JP2013539254A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013539254A5 JP2013539254A5 JP2013521254A JP2013521254A JP2013539254A5 JP 2013539254 A5 JP2013539254 A5 JP 2013539254A5 JP 2013521254 A JP2013521254 A JP 2013521254A JP 2013521254 A JP2013521254 A JP 2013521254A JP 2013539254 A5 JP2013539254 A5 JP 2013539254A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- vibrator
- support structure
- array
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP10305849.1 | 2010-07-30 | ||
| EP10305849 | 2010-07-30 | ||
| EP11305741.8 | 2011-06-14 | ||
| EP11305741 | 2011-06-14 | ||
| PCT/IB2011/053096 WO2012014111A2 (en) | 2010-07-30 | 2011-07-12 | Thin film ultrasound transducer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013539254A JP2013539254A (ja) | 2013-10-17 |
| JP2013539254A5 true JP2013539254A5 (enExample) | 2015-08-06 |
Family
ID=44630356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013521254A Pending JP2013539254A (ja) | 2010-07-30 | 2011-07-12 | 薄膜超音波振動子 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US9440258B2 (enExample) |
| EP (1) | EP2598255A2 (enExample) |
| JP (1) | JP2013539254A (enExample) |
| CN (1) | CN103097041B (enExample) |
| WO (1) | WO2012014111A2 (enExample) |
Families Citing this family (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6102075B2 (ja) | 2012-03-30 | 2017-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
| US8767512B2 (en) * | 2012-05-01 | 2014-07-01 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Multi-frequency ultra wide bandwidth transducer |
| US9660170B2 (en) | 2012-10-26 | 2017-05-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Micromachined ultrasonic transducer arrays with multiple harmonic modes |
| TW201416140A (zh) * | 2012-10-31 | 2014-05-01 | Ind Tech Res Inst | 可撓式超音波致動裝置 |
| WO2014103593A1 (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-03 | 富士フイルム株式会社 | ユニモルフ型超音波探触子およびその製造方法 |
| JP6442821B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2018-12-26 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び電子機器 |
| US9309105B2 (en) * | 2014-03-06 | 2016-04-12 | Infineon Technologies Ag | Sensor structure for sensing pressure waves and ambient pressure |
| FR3022674B1 (fr) * | 2014-06-18 | 2019-12-13 | Iem Sarl | Borne de detection comprenant un transducteur piezoelectrique fixe a une membrane liee a une structure de butee |
| EP3175490B2 (en) * | 2014-08-01 | 2025-03-12 | Chirp Microsystems, Inc. | Miniature micromachined ultrasonic rangefinder |
| WO2016016810A1 (en) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | Koninklijke Philips N.V. | Intravascular ultrasound imaging apparatus, interface architecture, and method of manufacturing |
| KR102375889B1 (ko) * | 2014-12-19 | 2022-03-16 | 삼성전자주식회사 | 에너지 발생 장치 및 그 제조방법 |
| JP6488709B2 (ja) * | 2015-01-13 | 2019-03-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子の製造方法、振動素子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
| CN105232146B (zh) * | 2015-11-18 | 2018-01-02 | 郑州大学 | 一种具有超声定位功能的介入消融导管 |
| US9842241B2 (en) | 2015-12-21 | 2017-12-12 | Intel Corporation | Biometric cryptography using micromachined ultrasound transducers |
| CN106160691A (zh) * | 2016-07-05 | 2016-11-23 | 电子科技大学 | 一种基于Si基的高频SAW器件及其制备方法 |
| JP2017000792A (ja) * | 2016-08-17 | 2017-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
| JP6753293B2 (ja) * | 2016-12-09 | 2020-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び超音波装置 |
| US10675476B2 (en) | 2016-12-22 | 2020-06-09 | Cardiac Pacemakers, Inc. | Internal thoracic vein placement of a transmitter electrode for leadless stimulation of the heart |
| JP6907539B2 (ja) | 2017-01-06 | 2021-07-21 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波プローブ、及び超音波装置 |
| JP6311815B2 (ja) * | 2017-03-02 | 2018-04-18 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
| JP6992292B2 (ja) * | 2017-07-07 | 2022-01-13 | コニカミノルタ株式会社 | Memsトランスデューサーの製造方法、memsトランスデューサー、超音波探触子、および超音波診断装置 |
| JP2019100791A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | セイコーエプソン株式会社 | 液面センサー及び液面検出方法 |
| US10932062B2 (en) * | 2018-02-17 | 2021-02-23 | Apple Inc. | Ultrasonic proximity sensors, and related systems and methods |
| JP7205191B2 (ja) * | 2018-11-22 | 2023-01-17 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー、及び電子機器 |
| CN110046556B (zh) * | 2019-03-27 | 2021-06-01 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种显示面板及其终端器件 |
| CN110142194B (zh) * | 2019-05-22 | 2021-01-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 声波换能器及驱动方法 |
| US11063571B2 (en) * | 2019-07-25 | 2021-07-13 | Zhuhai Crystal Resonance Technologies Co., Ltd. | Packaged electronic components |
| CN111001553B (zh) * | 2019-12-18 | 2021-01-26 | 武汉大学 | 一种可调谐的超声传感器阵列 |
| DE102020201802A1 (de) | 2020-02-13 | 2021-08-19 | Brose Fahrzeugteile Se & Co. Kommanditgesellschaft, Bamberg | Ultraschallsensor eines Kraftfahrzeugs |
| JP7446957B2 (ja) * | 2020-09-03 | 2024-03-11 | ホシデン株式会社 | 検知センサ及びこれを備えた検知装置 |
| AT523735B1 (de) | 2020-11-10 | 2021-11-15 | Ac2T Res Gmbh | Hocheffektive Akustische Abschirmvorrichtung für Aerosole im Hinblick auf Atem- und Hautschutz |
| EP4272520A4 (en) * | 2020-12-31 | 2024-11-13 | Sofwave Medical Ltd. | COOLING OF ULTRASONIC POWER SUPPLY DEVICES ON PRINTED CIRCUIT BOARDS |
| CN115078531B (zh) * | 2021-03-15 | 2025-11-14 | 北京信泰智合科技发展有限公司 | 一种高频压电换能振元、高频超声探头和制备方法 |
| CN112857276B (zh) * | 2021-03-21 | 2023-05-16 | 中北大学 | 声表面波应变传感器及其制备方法 |
| CN114007175B (zh) * | 2021-10-19 | 2022-08-23 | 上海交通大学 | 超声换能器阵列及其形成方法 |
| CN115276595A (zh) * | 2022-07-04 | 2022-11-01 | 深圳市汇芯通信技术有限公司 | 声表面波滤波器、声表面波谐振器及其制造方法 |
| CN115569827A (zh) * | 2022-09-09 | 2023-01-06 | 中阳桥科技有限公司 | 一种陶瓷颗粒拼接成阵耐高温高压换能器 |
| CN115400931B (zh) * | 2022-10-31 | 2023-03-24 | 浙江仙声科技有限公司 | 一种减少超声换能器声串扰的深槽隔离方法及超声换能器 |
| WO2025087040A1 (en) * | 2023-10-26 | 2025-05-01 | Hong Kong Centre For Logistics Robotics Limited | Ultrasound transducers, arrays, systems comprising the same and methods of making the same |
Family Cites Families (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4385255A (en) * | 1979-11-02 | 1983-05-24 | Yokogawa Electric Works, Ltd. | Linear array ultrasonic transducer |
| JP2658363B2 (ja) | 1989-03-13 | 1997-09-30 | 日本電気株式会社 | ソーナー用送受波器 |
| JPH03125597A (ja) | 1989-10-09 | 1991-05-28 | Ritsuo Yoshida | 内線電話用自動交換装置 |
| JPH03125597U (enExample) * | 1990-03-30 | 1991-12-18 | ||
| US5495137A (en) | 1993-09-14 | 1996-02-27 | The Whitaker Corporation | Proximity sensor utilizing polymer piezoelectric film with protective metal layer |
| US6323580B1 (en) | 1999-04-28 | 2001-11-27 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Ferroic transducer |
| US6327221B1 (en) | 1999-09-20 | 2001-12-04 | Honeywell International Inc. | Steered beam ultrasonic sensor for object location and classification |
| DE19957125A1 (de) * | 1999-11-26 | 2001-06-21 | Siemens Ag | Ultraschall-Wandler |
| US6782109B2 (en) * | 2000-04-04 | 2004-08-24 | University Of Florida | Electromechanical acoustic liner |
| US6515402B2 (en) | 2001-01-24 | 2003-02-04 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Array of ultrasound transducers |
| US6666825B2 (en) * | 2001-07-05 | 2003-12-23 | General Electric Company | Ultrasound transducer for improving resolution in imaging system |
| JP3697200B2 (ja) | 2001-11-07 | 2005-09-21 | アロカ株式会社 | 超音波探触子 |
| US6548937B1 (en) | 2002-05-01 | 2003-04-15 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Array of membrane ultrasound transducers |
| US7098574B2 (en) * | 2002-11-08 | 2006-08-29 | Toyo Communication Equipment Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and method for manufacturing the same |
| US6831394B2 (en) * | 2002-12-11 | 2004-12-14 | General Electric Company | Backing material for micromachined ultrasonic transducer devices |
| JP2005051689A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波アレイセンサおよび超音波センサ並びに超音波アレイセンサの製造方法 |
| JP4513596B2 (ja) * | 2004-08-25 | 2010-07-28 | 株式会社デンソー | 超音波センサ |
| JP4622574B2 (ja) * | 2005-02-21 | 2011-02-02 | 株式会社デンソー | 超音波素子 |
| CN2796747Y (zh) * | 2005-05-26 | 2006-07-19 | 深圳市普罗惠仁医学科技有限公司 | 球冠式凹球面超声换能器 |
| JP4991145B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2012-08-01 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータの検査方法 |
| US7730785B2 (en) * | 2006-04-26 | 2010-06-08 | Denso Corporation | Ultrasonic sensor and manufacture method of the same |
| JP4640249B2 (ja) * | 2006-04-26 | 2011-03-02 | 株式会社デンソー | 超音波センサ |
| KR20100057596A (ko) * | 2007-07-03 | 2010-05-31 | 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 존재 검출을 위한 박막 검출기 |
| JP2009118093A (ja) | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Seiko Epson Corp | 静電型トランスデューサ、および超音波スピーカ |
| JP2009289982A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Fujifilm Corp | 強誘電性酸化物構造体、及び強誘電性酸化物構造体の製造方法、液体吐出装置 |
| JP5499479B2 (ja) * | 2009-01-13 | 2014-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 電子機器 |
| JP5751026B2 (ja) * | 2011-05-31 | 2015-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー、生体センサー、及び超音波トランスデューサーの製造方法 |
| US20140187959A1 (en) * | 2012-12-31 | 2014-07-03 | Volcano Corporation | Ultrasound Transducers and Methods of Manufacturing Same |
| US10618079B2 (en) * | 2016-02-29 | 2020-04-14 | Qualcomm Incorporated | Piezoelectric micromechanical ultrasonic transducers and transducer arrays |
-
2011
- 2011-07-12 EP EP11744096.6A patent/EP2598255A2/en not_active Withdrawn
- 2011-07-12 JP JP2013521254A patent/JP2013539254A/ja active Pending
- 2011-07-12 US US13/812,640 patent/US9440258B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-12 CN CN201180037543.5A patent/CN103097041B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-12 WO PCT/IB2011/053096 patent/WO2012014111A2/en not_active Ceased
-
2016
- 2016-08-25 US US15/247,860 patent/US20160365840A1/en not_active Abandoned
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013539254A5 (enExample) | ||
| US12058939B2 (en) | Piezoelectric MEMS microphone | |
| CN103097041B (zh) | 薄膜超声换能器 | |
| JP6065421B2 (ja) | 超音波プローブおよび超音波検査装置 | |
| US10864553B2 (en) | Piezoelectric transducers and methods of making and using the same | |
| CN102194991B (zh) | 压电元件、压电传感器、电子设备及压电元件的制造方法 | |
| JP5742954B2 (ja) | 超音波発生装置 | |
| US20170170383A1 (en) | Curved Piezoelectric Transducers and Methods of Making and Using the Same | |
| JP2016049193A5 (enExample) | ||
| CN102988079B (zh) | 超声波探头及超声波图像诊断装置 | |
| JP2011124973A5 (enExample) | ||
| WO2008150536A8 (en) | Piezo devices with air-spaced cantilever | |
| EP3140869A1 (en) | Micromachined ultrasound transducer using multiple piezoelectric materials | |
| JP5556893B2 (ja) | 超音波発生装置 | |
| JP6016947B2 (ja) | ユニモルフ型超音波探触子およびその製造方法 | |
| JP5413131B2 (ja) | センサーアレイ及び圧力センサーの製造方法 | |
| Rochus et al. | Design of novel ultrasound transducers compatible with large-area electronics | |
| CN205949255U (zh) | 一种复合微机械电容式超声换能器 | |
| CN223125011U (zh) | Mems压电声学换能器 | |
| JP2020039064A (ja) | 静電容量型デバイスおよび圧電型デバイス | |
| KR102281777B1 (ko) | 초음파 진동을 이용한 발열체 | |
| KR102281780B1 (ko) | 초음파 진동을 이용한 집열 구조체 | |
| JP6288235B2 (ja) | 超音波プローブおよび超音波検査装置 | |
| JP5633622B2 (ja) | 圧力センサーアレイ |