JP2014003088A - 露光方法、露光装置およびフォトマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のチップパターン14が配列されたショットパターン12を備えるフォトマスクを用い、ウエハ10に複数の前記ショットパターンを第1パターンとして露光し、前記ショットパターン26a、26bの第1領域28a、28bが前記第1パターンと重なり、前記ショットパターンの第1領域以外の第2領域が前記第1パターン外となり、前記第1パターンと前記第2領域とに複数のチップパターンが連続して配列するように前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わせし、前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わせした状態において、前記ウエハとのフォーカス調整を行ない、前記第1領域を遮光して、前記第2領域のパターンを前記ウエハに第2パターンとして露光する露光方法。
【選択図】図6
Description
(付記1)複数のチップパターンが配列されたショットパターンを備えるフォトマスクを用い、ウエハに複数の前記ショットパターンを第1パターンとして露光し、前記ショットパターンの第1領域が前記第1パターンと重なり、前記ショットパターンの第1領域以外の第2領域が前記第1パターン外となり、前記第1パターンと前記第2領域とに複数のチップパターンが連続して配列するように前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わせし、前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わせした状態において、前記ウエハとのフォーカス調整を行ない、前記第1領域を遮光して、前記第2領域のパターンを前記ウエハに第2パターンとして露光することを特徴とする露光方法。
(付記2)前記フォトマスクは、複数のチップパターン間にそれぞれスクライブパターンを備え、前記第1領域と前記第2領域との境界はスクライブパターンであることを特徴とする付記1記載の露光方法。
(付記3)前記スクライブパターンは、モニタパターンが形成された第1スクライブパターンと、前記モニタパターンが形成されていない第2スクライブパターンと、を含み、前記第1領域と前記第2領域との境界は第2スクライブパターンであることを特徴とする付記2記載の露光方法。
(付記4)前記第1領域が同じ領域の複数のショットパターンについて、前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わせし、前記ウエハとのフォーカス調整を行ない、前記第1領域を遮光して、前記第2領域のパターンを前記ウエハに第2パターンとして露光することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の露光方法。
(付記5)前記複数のチップパターンは同一のパターンであり、前記ショットパターンには、前記複数のチップパターンが第1方向および前記第1方向と交差する第2方向の少なくとも一方に配列されていることを特徴とする付記1から4のいずれか一項記載の露光方法。
(付記6)前記ウエハに第1方向および前記第1方向に交差する第2方向に配列した複数の前記ショットパターンが互いに重ならず前記複数のチップパターンが同間隔で配列するように第1パターンを露光することを特徴とする付記1から5のいずれか一項記載の露光方法。
(付記7)前記第2領域は前記ウエハの有効領域内のチップパターンを含むことを特徴とする付記1から4のいずれか一項記載の露光方法。
(付記8)前記第1領域は前記有効領域内のチップパターンを含むことを特徴とする付記7記載の露光方法。
(付記9)第1方向および前記第1方向と交差する第2方向の少なくとも一方に配列された同一の複数のチップパターンと、前記複数のチップパターン間にそれぞれ配列され、モニタパターンが形成された第1スクライブパターンと、前記モニタパターンが形成されていない第2スクライブパターンと、を具備することを特徴とするフォトマスク。
(付記10)複数のチップパターンが配列されたショットパターンを備えるフォトマスクを用い、ウエハにパターンを露光する露光部と、前記ウエハとのフォーカス調整を行なう調整部と、露光部に、前記ウエハ内に複数の前記ショットパターンを第1パターンとして露光させ、調整部に、前記ショットパターンの第1領域が前記第1パターンと重なり、前記ショットパターンの第1領域以外の第2領域が前記第1パターン外となり、前記第1パターンと前記第2領域とに前記複数のチップパターンが連続して配列するように前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わした状態で、前記調整を行なわせ、露光部に、前記第1領域を遮光して、前記第2領域のパターンを前記ウエハに第2パターンとして露光させる制御部と、を具備することを特徴とする露光装置。
12 ショットパターン
14 チップパターン
16 スクライブパターン
17 モニタパターン
20 有効領域
22 有効領域外の領域
24 センサ箇所
28a、28b 第1領域
34 第1パターン
56 ブラインド
60 レチクル
68 ウエハステージ
74 制御部
Claims (8)
- 複数のチップパターンが配列されたショットパターンを備えるフォトマスクを用い、ウエハに複数の前記ショットパターンを第1パターンとして露光し、
前記ショットパターンの第1領域が前記第1パターンと重なり、前記ショットパターンの第1領域以外の第2領域が前記第1パターン外となり、前記第1パターンと前記第2領域とに複数のチップパターンが連続して配列するように前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わせし、
前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わせした状態において、前記ウエハとのフォーカス調整を行ない、
前記第1領域を遮光して、前記第2領域のパターンを前記ウエハに第2パターンとして露光することを特徴とする露光方法。 - 前記フォトマスクは、複数のチップパターン間にそれぞれスクライブパターンを備え、
前記第1領域と前記第2領域との境界はスクライブパターンであることを特徴とする請求項1記載の露光方法。 - 前記スクライブパターンは、モニタパターンが形成された第1スクライブパターンと、前記モニタパターンが形成されていない第2スクライブパターンと、を含み、
前記第1領域と前記第2領域との境界は第2スクライブパターンであることを特徴とする請求項2記載の露光方法。 - 前記第1領域が同じ領域の複数のショットパターンについて、前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わせし、前記ウエハとのフォーカス調整を行ない、前記第1領域を遮光して、前記第2領域のパターンを前記ウエハに第2パターンとして露光することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記複数のチップパターンは同一のパターンであり、
前記ショットパターンには、前記複数のチップパターンが第1方向および前記第1方向と交差する第2方向の少なくとも一方に配列されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の露光方法。 - 前記ウエハに第1方向および前記第1方向に交差する第2方向に配列した複数の前記ショットパターンが互いに重ならず前記複数のチップパターンが同間隔で配列するように第1パターンを露光することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の露光方法。
- 第1方向および前記第1方向と交差する第2方向の少なくとも一方に配列された同一の複数のチップパターンと、
前記複数のチップパターン間にそれぞれ配列され、モニタパターンが形成された第1スクライブパターンと、前記モニタパターンが形成されていない第2スクライブパターンと、
を具備することを特徴とするフォトマスク。 - 複数のチップパターンが配列されたショットパターンを備えるフォトマスクを用い、ウエハにパターンを露光する露光部と、
前記ウエハとのフォーカス調整を行なう調整部と、
露光部に、前記ウエハ内に複数の前記ショットパターンを第1パターンとして露光させ、
調整部に、前記ショットパターンの第1領域が前記第1パターンと重なり、前記ショットパターンの第1領域以外の第2領域が前記第1パターン外となり、前記第1パターンと前記第2領域とに前記複数のチップパターンが連続して配列するように前記フォトマスクを前記ウエハに対し位置合わした状態で、前記調整を行なわせ、
露光部に、前記第1領域を遮光して、前記第2領域のパターンを前記ウエハに第2パターンとして露光させる制御部と、
を具備することを特徴とする露光装置。
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