JP2008124173A - 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 - Google Patents
磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008124173A JP2008124173A JP2006304858A JP2006304858A JP2008124173A JP 2008124173 A JP2008124173 A JP 2008124173A JP 2006304858 A JP2006304858 A JP 2006304858A JP 2006304858 A JP2006304858 A JP 2006304858A JP 2008124173 A JP2008124173 A JP 2008124173A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- nonmagnetic metal
- metal layer
- semiconductor layer
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/32—Spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F10/324—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer
- H01F10/3254—Exchange coupling of magnetic film pairs via a very thin non-magnetic spacer, e.g. by exchange with conduction electrons of the spacer the spacer being semiconducting or insulating, e.g. for spin tunnel junction [STJ]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Magnetic active materials
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3993—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures in semi-conductors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
【解決手段】 CPP−GMR素子におけるスペーサー層を構成する半導体層の厚さは、当該半導体層と前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層との接合関係において、オーミック伝導特性と半導体伝導特性との間の伝導特性を示す遷移領域の膜厚範囲に設定される。
【選択図】 図1
Description
図1を参照して、本発明のCPP構造の巨大磁気抵抗効果素子(CPP−GMR素子)を有する再生ヘッドの構成について、詳細に説明する。
本発明における磁化固定層30は、第1のシールド層3の上に形成された下地層21を介して形成されたピンニング作用を果たす反強磁性層22の上に形成されている。
フリー層50は、外部磁界、すなわち記録媒体からの信号磁界に応じて磁化の方向が変化する層であり、保磁力が小さい強磁性層(軟磁性層)により構成されている。フリー層50の厚さは、例えば2〜10nm程度とされる。単層のみで構成することもできるが、積層された複数の強磁性層を含んだ多層膜としてもよい。また、フリー層50には、ホイスラー合金層を含んでいてもよい。
本発明におけるスペーサー層40は、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43と、これらの第1および第2の非磁性金属層41,43の間に介在された半導体層42を有し構成される。
本発明におけるスペーサー層40を構成する半導体層42の厚さは、当該半導体層42と第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43との接合関係において、オーミック伝導特性と半導体伝導特性との間の伝導特性を示す遷移領域の膜厚範囲に設定されている。つまり、金属/半導体の接合界面における、オーミックコンタクトと半導体伝導の間の遷移領域のみを利用しているのである。この遷移領域における伝導は、通常のオーミック伝導よりもスペーサーの比抵抗が大きいので磁化状態に依存したスピン依存散乱が大きくなりMR比が増大する。
この場合における、オーミック伝導と半導体伝導の間の伝導特性を示すZnOからなる半導体層の厚さは、1.0〜1.6nmとされる。この厚さが、1.6nmを超えると、半導体伝導特性の領域にはいり、比抵抗が大きくなりすぎてしまうという不都合が生じてしまう。また、この値が1.0nm未満になると、オーミック伝導特性の領域にあるので、比抵抗の向上が見られず、結果として素子抵抗ARの増大が期待できないという不都合が生じてしまう。
反強磁性層22は、上述したように磁化固定層30との交換結合により、磁化固定層30の磁化の方向を固定するように作用している。
次いで、上述してきた磁気抵抗効果素子を備えてなる薄膜磁気ヘッドの全体構成について説明する。前述したように図2および図3は本発明の好適な一実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの構成について説明するための図面であり、図2は、薄膜磁気ヘッドのABSおよび基板に垂直な断面を示している。図3は、薄膜磁気ヘッドの磁極部分のABSに平行な断面を示している。
次に、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの作用について説明する。薄膜磁気ヘッドは、記録ヘッドによって記録媒体に情報を記録し、再生ヘッドによって、記録媒体に記録されている情報を再生する。
以下、本実施の形態に係るヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置について説明する。
まず、最初に、オーミック伝導特性と半導体伝導特性との間の伝導特性を示す遷移領域の半導体層の膜厚の領域を見つけるための実験を行なった。
Ru(厚さ:5nm)/CoFe(厚さ:3nm)/(第1の非磁性金属層/半導体層/第2の非磁性金属層)/Ru(厚さ:2nm)とした。スペーサー層を構成する(第1の非磁性金属層/半導体層/第2の非磁性金属層)の材料の組合せは、下記表1〜表14に示すような構成、すなわち、
(Zn/ZnO/Zn)、(Ti/ZnO/Ti)、(V/ZnO/V)、(Cr/ZnO/Cr);
(Cu/ZnS/Cu)、(Ag/ZnS/Ag)、(Au/ZnS/Au)、(CuZn/ZnS/CuZn)、(Zn/ZnS/Zn);
(Cu/GaN/Cu)、(Ag/GaN/Ag)、(Au/GaN/Au)、(CuZn/GaN/CuZn)、(Zn/GaN/Zn)とした。
下記表15に示されるような積層構造からなるCPP−GMR素子サンプルをスパッタ法にて成膜して準備した。
MR比は通常の直流4端子法で測定した。MR比は、抵抗の変化量ΔRを、抵抗値Rで割った値であり、ΔR/Rで表される。数値が小さいために%表示に換算した。サンプル数は100個の素子での平均値とした。
直流4端子法で測定した。
CPP−GMR素子サンプルの面積抵抗から、スペーサー層40の面積抵抗以外の面積抵抗を引いて、スペーサー層40の面積抵抗を求め、さらにこの値をスペーサ層40の厚さで除算して、スペーサー層40の抵抗率(Ω・cm)を求めた。スペーサー層の導電率(S/cm)は、スペーサー層40の抵抗率(Ω・cm)の逆数として算出される。
半導体層42をZnOとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Znとした。スペーサー層40としては、Zn/ZnO/Znの積層体である。
半導体層42をZnOとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Tiとした。スペーサー層40としては、Ti/ZnO/Tiの積層体である。
半導体層42をZnOとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Vとした。スペーサー層40としては、V/ZnO/Vの積層体である。
半導体層42をZnOとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Crとした。スペーサー層40としては、Cr/ZnO/Crの積層体である。
半導体層42をZnSとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Cuとした。スペーサー層40としては、Cu/ZnS/Cuの積層体である。
半導体層42をZnSとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Agとした。スペーサー層40としては、Ag/ZnS/Agの積層体である。
半導体層42をZnSとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Auとした。スペーサー層40としては、Au/ZnS/Auの積層体である。
半導体層42をZnSとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、CuZnとした。スペーサー層40としては、CuZn/ZnS/CuZnの積層体である。
半導体層42をZnSとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Znとした。スペーサー層40としては、Zn/ZnS/Znの積層体である。
半導体層42をGaNとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Cuとした。スペーサー層40としては、Cu/GaN/Cuの積層体である。
半導体層42をGaNとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Agとした。スペーサー層40としては、Ag/GaN/Agの積層体である。
半導体層42をGaNとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Auとした。スペーサー層40としては、Au/GaN/Auの積層体である。
半導体層42をGaNとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、CuZnとした。スペーサー層40としては、CuZn/GaN/CuZnの積層体である。
半導体層42をGaNとし、第1の非磁性金属層41および第2の非磁性金属層43を、それぞれ、Znとした。スペーサー層40としては、Zn/GaN/Znの積層体である。
2…絶縁層
3…第1のシールド層
4…絶縁膜
5…磁気抵抗効果素子(MR素子)
6…バイアス磁界印加層
7…絶縁層
8…第2のシールド層
9…記録ギャップ層
10…薄膜コイルの第1層部分
12…上部磁極層
15…薄膜コイル第2層部分
17…オーバーコート層
20…媒体対向面(ABS)
21…下地層
22…反強磁性層
30…磁化固定層
31…アウター層
32…非磁性中間層
33…インナー層
40…スペーサー層
41…第1の非磁性金属層
42…半導体層
43…第2の非磁性金属層
50…フリー層
Claims (22)
- スペーサー層と、
前記スペーサー層を挟むようにして積層形成される磁化固定層およびフリー層を有し、この積層方向にセンス電流が印加されてなるCPP(Current Perpendicular to Plane)構造の巨大磁気抵抗効果素子(CPP−GMR素子)であって、
前記フリー層は、外部磁界に応じて磁化の方向が変化するように機能しており、
前記スペーサー層は、非磁性金属材料から形成された第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層と、これらの第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層の間に介在された半導体層を有し、
前記スペーサー層を構成する半導体層の厚さは、当該半導体層と前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層との接合関係において、オーミック伝導特性と半導体伝導特性との間の伝導特性を示す遷移領域の膜厚範囲に設定されていることを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がZnOであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Znであり、
前記ZnOからなる半導体層の厚さが、1.0〜1.6nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がZnOであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Tiであり、
前記ZnOからなる半導体層の厚さが、0.8〜1.2nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がZnOであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Vであり、
前記ZnOからなる半導体層の厚さが、1.2〜1.6nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がZnOであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Crであり、
前記ZnOからなる半導体層の厚さが、1.6〜2.0nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がZnSであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Cuであり、
前記ZnSからなる半導体層の厚さが、1.2〜1.6nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がZnSであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Agであり、
前記ZnSからなる半導体層の厚さが、1.0〜1.4nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がZnSであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Auであり、
前記ZnSからなる半導体層の厚さが、1.2〜1.6nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がZnSであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、CuZnであり、
前記ZnSからなる半導体層の厚さが、1.2〜1.6nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がZnSであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Znであり、
前記ZnSからなる半導体層の厚さが、1.6〜2.0nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がGaNであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Cuであり、
前記GaNからなる半導体層の厚さが、1.2〜1.6nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がGaNであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Agであり、
前記GaNからなる半導体層の厚さが、1.0〜1.4nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がGaNであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Auであり、
前記GaNからなる半導体層の厚さが、0.8〜1.2nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がGaNであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、CuZnであり、
前記GaNからなる半導体層の厚さが、1.2〜1.6nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記半導体層がGaNであり、
前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層がそれぞれ、Znであり、
前記GaNからなる半導体層の厚さが、1.6〜2.0nmである請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層の厚さがそれぞれ、0.15〜0.85nmである請求項1ないし請求項15のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1の非磁性金属層および第2の非磁性金属層の厚さがそれぞれ、0.25〜0.70nmである請求項1ないし請求項15のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
- 磁気抵抗効果素子の面積抵抗が、0.1〜0.3Ω・μm2である請求項1ないし請求項17のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記スペーサー層の導電率が133〜432(S/cm)である請求項1ないし請求項18のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
- 記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記記録媒体からの信号磁界を検出するために前記媒体対向面の近傍に配置された請求項1ないし請求項19のいずれかに記載された磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の積層方向に電流を流すための一対の電極と、
を有してなることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 請求項20に記載された薄膜磁気ヘッドを含み、記録媒体に対向するように配置されるスライダと、
前記スライダを弾性的に支持するサスペンションと、
を備えてなることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。 - 請求項20に記載された薄膜磁気ヘッドを含み、記録媒体に対向するように配置されるスライダと、
前記スライダを支持するとともに前記記録媒体に対して位置決めする位置決め装置と、
を備えてなることを特徴とするハードディスク装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006304858A JP4492604B2 (ja) | 2006-11-10 | 2006-11-10 | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 |
US11/934,979 US8000066B2 (en) | 2006-11-10 | 2007-11-05 | Hard disk system incorporating a current perpendicular to plane magneto-resistive effect device with a spacer layer in the thickness range showing conduction performance halfway between OHMIC conduction and semi-conductive conduction |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006304858A JP4492604B2 (ja) | 2006-11-10 | 2006-11-10 | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008124173A true JP2008124173A (ja) | 2008-05-29 |
JP4492604B2 JP4492604B2 (ja) | 2010-06-30 |
Family
ID=39368958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006304858A Expired - Fee Related JP4492604B2 (ja) | 2006-11-10 | 2006-11-10 | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8000066B2 (ja) |
JP (1) | JP4492604B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100232073A1 (en) * | 2009-03-10 | 2010-09-16 | Tdk Corporation | Magnetoresistance effect element having layer containing Zn at the interface between magnetic layer and non-magnetic intermediate layer |
JP2014143398A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-08-07 | Seagate Technology Llc | 磁気スタックおよび磁気素子を含む装置 |
KR20220091100A (ko) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 태성전장주식회사 | 전류센서 소자와 버스바 간의 에어갭 유지 유니트 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7826180B2 (en) * | 2007-06-26 | 2010-11-02 | Tdk Corporation | Magneto-resistive effect device of the CPP structure, and magnetic disk system |
US7961438B2 (en) | 2008-05-28 | 2011-06-14 | Tdk Corporation | Magnetoresistive device of the CPP type, and magnetic disk system |
US8274764B2 (en) * | 2009-03-10 | 2012-09-25 | Tdk Corporation | Magneto-resistive effect element provided with GaN spacer layer |
US8130475B2 (en) * | 2009-10-20 | 2012-03-06 | Tdk Corporation | Method for manufacturing CPP-type thin film magnetic head provided with a pair of magnetically free layers |
CN102453876A (zh) * | 2010-10-19 | 2012-05-16 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜件及其制备方法 |
US8553370B2 (en) * | 2010-11-24 | 2013-10-08 | HGST Netherlands B.V. | TMR reader structure having shield layer |
US9318031B2 (en) | 2012-08-27 | 2016-04-19 | Michael Edward Boyd | Device and method to produce gravitomagnetic induction, mass spin-valve or gravitational rectifier |
US9972354B2 (en) | 2012-08-27 | 2018-05-15 | Michael Boyd | Calibrated device and method to detect material features on a spinning surface by generation and detection of gravito-magnetic energy |
FR3005313B1 (fr) * | 2013-05-03 | 2016-05-27 | Saint Gobain | Vitrage de controle solaire comprenant une couche d'un alliage de zinc et de cuivre |
JP2015179824A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-10-08 | Tdk株式会社 | 磁性素子およびそれを備えた磁性高周波素子 |
US11496033B2 (en) | 2019-01-08 | 2022-11-08 | Michael Boyd | Device and method to generate and apply gravito-magnetic energy |
US10755733B1 (en) * | 2019-03-05 | 2020-08-25 | Sandisk Technologies Llc | Read head including semiconductor spacer and long spin diffusion length nonmagnetic conductive material and method of making thereof |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208744A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-07-26 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2003008102A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-10 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
JP2008091842A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-04-17 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0601692B1 (en) * | 1992-09-14 | 1997-11-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic device incorporating artificial super lattice |
US6299991B1 (en) * | 1998-10-15 | 2001-10-09 | International Business Machines Corporation | Selective growth of ferromagnetic films for magnetic memory, storage-based devices |
US6347049B1 (en) * | 2001-07-25 | 2002-02-12 | International Business Machines Corporation | Low resistance magnetic tunnel junction device with bilayer or multilayer tunnel barrier |
US7252852B1 (en) * | 2003-12-12 | 2007-08-07 | International Business Machines Corporation | Mg-Zn oxide tunnel barriers and method of formation |
CN1606170A (zh) * | 2004-09-24 | 2005-04-13 | 中国科学院物理研究所 | 基于双势垒隧道结共振隧穿效应的晶体管 |
JP4449951B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2010-04-14 | Tdk株式会社 | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 |
US8031441B2 (en) * | 2007-05-11 | 2011-10-04 | Headway Technologies, Inc. | CPP device with an enhanced dR/R ratio |
-
2006
- 2006-11-10 JP JP2006304858A patent/JP4492604B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-11-05 US US11/934,979 patent/US8000066B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208744A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-07-26 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2003008102A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-10 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
JP2008091842A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-04-17 | Tdk Corp | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100232073A1 (en) * | 2009-03-10 | 2010-09-16 | Tdk Corporation | Magnetoresistance effect element having layer containing Zn at the interface between magnetic layer and non-magnetic intermediate layer |
US8970995B2 (en) | 2009-03-10 | 2015-03-03 | Tdk Corporation | Magnetoresistance effect element having layer containing Zn at the interface between magnetic layer and non-magnetic intermediate layer |
JP2014143398A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-08-07 | Seagate Technology Llc | 磁気スタックおよび磁気素子を含む装置 |
KR20220091100A (ko) * | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 태성전장주식회사 | 전류센서 소자와 버스바 간의 에어갭 유지 유니트 |
KR102473717B1 (ko) | 2020-12-23 | 2022-12-02 | 태성전장주식회사 | 전류센서 소자와 버스바 간의 에어갭 유지 유니트 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4492604B2 (ja) | 2010-06-30 |
US20080112096A1 (en) | 2008-05-15 |
US8000066B2 (en) | 2011-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4492604B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 | |
JP4942445B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 | |
JP4670890B2 (ja) | Cpp構造の磁気抵抗効果素子および磁気ディスク装置 | |
JP4343940B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ハードディスク装置および磁気抵抗効果素子の製造方法 | |
JP5018982B2 (ja) | スペーサ層を含むcpp型磁気抵抗効果素子 | |
JP4328348B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 | |
JP4449951B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 | |
JP4492617B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子および磁気ディスク装置 | |
JP2007287863A (ja) | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法、ならびに磁気抵抗効果素子集合体、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 | |
JP4343941B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ハードディスク装置、および、磁気抵抗効果素子の製造方法 | |
US20080174920A1 (en) | Cpp type magneto-resistive effect device and magnetic disc system | |
JP2008060202A (ja) | Cpp構造の磁気抵抗効果素子の製造方法。 | |
JP2008047737A (ja) | 磁気抵抗効果装置、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 | |
JP2007317824A (ja) | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法、ならびに薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 | |
US20080037184A1 (en) | Exchange-coupling film incorporating stacked antiferromagnetic layer and pinned layer, and magnetoresistive element including the exchange-coupling film | |
JP2006286669A (ja) | 磁気抵抗効果素子の製造方法 | |
JP3896366B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 | |
JP2008021896A (ja) | Cpp構造のgmr素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 | |
JP4471020B2 (ja) | Cpp構造の磁気抵抗効果素子および磁気ディスク装置 | |
JP2009176400A (ja) | Cpp型磁気抵抗効果素子および磁気ディスク装置 | |
JP3683577B1 (ja) | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリおよび磁気ディスク装置 | |
JP2008124288A (ja) | 磁気抵抗効果素子およびその製造方法、ならびに薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 | |
JP2005141795A (ja) | 磁気抵抗効果装置およびその製造方法、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリならびにハードディスク装置 | |
JP4387923B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ヘッドアームアセンブリおよび磁気ディスク装置 | |
JP2009044122A (ja) | スペーサ層が非磁性導体相を含む磁気抵抗効果素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090508 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100316 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4492604 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140416 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |