JP2013089967A5 - - Google Patents

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  1. 磁気センサであって、
    第1磁性層構造、第2磁性層構造、および前記第1磁性層構造と前記第2磁性層構造との間に挟まれた非磁性結合層を含む磁化固定層構造、
    磁化自由層構造、
    前記磁化自由層構造と前記磁化固定層構造との間に挟まれた非磁性障壁層、
    を備え、
    前記磁化固定層構造の前記第2磁性層構造は、第1、第2、第3および第4磁性下位層を備え、
    前記第1磁性下位層がCoを含み、かつ前記非磁性結合層に隣接して位置しており、
    前記第2磁性下位層がCoFeBTaを含み、かつ前記第1磁性下位層と接触しており、
    前記第3磁性下位層がCoFeBを含み、かつ前記第2磁性下位層と接触しており、
    前記第4磁性下位層が前記第3磁性下位層と接触しており、かつCoFeを含む、
    磁気センサ。
  2. 前記磁化固定層構造の前記第2磁性層構造が前記非磁性障壁層に隣接して位置する、
    請求項1記載の磁気センサ。
  3. 前記磁化自由層構造が第1、第2、第3および第4自由下位層を含み、
    前記第1自由下位層が前記非磁性障壁層上に形成されるとともにCoFeを含み、
    前記第2自由下位層が前記第1自由下位層上に形成されるとともにCoFeBを含み、
    前記第3自由下位層が前記第2自由下位層上に形成されるとともにCoHfを含み、
    前記第4自由下位層が前記第3自由下位層上に形成されるとともにNiFeを含み、x<10である、
    請求項1記載の磁気センサ。
  4. 前記第2磁性下位層が4〜6オングストロームの厚さを有する、
    請求項1記載の磁気センサ。
  5. 前記第1磁性下位層が約5オングストロームの厚さを有し、前記第2磁性下位層が約5オングストロームの厚さを有し、前記第3磁性下位層が約5オングストロームの厚さを有し、前記第4磁性下位層が約4.5オングストロームの厚さを有する、
    請求項1記載の磁気センサ。
  6. 前記CoFeBTaの層が、ある濃度の(Co40Fe4020100−XTaを有し、Xが4〜10の原子パーセントである、請求項1記載の磁気センサ。
  7. 前記CoFeBTaの層が、ある濃度の(Co60Fe2020100−XTaを有し、Xが4〜10原子パーセントである、請求項1記載の磁気センサ。
  8. 前記CoFeBTaの層が、ある濃度のCoFeTaを有し、Xが60原子パーセント以下であり、Yが30原子パーセント以下であり、Zが15原子パーセント以下である、請求項1記載の磁気センサ。
  9. 前記磁化自由層構造がCoFeBTaの層を含む、請求項1記載の磁気センサ。
  10. 前記磁化自由層構造が第1、第2、第3および第4磁化自由下位層を含み、
    前記第1磁化自由下位層が前記非磁性障壁層に隣接して位置しており、
    前記第2磁化自由下位層が前記第1磁化自由下位層と接触しており、
    前記第3磁化自由下位層が前記第2磁化自由下位層と接触しており、
    前記第4磁化自由下位層が前記第3磁化自由下位層と接触しており、
    前記第3磁化自由下位層がCoFeBTaを含む、
    請求項1記載の磁気センサ。
  11. 前記磁化自由層構造が第1、第2、第3および第4磁化自由下位層を含み、
    前記第1磁化自由下位層が前記非磁性障壁層に隣接して位置しており、
    前記第2磁化自由下位層が前記第1磁化自由下位層と接触しており、
    前記第3磁化自由下位層が前記第2磁化自由下位層と接触しており、
    前記第4磁化自由下位層が前記第3磁化自由下位層と接触しており、
    前記第1磁化自由下位層がCoFeを含み、
    前記第2磁化自由下位層がCoFeBを含み、
    前記第3磁化自由下位層がCoFeBTaを含み、
    前記第4磁化自由下位層がNiFeを含む、
    請求項1記載の磁気センサ。
  12. 前記磁化固定層構造における前記CoFeBTaの層が、ある濃度の(Co40Fe4020100−XTaを有し、4<X<10原子パーセントであり、
    前記磁化自由層構造における前記CoFeBTaの層が、ある濃度の(Co76Fe20(100−X)Ta(X)を有し、4<X<10原子パーセントである、
    請求項9記載の磁気センサ。
  13. 前記磁化固定層構造における前記CoFeBTaの層が、ある濃度の(Co60Fe2020(100−X)Ta(X)、4<X<10原子パーセントを有し、
    前記磁化自由層構造における前記CoFeBTaの層が、ある濃度のCo76Fe20(100−X)Ta(X)を有し、4<X<10原子パーセントである、
    請求項9記載の磁気センサ。
  14. 前記磁化自由層構造における前記CoFeBTaの層が、ある濃度のCoFeTaを有し、Xが10原子パーセント以下であり、Yが25原子パーセント以下であり、Zが10原子パーセント以下である、請求項9記載の磁気センサ。
  15. 磁気データ記録システムであって、
    磁気メディア、
    アクチュエータ、
    前記磁気メディアの表面に隣接した移動のために前記アクチュエータと接続されたスライダ、
    前記スライダ上に形成された磁気読み出しセンサ、
    を備え、
    前記磁気読み出しセンサは、
    第1磁性層構造、第2磁性層構造、および前記第1磁性層構造と前記第2磁性層構造との間に挟まれた非磁性結合層を含む磁化固定層構造、
    磁化自由層構造、
    前記磁化自由層構造と前記磁化固定層構造との間に挟まれた非磁性障壁層、
    をさらに備え、
    前記磁化固定層構造の前記第2磁性層構造は、第1、第2、第3および第4磁性下位層を備え、
    前記第1磁性下位層がCoを含み、かつ前記非磁性結合層に隣接して位置しており、
    前記第2磁性下位層がCoFeBTaを含み、かつ前記第1磁性下位層と接触しており、
    前記第3磁性下位層がCoFeBを含み、かつ前記第2磁性下位層と接触しており、
    前記第4磁性下位層が前記第3磁性下位層と接触しており、かつCoFeを含む、
    磁気データ記録システム。
  16. 前記磁化自由層構造がCoFeBTaの層を含む、請求項15記載の磁気データ記録システム。
JP2012228542A 2011-10-17 2012-10-16 固定層構造および自由層構造にCoFeBTaを有する磁気センサ Active JP5897448B2 (ja)

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