JP5515700B2 - マイクロホンユニット - Google Patents
マイクロホンユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP5515700B2 JP5515700B2 JP2009276807A JP2009276807A JP5515700B2 JP 5515700 B2 JP5515700 B2 JP 5515700B2 JP 2009276807 A JP2009276807 A JP 2009276807A JP 2009276807 A JP2009276807 A JP 2009276807A JP 5515700 B2 JP5515700 B2 JP 5515700B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting member
- opening
- microphone unit
- diaphragm
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
11 搭載部材
11a 搭載面
12 MEMSチップ(電気音響変換部)
14 支持部
21 第1の開口
22 第2の開口
23 内部空間
23a 上壁(内部空間の内壁)
23b 下壁(内部空間の内壁)
30 蓋体
31 第1音孔
32 第2音孔
111 第1基板(搭載部材の一部)
112 第2基板(搭載部材の一部)
113 樹脂成形部材(搭載部材の一部)
122 振動板
122a 振動板の上面(振動板の一方の面)
122b 振動板の下面(振動板の他方の面)
301 第1空間
302 第2空間
Claims (5)
- 音圧によって変位する振動板を有して音信号を電気信号に変換する電気音響変換部と、
前記電気音響変換部が搭載される搭載部材と、
を備え、
前記搭載部材の前記電気音響変換部が搭載される搭載面には、第1の開口と第2の開口とが設けられ、
前記電気音響変換部は、前記振動板の音圧が加わる面と前記搭載面とが略平行になると共に、前記第1の開口を覆うように前記搭載部材に搭載され、
前記搭載部材には、前記第1の開口と前記第2の開口とを連通する内部空間が設けられ、
前記搭載面に略直交する方向に平面視して、前記内部空間には、対向して重なる2つの内壁に挟持される支持部が前記電気音響変換部に重なるように設けられていることを特徴とするマイクロホンユニット。 - 音圧によって変位する振動板を有して音信号を電気信号に変換する電気音響変換部と、
前記電気音響変換部が搭載される搭載部材と、
第1空間と前記第1空間とは隔離された第2空間とが設けられる蓋体と、
を備え、
前記搭載部材の前記電気音響変換部が搭載される搭載面には、第1の開口と第2の開口とが設けられ、
前記電気音響変換部は、前記振動板の音圧が加わる面と前記搭載面とが略平行になると共に、前記第1の開口を覆うように前記搭載部材に搭載され、
前記搭載部材には、前記第1の開口と前記第2の開口とを連通する内部空間が設けられ、
前記搭載面に略直交する方向に平面視して、前記内部空間には、対向して重なる2つの内壁に挟持される支持部が設けられており、
前記蓋体は、前記第1空間が前記電気音響変換部によって前記内部空間と仕切られると共に、前記第2空間が前記第2の開口を介して前記内部空間と連通するように前記搭載部材に搭載され、
前記振動板の一方の面は前記第1空間と前記蓋体に設けられる第1音孔とを介して外部に連通し、
前記振動板の他方の面は、前記第1の開口、前記内部空間、前記第2の開口、前記第2空間、及び前記蓋体に設けられる第2音孔を介して外部と連通していることを特徴とするマイクロホンユニット。 - 前記搭載部材は、複数の部材からなることを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロホンユニット。
- 前記搭載部材は、複数の基板を貼り合わせてなることを特徴とする請求項3に記載のマイクロホンユニット。
- 前記支持部は、前記複数の基板のうちの一つに一体的に形成されていることを特徴とする請求項4に記載のマイクロホンユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009276807A JP5515700B2 (ja) | 2009-12-04 | 2009-12-04 | マイクロホンユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009276807A JP5515700B2 (ja) | 2009-12-04 | 2009-12-04 | マイクロホンユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011120097A JP2011120097A (ja) | 2011-06-16 |
JP5515700B2 true JP5515700B2 (ja) | 2014-06-11 |
Family
ID=44284850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009276807A Expired - Fee Related JP5515700B2 (ja) | 2009-12-04 | 2009-12-04 | マイクロホンユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5515700B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI804009B (zh) * | 2021-10-19 | 2023-06-01 | 香港商睿克科技有限公司 | 分隔式微機電系統麥克風結構及其製造方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8577063B2 (en) | 2010-02-18 | 2013-11-05 | Analog Devices, Inc. | Packages and methods for packaging MEMS microphone devices |
US8779535B2 (en) * | 2012-03-14 | 2014-07-15 | Analog Devices, Inc. | Packaged integrated device die between an external and internal housing |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001186593A (ja) * | 1999-12-22 | 2001-07-06 | Primo Co Ltd | コンデンサマイクロフォン |
JP4331652B2 (ja) * | 2004-06-30 | 2009-09-16 | スター精密株式会社 | コンデンサマイクロホン |
EP2252075A4 (en) * | 2008-02-08 | 2014-10-29 | Funai Electric Co | MICROPHONE UNIT |
-
2009
- 2009-12-04 JP JP2009276807A patent/JP5515700B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI804009B (zh) * | 2021-10-19 | 2023-06-01 | 香港商睿克科技有限公司 | 分隔式微機電系統麥克風結構及其製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011120097A (ja) | 2011-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8520878B2 (en) | Microphone unit | |
JP5636796B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
JP5691181B2 (ja) | マイクロホンユニット、及び、それを備えた音声入力装置 | |
JP5321111B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
JP5022261B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
WO2011152299A1 (ja) | マイクロホンユニット及びそれを備えた音声入力装置 | |
US20080219482A1 (en) | Condenser microphone | |
WO2010067834A1 (ja) | マイクロホンユニット及びそれを備えた音声入力装置 | |
WO2010090070A1 (ja) | マイクロホンユニット | |
WO2011152212A1 (ja) | 電気音響変換素子搭載基板及びマイクロホンユニット、並びにそれらの製造方法 | |
JP2011114506A (ja) | マイクロホンユニット | |
JP2007060389A (ja) | シリコンマイクロホンパッケージ | |
JP5636795B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
JP4416835B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
JP5402320B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
JP5515700B2 (ja) | マイクロホンユニット | |
US20150139467A1 (en) | Acoustic device and microphone package including the same | |
JP2011124748A (ja) | マイクロホンユニット | |
JP2008211466A (ja) | マイクロホン用パッケージ、マイクロホン搭載体、マイクロホン装置 | |
KR102307550B1 (ko) | 마이크로폰 패키지 | |
KR20080071340A (ko) | 세라믹 패키지를 이용한 콘덴서 마이크로폰 | |
KR20240008497A (ko) | 멤스 마이크로폰 패키지 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121009 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130723 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130924 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140304 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5515700 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |