JP5751026B2 - 超音波トランスデューサー、生体センサー、及び超音波トランスデューサーの製造方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 96
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 43
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 43
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 206
- 230000008569 process Effects 0.000 description 29
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 24
- 238000001574 biopsy Methods 0.000 description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000017531 blood circulation Effects 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000004185 liver Anatomy 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/02—Forming enclosures or casings
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/08—Detecting organic movements or changes, e.g. tumours, cysts, swellings
- A61B8/0891—Detecting organic movements or changes, e.g. tumours, cysts, swellings for diagnosis of blood vessels
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/42—Details of probe positioning or probe attachment to the patient
- A61B8/4209—Details of probe positioning or probe attachment to the patient by using holders, e.g. positioning frames
- A61B8/4227—Details of probe positioning or probe attachment to the patient by using holders, e.g. positioning frames characterised by straps, belts, cuffs or braces
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4444—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device related to the probe
- A61B8/4455—Features of the external shape of the probe, e.g. ergonomic aspects
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
- B06B1/0651—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element of circular shape
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/36—Detecting the response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/072—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by laminating or bonding of piezoelectric or electrostrictive bodies
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
- H03H2003/0414—Resonance frequency
- H03H2003/045—Modification of the area of an element
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- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
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- Y10T29/49005—Acoustic transducer
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Description
この特許文献1に記載のダイアフラム型トランスデューサー(超音波トランスデューサー)は、開口部が形成されたシリコン製の基板と、この基板上に、開口部を閉塞するように積層された絶縁層及び振動層と、振動層の上に積層され、下部電極、圧電薄膜、及び上部電極からなる圧電素子とを備えている。このような超音波トランスデューサーは、基板の上面側に、絶縁層、振動層、及び圧電素子を積層形成した後、基板の下面側から絶縁層までをエッチングすることで形成される。
ここで、圧電素子は、支持膜の表面上に直接設けられる構成であってもよく、他の層を介して設けられる構成であってもよい。
そして、本発明では、樹脂製基体は、感光性を有しているため、樹脂製基体に光を照射することで、光照射部分の樹脂製基体を変質させることができ、変質された部分のみを除去することで、容易に、かつ精度の高いキャビティを形成することができる。
つまり、例えば支持膜が設けられた基板に対して、ICP(Inductively Coupled Plasma)等を用いたエッチングを実施して開口部を形成する場合、上述したように、エッチングレートが異なっていたり、支持膜として機能させる部分をもエッチングされてしまったりすることがあり、支持膜の膜厚が均一でなくなる場合がある。これに対して、本発明では、光照射により支持膜は変質せず、光が照射された感光性の樹脂製基体のみが変質するため、開口部を形成した際に支持膜の厚みは変化せず、一様にすることができる。
したがって、本発明の超音波トランスデューサーでは、均一な膜厚寸法を有する支持膜により開口部を閉塞されることとなり、当該超音波トランスデューサーの駆動特性を安定させることができる。
本発明では、樹脂製基体は感光フィルムにより構成されているため、上記発明のように、光を照射することで容易に開口部を形成することができる。
また、感光性フィルムは可撓性を有するため、当該感光性フィルムの形状を自由に変形することができる。ここで、支持膜及び圧電素子は、上述のように、超音波を受発信するため、膜上に形成される部材であり、ある程度の変形が許容された硬度に形成されている。したがって、このような感光性フィルム、支持膜、及び圧電素子により構成された本発明の超音波トランスデューサーも可撓性を有し、測定対象に応じた面形状に変形させることが可能となる。
本発明の生体センサーでは、センサー本体部に上述のような超音波トランスデューサーが複数配置されている。ここで、上述したように、超音波トランスデューサーは、安定した駆動特性を有し、安定した超音波の受発信が可能である。したがって、このような超音波トランスデューサーを備えた生体センサーでは、正確な超音波の送受信により、精度の高い生体検査を実施することができる。
また、樹脂製基体として、可撓性を有する感光性フィルムを用いる場合、センサー本体部を、密着層を介して測定対象(例えば生体の皮膚等)に接触させた際に、当該センサー本体を測定対象の面形状に応じて変形させることができる。したがって、生体センサーを生体との密着度を向上させることができ、より精度の高い生体検査を実施することができる。
ここで、感光性の樹脂製基体としては、感光した部分が溶解するポジ型感光性樹脂であってもよく、感光した部分が残留し、感光していない部分を溶解させるネガ型感光性樹脂であってもよい。
また、支持膜に対して補強基板を貼付することで、支持膜に樹脂製基体を形成する際、また、樹脂製基体に開口部を形成する際に、支持膜の湾曲を防止でき、樹脂製基体及び開口部の形成を精度よく実施することができる。
本発明によれば、上記した発明と同様に、樹脂製基体として可撓性を有する感光性フィルムを用いることで、当該製造方法において製造される超音波トランスデューサーも可撓性を有する。したがって、超音波トランスデューサーの使用用途に応じて、当該超音波トランスデューサーの面形状を自由に変形することができる。
また、補強基板貼付工程の後、基板を切削・研磨等により削ることで基板の厚みを調整することで、支持膜の厚みを超音波トランスデューサーの駆動特性に応じた所望の厚み寸法に形成することができる。
支持膜調整工程では、基板を切削、研磨等することにより、膜部材を残して全て除去してもよい。しかしながら、膜部材が透光性を有する部材である場合では、感光性フィルムに光を照射すると、SiO2層を透過した光が圧電素子の電極等により反射されて再び感光性フィルムに照射される場合がある。この場合、反射光により、例えば開口部の側壁部分が感光し、開口部を形成するためのマスクパターンと、実際に形成される開口部とが異なる形状となる場合がある。
これに対して、本発明では、非透光性の基板の一部を残留させて支持膜の一部として機能させる。このような構成では、残留した基板により光が遮断されるため、圧電素子側に光が透過することがなく、所望の形状の開口部を形成することができる。
以下、本発明の第一実施形態について、図面に基づいて説明する。
[センサーアレイの構成]
図1は、本発明の第一実施形態の超音波トランスデューサーを備えたセンサーアレイの概略構成を示す断面図である。
センサーアレイ1は、図1に示すように、複数の超音波トランスデューサー10を備えている。なお、図1では、X方向のみに超音波トランスデューサー10が配設される例を示すが、例えばX方向及びY方向に沿って、二次元アレイ状に超音波トランスデューサー10が配設される構成としてもよい。
図2に示すように、超音波トランスデューサー10は、開口部111を有する感光性フィルム11(樹脂製基体)と、感光性フィルム11の一面側に形成された支持膜12と、支持膜12上に形成された圧電素子20とを備えている。この超音波トランスデューサー10は、圧電素子20に電圧を印加することで、支持膜12を振動させて超音波の出力する装置である。なお、超音波発信用の超音波トランスデューサーを例示するが、これに限定されず、超音波を支持膜12で受信し、圧電素子20から振動に応じた電気信号を出力する超音波受信用の超音波トランスデューサーに対しても本発明を適用でき、超音波の送受信の双方を実施可能な超音波トランスデューサーに対しても適用できる。
また、本実施形態では、1つの超音波トランスデューサー10の構成のみを例示するが、実際には、複数の超音波トランスデューサー10がアレイ状に配列されて超音波トランスデューサー群を形成している。
また、感光性フィルム11に形成される開口部111は、当該感光性フィルム11を厚み方向からみた平面視(センサー平面視)で円形状に形成されることが好ましい。これにより、開口部111を閉塞する支持膜12(メンブレン121)において、メンブレン121の撓みに対する応力を均一にすることができる。また、開口部111の径寸法としては、超音波トランスデューサー10から発信させる超音波の周波数に応じて適宜設定され、例えば20〜100μmに形成されている。なお、本実施形態では、センサー平面視において、開口部111が円形である例を示すがこれに限定されず、例えば、短冊状(矩形状)に形成される構成としてもよい。
メンブレン121は、圧電素子20が積層されることで、圧電素子20の駆動により膜厚方向に振動して超音波を出力する部分である。
下部電極層21は、センサー平面視において、メンブレン121の内側領域に形成され、上層に圧電層22が積層される。また、下部電極層21の外周縁からは、下部電極線211が接続され、当該下部電極線211は、支持膜12の外周端縁に設けられた下部電極端子(図示略)に接続されている。
そして、この圧電層22は、下部電極層21と、上部電極層23とに電圧が印加されることで、面内方向に伸縮する。このとき、圧電層22の一方の面は、下部電極層21を介して支持膜12のメンブレン121に接合されるが、他方の面には、上部電極層23が形成されるものの、この上部電極層23上には他の層が積層形成されないため、圧電層22の支持膜12側が伸縮しにくく、上部電極層23側が伸縮し易くなる。このため、圧電層22に電圧を印加すると、開口部111側に凸となる撓みが生じ、メンブレン121を撓ませる。したがって、圧電層22に交流電圧を印加することで、メンブレン121が膜厚方向に対して振動し、このメンブレン121の振動により超音波が出力される。
上部電極層23は、センサー平面視において、圧電層22上に積層され、かつ下部電極層21と絶縁される配置位置にパターニングされている。また、上部電極層23の外周縁からは、上部電極線231が接続され、当該上部電極線231は、支持膜12の外周端縁に設けられた上部電極端子に接続されている。
また、本実施形態では、超音波発信用のセンサーアレイ1を例示するが、例えば超音波受信用のセンサーアレイ1では、複数の超音波トランスデューサー10を電気的に直列に接続する構成、例えば、1つの超音波トランスデューサー10の下部電極線211と、この超音波トランスデューサー10に隣り合って配置される超音波トランスデューサー10の上部電極線231とを接続する構成としてもよい。このような構成では、超音波受信時に各超音波トランスデューサー10から出力される電流が加算されることで、超音波の受信感度を向上させることができる。
次に、上述のような超音波トランスデューサー10の製造方法について、図面に基づいて説明する。
図3は、超音波トランスデューサー10の製造工程を示すフローチャートである。図4及び図5は、図2の各工程における状態を示す断面図である。
超音波トランスデューサー10を製造するためには、まず、例えばSi製の基板31に対して成膜工程S1を実施する。
この成膜工程S1では、基板31を熱酸化処理し、基板31の一面側にSiO2層(第二支持膜12B)を形成する。さらに、この第二支持膜12B上にZr層をスパッタリングにより成膜し、このZr層を酸化することで第三支持膜12Cを形成する。
なお、本実施形態では、基板31の表面を酸化することで第二支持膜12Bを形成するが、例えば、基板31の表面に第二支持膜12Bをスパッタリング等により積層形成してもよい。
この後、第三支持膜12C及び下部電極層21上にPZTを成膜し、例えばフォトリソグラフィ法を用いてパターニングして圧電層22を形成する。なお、圧電層22の成膜では、MOD(Metal Organic Decomposition)法を用い、例えばトータル厚み寸法が1.4μmとなるように形成する。
この後、第三支持膜12C、下部電極層21、及び圧電層22上に、例えばスパッタリングなどにより導電層を均一に成膜し、例えばフォトリソグラフィ法を用いて上部電極層23を形成する。この上部電極層23を形成用の導電性膜は、下部電極層21と同様に、導電性を有するいかなる素材を用いてもよい。なお、本実施形態では、Ir膜を用い、厚み寸法が例えば50nmとなるように形成する。
以上により、図4(A)に示すように、第三支持膜12C上に圧電素子20が形成される。
ここで、ガラス基板321は、後述する支持膜調整工程S4において形成される支持膜12が、フィルム貼付工程(樹脂製基体形成工程)フィルム貼付工程S5、開口部形成工程S6において湾曲しないように補強する基板であり、支持膜12を保持可能な強度、厚み寸法を有している。また、剥離層322は、ガラス基板321と樹脂層323とを接着する層であり、例えば紫外線照射により容易に破壊可能な素材により形成されている。また、樹脂層323は、第三支持膜12C、圧電素子20に対して接着可能な樹脂により形成されており、例えば紫外線硬化樹脂等により形成される。
この時、本実施形態では、基板31を全て切削により除去するのではなく、僅かな厚み寸法の基板31を残すことで、支持膜12の第一支持膜12Aを形成する。なお、第一支持膜12Aの厚み寸法としては、後述する開口部形成工程S6において光を照射した際に、照射された光が透過しない程度の厚み寸法に形成されていればよい。
そして、この支持膜調整工程S4により、切削、研磨された面が本発明の支持膜の第二面を構成する第二膜表面12Eとなる。
具体的には、開口部形成工程S6では、まず、フォトリソグラフィ法等を用いて、フィルム貼付工程S5により貼付された感光性フィルム11の表面に、開口部111の形成位置のみが開口するマスクパターンMを形成する。そして、感光性フィルム11の表面の法線方向から、当該感光性フィルム11を劣化させて除去するための光(例えば紫外光)を照射する。そして、感光性フィルム11のうち、感光により劣化した部分を例えば溶解液に溶解させて除去し、開口部111を形成する。
この時、支持膜調整工程S4において、Si基板31の一部により第一支持膜12Aが形成されているため、照射された光が第一支持膜12Aにより遮断され、第二支持膜12B,第三支持膜12C側に透過せず、開口部111を精度よく形成することができる。つまり、第二支持膜12B及び第三支持膜12Cは透光性を有するため、開口部形成工程S6において照射された光が透過すると、圧電素子20の例えば下部電極層21等により透過光が反射される。この時、感光性フィルム11、第二支持膜12B,第三支持膜12Cはそれぞれ屈折率が異なるため、反射光が感光性フィルム11の法線方向に対して傾斜する方向に反射される場合がある。また、圧電素子20により透過光が乱反射される場合もある。このような反射光が感光性フィルム11に入射すると、マスクパターンMによりマスクされた部位の感光性フィルム11が除去される場合があり、開口部111の開口形状(メンブレン121の平面形状)が変化してしまう。これに対して、第一支持膜12Aが形成されていることで、開口部111を形成するための光が第一膜表面12D側に透過しないため、反射光による感光性フィルム11の劣化がなく、マスクパターンMにより設定された所望の位置に開口部111を精度よく形成することが可能となる。
以上により、図1に示すような超音波トランスデューサー10を備えたセンサーアレイ1が製造される。
上述したような超音波トランスデューサー10では、以下のような効果を奏することができる。
本実施形態の超音波トランスデューサー10は、開口部111が形成された感光性フィルム11と、感光性フィルム11の開口部111を閉塞するメンブレン121を備えた支持膜12と、支持膜12のメンブレン121上に設けられた圧電素子20と、を備えている。このような超音波トランスデューサー10では、感光性フィルム11が可撓性を有し、かつ、支持膜12は、メンブレン121を振動させる程度の厚み寸法を有するものであるため、例えば支持膜12を支持する支持体がシリコン基板などの半導体基板により形成される構成に比べて柔軟性を有する。したがって、超音波トランスデューサー10は可撓性を有し、測定対象に応じて自由に面形状を変形させることができる。
次に、本発明に係る第二実施形態について、図面に基づいて説明する。
本実施形態では、本発明の超音波トランスデューサーの適用装置の一例として、生体検査装置を説明する。
図6は、第二実施形態における生体検査装置の概略構成を示す斜視図であり、(A)は、生体検査装置の表面側、(B)は生体検査装置の裏面側を示す図である。
図6において、生体検査装置100は、超音波により生体内の器官である血管の状態を測定する装置である。この生体検査装置100は、図6に示すように、装置本体101と、装置本体101に接続されるバンド102を備えている。そして、このような生体検査装置100は、裏面を生体に密着させた状態でバンド102を締めることで生体に装着され、例えば24時間血管の状態を監視、測定することが可能となる。
密着層107は、生体検査装置100を生体の皮膚に対して接触させ、バンド102により固定した際に、生体の皮膚に対して密着される層である。この密着層107は、例えばシリコーンゴムなど、音響インピーダンスが生体とほぼ同等の素材により形成されている。そして、この密着層107は、センサーアレイ1を構成する超音波トランスデューサー10の圧電素子20や下部電極線211や上部電極線231等の配線パターンなどを外圧から保護する層としても機能する。
また、センサーアレイ1は、上述したように、可撓性を有する感光性フィルム11をベースとして構成されているため、面形状を自由に変形させることができる。したがって、密着層107を生体に密着させると、センサーアレイ1の面形状も変形される。これにより、各超音波トランスデューサー10と生体との距離を略均等に維持することができ、生体検査における精度が向上する。
補強部108は、センサーアレイ1を保持する枠状の部材であり、例えばセンサーアレイ1の外周縁に沿って固定されている。これにより、センサーアレイ1の過剰な変形による破損等が防止される。
上述したような生体検査装置100の生体センサー106は、上記第一実施形態で説明したようなセンサーアレイ1と、センサーアレイ1の支持膜12上に設けられる密着層107とを備えている。ここで、上述したように、センサーアレイ1は、可撓性を有し、任意の面形状に変形可能であるため、密着層107が生体の皮膚に接触して弾性変形すると、密着層107の変形に応じてセンサーアレイ1の面形状も変形する。このため、センサーアレイ1の面形状は、生体の皮膚に応じた形状となる。このような構成では、各超音波トランスデューサー10と皮膚との距離が均一となるので、各超音波トランスデューサー10から発信された超音波が生体に到達するまでの時間が同じになり、測定誤差を小さくすることができる。また、密着層107の変形に対してセンサーアレイ1の面形状が変化しない場合、密着層107からメンブレン121に加わる応力が一部に集中し、その箇所では、メンブレン121の振動が抑制されるおそれがある。これに対し、密着層107の変形に応じてセンサーアレイ1が変形する場合では、密着層107からの応力を均一に受けることができ、メンブレン121を良好に振動させることができる。したがって、生体センサー106を生体に確実に密着させるべく、生体検査装置100を生体の測定位置に押し付けた場合でも、安定して超音波トランスデューサー10を駆動させることができる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
また、生体センサーに限らず、例えば、超音波により対象を洗浄する洗浄装置や、超音波により対象の位置を検査する物体検知センサー等、超音波の発信及び受信、又はその双方を実施するいかなる装置にも適用することができる。
Claims (6)
- 開口部が設けられ、可撓性を有する感光性フィルムと、
前記感光性フィルムの前記開口部を閉塞する支持膜と、
前記支持膜のうち前記開口部を閉塞する領域に設けられた圧電素子と、
を具備したことを特徴とした超音波トランスデューサー。 - 請求項1に記載の超音波トランスデューサーが複数設けられたセンサー本体と、
前記センサー本体に接し、生体に対して密着可能な密着層と、
を備えたことを特徴とする生体センサー。 - 開口部が設けられた樹脂製基体と、
前記樹脂製基体の前記開口部を閉塞する支持膜と、
前記支持膜のうち前記開口部を閉塞する領域に設けられた圧電素子と、
を具備した超音波トランスデューサーが複数設けられたセンサー本体と、
前記センサー本体に接し、生体に対して密着可能な密着層と、
を備えたことを特徴とする生体センサー。 - 支持膜の第一面に、第1電極、圧電体、及び第2電極を有する圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、
前記支持膜の前記第一面に、前記圧電素子を覆う補強基板を貼付する補強基板貼付工程と、
前記支持膜の第一面とは反対側の第二面に、可撓性を有する感光性フィルムを貼付する感光性フィルム形成工程と、
前記感光性フィルムに光を照射して開口部を形成する開口部形成工程と、
前記補強基板を除去する除去工程と
を備えたことを特徴とする超音波トランスデューサーの製造方法。 - 請求項4に記載の超音波トランスデューサーの製造方法において、
前記圧電素子形成工程の前に、基板の一面側に前記支持膜を構成する膜部材を成膜する成膜工程と、
前記補強基板貼付工程の後で、前記感光性フィルム形成工程の前に、前記基板の前記膜部材が成膜される面とは反対側の面から当該基板を削って所定の膜厚寸法の前記支持膜を形成する支持膜調整工程と、
を備える
ことを特徴とする超音波トランスデューサーの製造方法。 - 請求項5に記載の超音波トランスデューサーの製造方法において、
前記基板は、非透光性を有し、
前記支持膜調整工程は、前記基板の一部を残して、当該基板の一部及び前記膜部材により構成された前記支持膜を形成する
ことを特徴とする超音波トランスデューサーの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011122158A JP5751026B2 (ja) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 超音波トランスデューサー、生体センサー、及び超音波トランスデューサーの製造方法 |
US13/479,937 US8803405B2 (en) | 2011-05-31 | 2012-05-24 | Ultrasonic transducer, biological sensor, and method for manufacturing an ultrasonic transducer |
US14/448,407 US9231190B2 (en) | 2011-05-31 | 2014-07-31 | Method for manufacturing an ultrasonic transducer, biological sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011122158A JP5751026B2 (ja) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 超音波トランスデューサー、生体センサー、及び超音波トランスデューサーの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012253405A JP2012253405A (ja) | 2012-12-20 |
JP5751026B2 true JP5751026B2 (ja) | 2015-07-22 |
Family
ID=47261130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011122158A Active JP5751026B2 (ja) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 超音波トランスデューサー、生体センサー、及び超音波トランスデューサーの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8803405B2 (ja) |
JP (1) | JP5751026B2 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5589826B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2014-09-17 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー |
WO2012014111A2 (en) * | 2010-07-30 | 2012-02-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Thin film ultrasound transducer |
JP5896665B2 (ja) * | 2011-09-20 | 2016-03-30 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置の製造方法 |
JP6065421B2 (ja) | 2012-06-15 | 2017-01-25 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波プローブおよび超音波検査装置 |
WO2014103593A1 (ja) | 2012-12-26 | 2014-07-03 | 富士フイルム株式会社 | ユニモルフ型超音波探触子およびその製造方法 |
JP6182859B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2017-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、超音波測定装置、プローブ及び超音波診断装置、電子機器 |
US9970831B2 (en) | 2014-02-10 | 2018-05-15 | Texas Instruments Incorporated | Piezoelectric thin-film sensor |
WO2015131083A1 (en) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | The Regents Of The University Of California | Variable thickness diaphragm for a wideband robust piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pmut) |
WO2015171224A1 (en) * | 2014-05-09 | 2015-11-12 | Chirp Microsystems, Inc. | Micromachined ultrasound transducer using multiple piezoelectric materials |
JP6476633B2 (ja) | 2014-07-31 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
CN107079447B (zh) * | 2014-09-27 | 2020-07-03 | Lg电子株式会社 | 使用载波聚合的通信方法及其设备 |
US10375578B2 (en) * | 2015-01-29 | 2019-08-06 | Qualcomm Incorporated | EIMTA configuration for LTE in unlicensed spectrum |
US20170208396A1 (en) * | 2016-01-14 | 2017-07-20 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Acoustic Energy Harvesting Device |
US10413272B2 (en) * | 2016-03-08 | 2019-09-17 | Covidien Lp | Surgical tool with flex circuit ultrasound sensor |
JP6724502B2 (ja) * | 2016-04-06 | 2020-07-15 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波装置 |
JP6658291B2 (ja) * | 2016-05-16 | 2020-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、超音波プローブおよび超音波測定装置 |
CN106264603A (zh) * | 2016-07-26 | 2017-01-04 | 麦克思商务咨询(深圳)有限公司 | 超声波感测贴片以及使用该超声波感测贴片的感测装置 |
WO2018207578A1 (ja) | 2017-05-09 | 2018-11-15 | 富士フイルム株式会社 | 圧電マイクロフォンチップおよび圧電マイクロフォン |
JP7056244B2 (ja) * | 2018-03-08 | 2022-04-19 | 株式会社リコー | 計数装置 |
US11050012B2 (en) * | 2019-04-01 | 2021-06-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method to protect electrodes from oxidation in a MEMS device |
CN110112284B (zh) * | 2019-05-27 | 2021-09-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性声电基板及其制备方法、柔性声电装置 |
CN110783326B (zh) * | 2019-10-31 | 2021-12-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种基板及其制备方法、显示面板及显示装置 |
US20210214211A1 (en) * | 2020-01-15 | 2021-07-15 | Stmicroelectronics Pte Ltd | Mems thin membrane with stress structure |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10135528A (ja) | 1996-10-31 | 1998-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品用誘電体膜シート、その製造方法および誘電体素子 |
JPH11254670A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-21 | Nec Corp | インクジェットヘッド |
US6616270B1 (en) * | 1998-08-21 | 2003-09-09 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus comprising the same |
JP5110751B2 (ja) * | 2000-08-24 | 2012-12-26 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波診断装置 |
JP3945292B2 (ja) * | 2002-04-10 | 2007-07-18 | 松下電器産業株式会社 | ダイヤフラム型トランスデューサ |
JP2005051689A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波アレイセンサおよび超音波センサ並びに超音波アレイセンサの製造方法 |
JP4223428B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2009-02-12 | 富士通メディアデバイス株式会社 | フィルタおよびその製造方法 |
JP2006051105A (ja) | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Toshiba Corp | 超音波プローブ及び生体情報計測システム |
JP2006246451A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-09-14 | Kyocera Corp | 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 |
US7401525B2 (en) | 2005-03-23 | 2008-07-22 | Honeywell International Inc. | Micro-machined pressure sensor with polymer diaphragm |
JP2007192649A (ja) | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Toshiba Corp | 3次元超音波検査装置 |
JP2010013327A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物単結晶の微細構造体及びその製造方法、複合圧電材料、積層型圧電振動子、超音波探触子、並びに、超音波診断装置 |
JP5513813B2 (ja) * | 2009-08-31 | 2014-06-04 | 新日本無線株式会社 | Memsマイクロフォンおよびその製造方法 |
JP5413131B2 (ja) | 2009-11-03 | 2014-02-12 | セイコーエプソン株式会社 | センサーアレイ及び圧力センサーの製造方法 |
-
2011
- 2011-05-31 JP JP2011122158A patent/JP5751026B2/ja active Active
-
2012
- 2012-05-24 US US13/479,937 patent/US8803405B2/en active Active
-
2014
- 2014-07-31 US US14/448,407 patent/US9231190B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8803405B2 (en) | 2014-08-12 |
US9231190B2 (en) | 2016-01-05 |
US20150024537A1 (en) | 2015-01-22 |
US20120306316A1 (en) | 2012-12-06 |
JP2012253405A (ja) | 2012-12-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140521 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |