前記受音用の開口部と前記シリコンマイクロホンチップの端子の面方向とが同一面側となるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージ。
- 前記立体回路基板の回路形状を前記受音用の開口部と反対側に引き出すことにより、前記受音用の開口部と前記シリコンマイクロホンチップの端子の面方向とが互いに反対面側となるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005244393A JP2007060389A (ja) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | シリコンマイクロホンパッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005244393A JP2007060389A (ja) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | シリコンマイクロホンパッケージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007060389A true JP2007060389A (ja) | 2007-03-08 |
Family
ID=37923458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005244393A Withdrawn JP2007060389A (ja) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | シリコンマイクロホンパッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007060389A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007158044A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Yamaha Corp | 蓋体及び半導体装置 |
JP2008271426A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 音響センサ |
JP2010538517A (ja) * | 2007-09-03 | 2010-12-09 | ビーエスイー カンパニー リミテッド | セラミックパッケージを用いたコンデンサマイクロホン |
US7868402B2 (en) | 2007-05-15 | 2011-01-11 | Industrial Technology Research Institute | Package and packaging assembly of microelectromechanical system microphone |
US7923791B2 (en) | 2007-05-15 | 2011-04-12 | Industrial Technology Research Institute | Package and packaging assembly of microelectromechanical system microphone |
CN101316462B (zh) * | 2007-06-01 | 2012-11-28 | 财团法人工业技术研究院 | 微机电系统麦克风封装体及其封装组件 |
US8344489B2 (en) | 2005-12-06 | 2013-01-01 | Yamaha Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
TWI465164B (zh) * | 2009-06-05 | 2014-12-11 | Unimicron Technology Corp | 線路板結構及其製作方法 |
JP2015530790A (ja) * | 2012-08-01 | 2015-10-15 | ノールズ エレクトロニクス,リミテッド ライアビリティ カンパニー | アセンブリの蓋部上に配置したmems装置 |
JP2016520264A (ja) * | 2013-04-24 | 2016-07-11 | ノールズ エレクトロニクス,リミテッド ライアビリティ カンパニー | 脱ガス用開口部を備えたmemsマイクロホン及びその製造方法 |
CN113415781A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 | 双mems芯片封装结构和双mems芯片封装方法 |
-
2005
- 2005-08-25 JP JP2005244393A patent/JP2007060389A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007158044A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Yamaha Corp | 蓋体及び半導体装置 |
US8344489B2 (en) | 2005-12-06 | 2013-01-01 | Yamaha Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP2008271426A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 音響センサ |
US7868402B2 (en) | 2007-05-15 | 2011-01-11 | Industrial Technology Research Institute | Package and packaging assembly of microelectromechanical system microphone |
US7923791B2 (en) | 2007-05-15 | 2011-04-12 | Industrial Technology Research Institute | Package and packaging assembly of microelectromechanical system microphone |
CN101316462B (zh) * | 2007-06-01 | 2012-11-28 | 财团法人工业技术研究院 | 微机电系统麦克风封装体及其封装组件 |
JP2010538517A (ja) * | 2007-09-03 | 2010-12-09 | ビーエスイー カンパニー リミテッド | セラミックパッケージを用いたコンデンサマイクロホン |
TWI465164B (zh) * | 2009-06-05 | 2014-12-11 | Unimicron Technology Corp | 線路板結構及其製作方法 |
JP2015530790A (ja) * | 2012-08-01 | 2015-10-15 | ノールズ エレクトロニクス,リミテッド ライアビリティ カンパニー | アセンブリの蓋部上に配置したmems装置 |
JP2016520264A (ja) * | 2013-04-24 | 2016-07-11 | ノールズ エレクトロニクス,リミテッド ライアビリティ カンパニー | 脱ガス用開口部を備えたmemsマイクロホン及びその製造方法 |
CN113415781A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-21 | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 | 双mems芯片封装结构和双mems芯片封装方法 |
CN113415781B (zh) * | 2021-06-17 | 2023-05-23 | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 | 双mems芯片封装结构和双mems芯片封装方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007060389A (ja) | シリコンマイクロホンパッケージ | |
US8526665B2 (en) | Electro-acoustic transducer comprising a MEMS sensor | |
US8520878B2 (en) | Microphone unit | |
US8625832B2 (en) | Packages and methods for packaging microphone devices | |
US8620014B2 (en) | Microphone | |
CN102742301B (zh) | 微机电换能器及对应组装工艺 | |
US9648427B2 (en) | MEMS microphone | |
US8779535B2 (en) | Packaged integrated device die between an external and internal housing | |
JP2008271425A (ja) | 音響センサおよびその製造方法 | |
JP2008271426A (ja) | 音響センサ | |
CN104254045A (zh) | 用于麦克风组件的预制模及其制造方法 | |
JP4655017B2 (ja) | 音響センサ | |
JP2007150514A (ja) | マイクロホンパッケージ | |
JP2007060285A (ja) | シリコンマイクロホンパッケージ | |
JP6311800B2 (ja) | 拡大されたバックチャンバを備えたマイクロホンおよび製造方法 | |
JP2014207538A (ja) | マイクロフォン | |
JP2011114506A (ja) | マイクロホンユニット | |
JP2009038053A (ja) | 半導体センサ装置 | |
GB2555659A (en) | Package for MEMS device and process | |
US10051355B2 (en) | Circuit board for a microphone component part, and microphone module having such a circuit board | |
EP3624468A2 (en) | Micro-electrical mechanical system sensor package and method of manufacture thereof | |
JP5402320B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
JP2007060228A (ja) | シリコンマイクロホンパッケージ | |
JP5515700B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
JP2011124748A (ja) | マイクロホンユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20081104 |