JP2007150514A - マイクロホンパッケージ - Google Patents
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Abstract
【課題】マイクロホンパッケージにおいて、寸法精度の安定したリークを備えて音響特性を良好に安価に実現する。
【解決手段】回路基板2と、回路基板2上に実装したマイクロホンチップ3と、マイクロホンチップ3の上部周辺に空間を形成するように当該マイクロホンチップ3を包囲して回路基板2に封止実装したケース7と、を備え、ケース7は、互いに嵌合して二重にして用いられる略同形状の大小の2つのケース5,6から成り、それぞれ貫通孔8,9を有し、これらの2つのケース5,6を嵌合した状態で2つの貫通孔8,9が連通されて通気孔が形成されるように2つのケース5,6の接合面に溝10が形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】回路基板2と、回路基板2上に実装したマイクロホンチップ3と、マイクロホンチップ3の上部周辺に空間を形成するように当該マイクロホンチップ3を包囲して回路基板2に封止実装したケース7と、を備え、ケース7は、互いに嵌合して二重にして用いられる略同形状の大小の2つのケース5,6から成り、それぞれ貫通孔8,9を有し、これらの2つのケース5,6を嵌合した状態で2つの貫通孔8,9が連通されて通気孔が形成されるように2つのケース5,6の接合面に溝10が形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、携帯電話、補聴器、車載用の音響センサ、超音波センサの受波装置などに用いられるマイクロホンパッケージに関する。
近年、従来のエレクトレットコンデンサマイクロホンに比べて小型薄型軽量化が可能で耐環境性に優れたシリコンマイクロホンチップを用いたマイクロホンパッケージが注目されている。このようなマイクロホンパッケージとして、印刷回路基板に凹部を形成し、その凹部を圧力リファレンスを提供するキャビティとしたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特表2004−537182号公報
しかしながら、上述した特許文献1に示されるようなマイクロホンパッケージにおいては、印刷回路基板にキャビティや、キャビティと外界との通気を行って音響特性を維持するためのリーク孔等の音響特性に影響を及ぼす形状を精度良く設けることは難しく、小型化等が困難である。
本発明は、上記課題を解消するものであって、寸法精度の安定したリーク孔とキャビティを備えて音響特性を良好に保持した安価なマイクロホンパッケージを提供することを目的とする。
上記課題を達成するために、本発明は、回路基板と、前記回路基板上に実装したマイクロホンチップと、前記マイクロホンチップの上部周辺に空間を形成するように当該マイクロホンチップを包囲して前記回路基板に封止実装したケースと、を備えたマイクロホンパッケージにおいて、前記ケースは、互いに嵌合して二重にして用いられる略同形状の大小の2つのケースから成り、それぞれ貫通孔を有し、これらの2つのケースを嵌合した状態で前記2つの貫通孔が連通されて通気孔が形成されるように前記2つのケースの接合面に溝が形成されているものである。
本発明によれば、互いに嵌合して二重にした2つのケースの接合面に形成した溝によって通気口が形成されているので、通気口に所望の排気抵抗を備えることができ、所望の音響効果を付与したマイクロホンパッケージを安価に実現できる。
以下、本発明の一実施形態に係るマイクロホンパッケージについて、図面を参照して説明する。図1は本発明のマイクロホンパッケージ1を示し、図2(a)はパッケージ1の回路基板2を示し、図2(b)(c)はそれぞれ内側及び外側のケース5,6を示す。マイクロホンパッケージ1は、携帯電話、補聴器、車載用の音響センサ、超音波センサの受波装置などに用いられ、音響信号(空気中を伝播する音)を電気信号に変換出力する装置である。
このマイクロホンパッケージ1は、回路基板2と、回路基板2上に実装したマイクロホンチップ3と、マイクロホンチップ3の上部周辺に空間を形成するようにマイクロホンチップ3を包囲して回路基板2に封止実装したケース7とを備えている。また、ケース7は、互いに嵌合して二重にして用いられる略同形状の大小の2つのケース5,6から成り、それぞれ貫通孔8,9を有し、これらの2つのケース5,6を嵌合した状態で2つの貫通孔8,9が連通されて通気孔が形成されるように2つのケース5,6の接合面に溝10が形成されている。
このマイクロホンパッケージ1には、回路基板2及びケース7に包囲された空間によってキャビティ11が形成されている。また、ケース7の互いに離れた位置に設けられたそれぞれのケース5,6の貫通孔8,9と溝10によって、キャビティ11を外部空間と連通してキャビティ11の内圧/外圧差を調整するためのリーク経路が形成されている。これらキャビティ11及びリーク経路は、音響信号の受音特性を向上するためのものである。優れた受音特性を得るには、キャビティ11を大きくし、また、リーク経路をキャビティ11の大きさに対して十分に細くするのが望ましい。このようなマイクロホンパッケージ1は、回路基板の下部に設けられた回路パターン23を介して、他の基板に実装して用いられる。以下、各部の構成を説明する。
マイクロホンチップ3は、例えば、半導体製造技術を用いてシリコンウエハを加工することにより作製される。マイクロホンチップ3は、基台部31と、振動膜32と、スペーサ33と、固定膜34とを備えている。基台部31には、受音開口30が形成されており、振動膜32は、受音開口30に臨む側に設けられている。固定膜34は、スペーサ33を介して振動膜32に重ねて設けられており、振動膜32と固定膜34との間には、間隙が設けられている。基台部31及びスペーサ33は絶縁性であり、振動膜32及び固定膜34は導電性である。
回路基板2は、略矩形の平板状をした絶縁性の基板と、基板の上下両面に形成した回路パターン21,23と、基板の上下の回路パターンを電気的に接続する用に形成したビア22とを備えている。回路基板2には、電子部品4、例えば、電界効果トランジスタや2端子素子、及びマイクロホンチップ3が実装される。また、回路基板2は、受音用の開口20が形成されている。
マイクロホンチップ3は、受音開口30が回路基板2の開口20に合わさるように、回路基板2に実装されている。マイクロホンチップ3は、例えば、シリコン系ダイボンド剤35により回路基板2に接合され、ワイヤWによって回路基板2上の回路パターンにワイヤボンディング実装されている。
音響信号(音)は、図1の矢印a方向から入射し、開口20、受音開口30を通過して、マイクロホンチップ3の振動膜32に到達する。すると、音響信号によって振動膜32が振動して振動膜32と固定膜34との間の静電容量が変化し、これによって、マイクロホンチップ3が音響信号を検出する。
電子部品4は、導電性接着剤又は半田(不図示)により、回路基板2に接合されている。これらの電子部品4は、マイクロホンチップ3の振動膜32と固定膜34との間の静電容量の変化、すなわち検出された音響信号を電気信号に変換し、回路パターン23に出力する。
ケース7を構成する2つのケース5,6は略矩形の箱形状をしており、一方の小さくて内側となるケース5は絶縁性材料で形成され、他方の大きくて外側となるケース6は導電性材料で形成されている。これらは略密着した状態で嵌合して用いられる。ケース5,6の下端縁は、回路基板2に当接するように同一平面を形成している。ケース6の下端縁が回路基板2のグランド接続用の回路パターン21と導電性接着剤又は半田(不図示)により電気的に接続されている。これにより、ケース6が電磁ノイズをシールドする。また、ケース5は、その下端縁が回路基板2の表面に当接した状態で、下端縁の全周が封止樹脂61、又は、導電性接着剤や半田によって封止されている。これにより、キャビティ11の遮蔽性が高められる。
上述のように構成されたマイクロホンパッケージ1においては、ケース7を回路基板2上に設置することにより、ケース7と回路基板2に包囲された空間がキャビティ11となるので、大きいキャビティ11を容易に形成することができる。また、ケース7を、二重構造にすることにより、キャビティ11の大きさに対して十分に細いリーク経路を容易かつ確実に形成することができる。従って、優れた受音特性を発揮できるマイクロホンパッケージ1を安価に提供できる。
なお、本発明は、上記実施形態の構成に限られず、種々の変形が可能である。例えば、電子部品4の全部又は一部は、ケース7の外部に配置してもよい。ケース7と回路基板2とは、封止樹脂61に代えて、導電性接着剤又は半田によって封止してもよい。この場合、接地用の回路パターンをケース7との当接面にそって一周するように形成するのが望ましい。また、マイクロホンチップ3は、シリコン系ダイボンド剤35による接合、及びワイヤWによるワイヤボンディング実装に代えて、フリップチップ実装してもよい。また、内側のケース5を導電性材料で形成してもよい。この場合、ボンディング用のワイヤWがケース5に接触しないようにする必要がある。また、ケース5の下端縁だけを導電性としてもよい。また、ケース5,6の接合面に形成する溝10は、内側のケース5の外面に設けてもよく、ケース6の内面とケース5の外面の両方に設けてもよい。
1 マイクロホンパッケージ
2 回路基板
3 マイクロホンチップ
5,6,7 ケース
8,9 貫通孔
10 溝
2 回路基板
3 マイクロホンチップ
5,6,7 ケース
8,9 貫通孔
10 溝
Claims (1)
- 回路基板と、前記回路基板上に実装したマイクロホンチップと、前記マイクロホンチップの上部周辺に空間を形成するように当該マイクロホンチップを包囲して前記回路基板に封止実装したケースと、を備えたマイクロホンパッケージにおいて、
前記ケースは、互いに嵌合して二重にして用いられる略同形状の大小の2つのケースから成り、それぞれ貫通孔を有し、これらの2つのケースを嵌合した状態で前記2つの貫通孔が連通されて通気孔が形成されるように前記2つのケースの接合面に溝が形成されていることを特徴とするマイクロホンパッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005339974A JP2007150514A (ja) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | マイクロホンパッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005339974A JP2007150514A (ja) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | マイクロホンパッケージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007150514A true JP2007150514A (ja) | 2007-06-14 |
Family
ID=38211416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005339974A Withdrawn JP2007150514A (ja) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | マイクロホンパッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2005
- 2005-11-25 JP JP2005339974A patent/JP2007150514A/ja not_active Withdrawn
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