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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5685762B2 (ja) * 2011-03-07 2015-03-18 みずほ情報総研株式会社 プラズマ加工形状シミュレーション装置及びプログラム
US20150013901A1 (en) * 2013-07-11 2015-01-15 Hsio Technologies, Llc Matrix defined electrical circuit structure
US20150205890A1 (en) * 2014-01-17 2015-07-23 Kabushiki Kaisha Toshiba Topography simulation apparatus, topography simulation method and recording medium
JP6117746B2 (ja) 2014-07-30 2017-04-19 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 エッチング特性推定方法、プログラム、情報処理装置、加工装置、設計方法、および、製造方法
WO2016132759A1 (ja) * 2015-02-20 2016-08-25 ソニー株式会社 情報処理装置、加工装置、推定方法、プログラム、および、加工方法
US10599789B2 (en) * 2015-11-25 2020-03-24 Synopsys, Inc. Topography simulation of etching and/or deposition on a physical structure
JP2017162286A (ja) 2016-03-10 2017-09-14 東芝メモリ株式会社 形状シミュレーション装置、形状シミュレーション方法、および形状シミュレーションプログラム
JP2017163035A (ja) * 2016-03-10 2017-09-14 東芝メモリ株式会社 形状シミュレーション装置、形状シミュレーション方法、および形状シミュレーションプログラム
JP2018067677A (ja) * 2016-10-21 2018-04-26 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 ダメージ予測方法、プログラム、および半導体加工システム
US11093665B2 (en) * 2017-10-25 2021-08-17 Lockheed Martin Corporation System and method for simulation visualization
SG10202005345XA (en) * 2019-06-11 2021-01-28 Canon Kk Simulation method, simulation apparatus, and program
CN113378444B (zh) * 2021-08-13 2021-11-05 墨研计算科学（南京）有限公司 一种淀积工艺的仿真方法及装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03188926A (ja) 1989-12-19 1991-08-16 Kubota Corp ろ過処理方法
JP2687270B2 (ja) 1992-07-27 1997-12-08 日本電信電話株式会社 半導体装置断面構造の表示方法
JP3188926B2 (ja) 1993-09-06 2001-07-16 日本電信電話株式会社 半導体装置断面構造の表示方法
US6313842B1 (en) * 1999-03-03 2001-11-06 Discreet Logic Inc. Generating image data
JP3388203B2 (ja) * 1999-05-28 2003-03-17 株式会社半導体先端テクノロジーズ 形状シミュレーション方法、装置および記録媒体
US7375490B2 (en) * 2004-09-14 2008-05-20 Siemens Energy & Automation, Inc. Methods for managing electrical power
US7850338B1 (en) * 2006-09-25 2010-12-14 Microscan Systems, Inc. Methods for directing light
JP4957195B2 (ja) * 2006-11-09 2012-06-20 ソニー株式会社 液晶表示装置
JP5322413B2 (ja) * 2007-08-16 2013-10-23 株式会社東芝 シミュレーション方法およびシミュレーションプログラム
JP5428450B2 (ja) * 2009-03-30 2014-02-26 ソニー株式会社 イオン照射ダメージの予測方法とイオン照射ダメージのシミュレータ、およびイオン照射装置とイオン照射方法
JP2011081154A (ja) * 2009-10-07 2011-04-21 Hitachi Ltd 光学素子および光学装置
US9905028B2 (en) * 2013-12-11 2018-02-27 Adobe Systems Incorporated Simulating sub-surface scattering of illumination for simulated three-dimensional objects

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