JP6065421B2 - 超音波プローブおよび超音波検査装置 - Google Patents
超音波プローブおよび超音波検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6065421B2 JP6065421B2 JP2012135522A JP2012135522A JP6065421B2 JP 6065421 B2 JP6065421 B2 JP 6065421B2 JP 2012135522 A JP2012135522 A JP 2012135522A JP 2012135522 A JP2012135522 A JP 2012135522A JP 6065421 B2 JP6065421 B2 JP 6065421B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- ultrasonic probe
- diaphragm
- cavity
- signal processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 47
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 21
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 17
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 11
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 41
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 5
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 239000004699 Ultra-high molecular weight polyethylene Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 229920000785 ultra high molecular weight polyethylene Polymers 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4483—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
- A61B8/4494—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer characterised by the arrangement of the transducer elements
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4444—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device related to the probe
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
- B06B1/0629—Square array
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
- B06B1/0662—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
- B06B1/0674—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface and a low impedance backing, e.g. air
Description
複数のキャビティーを設ける基板と、キャビティーに設けられるダイアフラムと、ダイアフラムに設けられる薄膜ピエゾ素子と、複数のキャビティーを連通させる連通路と、連通路と外気と連通させる空気孔と、を備えることを特徴とする。
超音波プローブの筐体の外壁面に空気孔が配置され、空気孔には、空気を通過させ、液体及び固体は通過させない半透過膜が設けられていることを特徴とする。
連通路は複数のキャビティーの全てを連通させることを特徴とする。
ダイアフラムのキャビティー側の面は、湾曲した凹面を有することを特徴とする。
前述した超音波プローブと、超音波プローブから送信される信号に基づいて信号処理を行う信号処理部を有する装置本体と、を備えることを特徴とする。
図1は、本発明の超音波プローブの実施形態を示す斜視図、図2は、図1に示す超音波プローブの超音波トランスデューサーを示す平面図、図3は、図2に示す超音波トランスデューサーの一部を拡大して示す平面図、図4は、図3中のA−A線での断面図、図5は、図4に示す超音波トランスデューサーの一部を拡大して示す断面図である。
なお、以下では、図3〜図5中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」として説明を行う。
また、各図に示すように、互いに直交するX軸、Y軸を想定する。X軸方向が方位方向に対応し、Y軸方向がスライス方向に対応している。
また、超音波プローブ10の筐体200の一部には空気孔220が設けられている。超音波プローブ10は、被検査対象と接触させるセンシング部200aとオペレーターが掴むグリップ部200cを有しており、センシング部200aとグリップ部200cは中間部200bで繋がっている。空気孔220は中間部200bに配置されており、オペレーターが空気孔220を塞いでしまうことが無い外観デザインになっている。
また、基板2の構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、シリコン(Si)等の半導体形成素材が用いられる。これにより、エッチング等により容易に加工することができる。
また、基板2の各超音波素子8に対応する部位には、それぞれ、その超音波素子8のダイアフラム51を形成するための開口部であるところのキャビティー21が形成されている。
キャビティー21において、支持膜5の反対側には、連通路22が設けられており、全てのキャビティー21の空気が連通する構造になっている。連通路22は超音波プローブ10の外装部分に設けられた空気孔220と連結されている。空気孔220には気体は透過させるが、液体や固体は透過させない半透過膜23が設けられている。半透過膜の材料としては、例えば、超高分子量ポリエチレン粉末の焼結多孔質成形体を作製し、これを切削することで実現した超高分子量ポリエチレン多孔質フィルムが用いられる。
なお、前記とは逆に、下部電極用導線71aをGNDに接続してもよい。
また、超音波素子8で超音波を受信する場合、超音波がダイアフラム51に入力されると、ダイアフラム51が膜厚方向に振動する。超音波素子8では、このダイアフラム51の振動により、圧電膜72の下部電極71側の面と上部電極73側の面とで電位差が発生し、上部電極73および下部電極71から圧電膜72の変位量に応じた受信信号(検出信号)(電流)が出力される。この信号は、ケーブル210を介して装置本体300(図6参照)に送信され、装置本体300において、その信号に基づいて所定の信号処理等がなされる。これにより、装置本体300において、超音波画像(電子画像)が形成され、表示される。
また、ダイアフラム51の重心位置の厚さD2は、0.15μm以上1.35μm以下であることが好ましい。これにより、超音波の受信の際の感度をより確実に向上させることができる。
なお、本実施形態では、ダイアフラム51は、厚さ一定部511を有しているが、その厚さ一定部511を省略してもよい。
図6は、本発明の超音波検査装置の実施形態を示すブロック図である。
図6に示すように、超音波検査装置100は、前述した超音波プローブ10と、超音波プローブ10とケーブル210を介して電気的に接続される装置本体300とを備えている。
検査の際は、超音波プローブ10の音響整合部6の表面を検査対象である生体に当接し、超音波検査装置100を作動させる。
そして、超音波トランスデューサー1からは、入力した超音波に応じた検出信号が出力される。この検出信号は、ケーブル210を介して装置本体300の検出信号処理部320に送信され、検出信号処理部320において、所定の信号処理が施され、検出信号処理部320に含まれている図示しないA/D変換器によってディジタル信号に変換される。
Claims (8)
- 複数のキャビティーを設けるシリコン基板と、
前記キャビティーに設けられるダイアフラムと、
前記ダイアフラムに設けられ、複数の行列状に配置されている薄膜ピエゾ素子と、
複数の前記薄膜ピエゾ素子を電気的に接続する複数の導線と、
平面視において前記導線が延在する方向に沿って設けられ、前記複数のキャビティーを連通させる連通路と、
前記連通路と外気と連通させる空気孔と、
を備えることを特徴とする超音波プローブ。 - 前記超音波プローブの筐体の外壁面に前記空気孔が配置され、
前記空気孔には、空気を通過させ液体及び固体は通過させない半透過膜が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の超音波プローブ。 - 前記基板はシリコン基板であることを特徴とする請求項1又は2に記載の超音波プローブ。
- 前記導線は、一方向において隣り合う前記薄膜ピエゾ素子を電気的に接続することを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の超音波プローブ。
- 前記ダイアフラムの前記キャビティー側の面は、湾曲した凹面を有することを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の超音波プローブ。
- 請求項1乃至5の何れかに記載の超音波プローブと、
前記超音波プローブから送信される信号に基づいて信号処理を行う信号処理部を有する装置本体と、
を備えることを特徴とする超音波検査装置。 - 第1キャビティーおよび第2キャビティーを有する基板と、
前記第1キャビティーおよび第2キャビティーのそれぞれに設けられたダイアフラムと、
前記ダイアフラムに設けられ、複数の行列状に配置されている圧電素子と、
複数の前記圧電素子を電気的に接続する複数の導線と、
平面視において前記導線が延在する方向に沿って設けられ、前記第1キャビティーと、前記第2キャビティーと、外気と、を連通する連通路と、
を備えることを特徴とする超音波プローブ。 - 請求項7に記載の超音波プローブと、
前記超音波プローブから送信される信号に基づいて信号処理を行う信号処理部を有する装置本体と、
を備えることを特徴とする超音波検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012135522A JP6065421B2 (ja) | 2012-06-15 | 2012-06-15 | 超音波プローブおよび超音波検査装置 |
US13/917,118 US9168025B2 (en) | 2012-06-15 | 2013-06-13 | Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus |
CN201310234153.8A CN103512649B (zh) | 2012-06-15 | 2013-06-13 | 超声波探测器及超声波检查装置 |
US14/859,901 US9456803B2 (en) | 2012-06-15 | 2015-09-21 | Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012135522A JP6065421B2 (ja) | 2012-06-15 | 2012-06-15 | 超音波プローブおよび超音波検査装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016250616A Division JP6288235B2 (ja) | 2016-12-26 | 2016-12-26 | 超音波プローブおよび超音波検査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014000122A JP2014000122A (ja) | 2014-01-09 |
JP2014000122A5 JP2014000122A5 (ja) | 2015-07-30 |
JP6065421B2 true JP6065421B2 (ja) | 2017-01-25 |
Family
ID=49756529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012135522A Active JP6065421B2 (ja) | 2012-06-15 | 2012-06-15 | 超音波プローブおよび超音波検査装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9168025B2 (ja) |
JP (1) | JP6065421B2 (ja) |
CN (1) | CN103512649B (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11540813B2 (en) * | 2014-06-10 | 2023-01-03 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Handheld ultrasound imaging systems and methods for cooling transducers and electronics in the probe housing via air circulation through the housing |
JP6212000B2 (ja) * | 2014-07-02 | 2017-10-11 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、並びに圧力センサを用いたマイクロフォン、血圧センサ、及びタッチパネル |
CN112893067B (zh) * | 2014-07-11 | 2022-07-08 | 微创医学科技有限公司 | 多胞元换能器 |
KR102316475B1 (ko) * | 2015-03-23 | 2021-10-21 | 삼성전자주식회사 | 배터리 팩 냉각 제어 장치 및 방법 |
JP2017029209A (ja) * | 2015-07-29 | 2017-02-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波プローブ、及び超音波装置 |
DE102015216163A1 (de) * | 2015-08-25 | 2017-03-02 | Robert Bosch Gmbh | Akustischer Sensor zum Aussenden und/oder Empfangen akustischer Signale |
CN106413563B (zh) * | 2015-08-25 | 2020-01-10 | 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 | 超声换能器 |
JP6776074B2 (ja) * | 2016-09-16 | 2020-10-28 | 株式会社東芝 | 圧電デバイスおよび超音波装置 |
US11039814B2 (en) * | 2016-12-04 | 2021-06-22 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transducers |
JP6753293B2 (ja) * | 2016-12-09 | 2020-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び超音波装置 |
KR101915255B1 (ko) | 2017-01-11 | 2018-11-05 | 삼성메디슨 주식회사 | 초음파 프로브의 제조 방법 및 그 초음파 프로브 |
JP6834538B2 (ja) * | 2017-01-30 | 2021-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波探触子、及び超音波装置 |
US10648852B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-05-12 | Exo Imaging Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers |
CN109269626A (zh) * | 2018-11-26 | 2019-01-25 | 苏州中科速衡电子有限公司 | 一种压电式振动传感器 |
TWI793447B (zh) | 2019-09-12 | 2023-02-21 | 美商艾克索影像股份有限公司 | 經由邊緣溝槽、虛擬樞軸及自由邊界而增強的微加工超音波傳感器(mut)耦合效率及頻寬 |
WO2021055289A1 (en) | 2019-09-20 | 2021-03-25 | Bard Access Systems, Inc. | Automatic vessel detection tools and methods |
US20220071593A1 (en) * | 2020-09-10 | 2022-03-10 | Bard Access Systems, Inc. | Ultrasound Probe with Pressure Measurement Capability |
US11819881B2 (en) | 2021-03-31 | 2023-11-21 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
US11951512B2 (en) | 2021-03-31 | 2024-04-09 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000126184A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-05-09 | Aloka Co Ltd | 超音波探触子及び注水方法 |
US7348712B2 (en) * | 2004-04-16 | 2008-03-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus |
JP4513596B2 (ja) * | 2004-08-25 | 2010-07-28 | 株式会社デンソー | 超音波センサ |
JP4632728B2 (ja) | 2004-09-10 | 2011-02-16 | 株式会社東芝 | 超音波プローブおよび超音波画像診断装置 |
JP2006319945A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-11-24 | Osaka Industrial Promotion Organization | ダイアフラム型センサ素子とその製造方法 |
JP2009071395A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Ritsumeikan | 超音波受信素子及びこれを用いた超音波トランスデューサ |
JP2009182838A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Kyoto Univ | 弾性波トランスデューサ、弾性波トランスデューサアレイ、超音波探触子、超音波撮像装置 |
JP2009055644A (ja) * | 2008-12-08 | 2009-03-12 | Seiko Epson Corp | 超音波トランスデューサ |
JP5293557B2 (ja) | 2008-12-17 | 2013-09-18 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー、超音波トランスデューサーアレイ及び超音波デバイス |
JP5434109B2 (ja) | 2009-02-06 | 2014-03-05 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサーユニット |
JP5310119B2 (ja) | 2009-03-06 | 2013-10-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサーユニット |
CN102440005B (zh) * | 2009-05-25 | 2014-09-24 | 株式会社日立医疗器械 | 超声波换能器及利用该超声波换能器的超声波诊断装置 |
JP2011082624A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 近接超音波センサ |
JP5671876B2 (ja) * | 2009-11-16 | 2015-02-18 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー、超音波センサー、超音波トランスデューサーの製造方法、および超音波センサーの製造方法 |
JP5589826B2 (ja) * | 2010-03-19 | 2014-09-17 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー |
KR101492033B1 (ko) * | 2010-10-15 | 2015-02-10 | 가부시키가이샤 히타치 메디코 | 초음파 트랜스듀서 및 그것을 사용한 초음파 진단 장치 |
JP5751026B2 (ja) | 2011-05-31 | 2015-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー、生体センサー、及び超音波トランスデューサーの製造方法 |
-
2012
- 2012-06-15 JP JP2012135522A patent/JP6065421B2/ja active Active
-
2013
- 2013-06-13 CN CN201310234153.8A patent/CN103512649B/zh active Active
- 2013-06-13 US US13/917,118 patent/US9168025B2/en active Active
-
2015
- 2015-09-21 US US14/859,901 patent/US9456803B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160007963A1 (en) | 2016-01-14 |
US9168025B2 (en) | 2015-10-27 |
US20130338508A1 (en) | 2013-12-19 |
JP2014000122A (ja) | 2014-01-09 |
CN103512649A (zh) | 2014-01-15 |
US9456803B2 (en) | 2016-10-04 |
CN103512649B (zh) | 2018-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6065421B2 (ja) | 超音波プローブおよび超音波検査装置 | |
JP6123171B2 (ja) | 超音波トランスデューサー、超音波プローブおよび超音波検査装置 | |
CN104644211B (zh) | 超声波器件及其制造方法、电子设备及超声波图像装置 | |
US9508916B2 (en) | Ultrasonic transducer device, probe head, ultrasonic probe, electronic machine and ultrasonic diagnostic apparatus | |
CN105310715B (zh) | 压电器件、超声波的器件及图像装置、探测器和电子设备 | |
JP6665667B2 (ja) | 超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波測定装置 | |
TW201338877A (zh) | 超音波轉換器元件晶片、探針、電子機器及超音波診斷裝置 | |
JP6724502B2 (ja) | 超音波装置 | |
TWI632710B (zh) | 超音波轉換器裝置及超音波探針及電子機器及超音波影像裝置 | |
CN107773271B (zh) | 超声波器件、超声波组件以及超声波测定装置 | |
JP6601190B2 (ja) | 圧電モジュール、超音波モジュール及び電子機器 | |
JP2017183867A (ja) | 超音波トランスデューサー、超音波アレイ、超音波モジュール、超音波測定装置、及び電子機器 | |
JP6288235B2 (ja) | 超音波プローブおよび超音波検査装置 | |
JP6752727B2 (ja) | 超音波トランスデューサおよび超音波撮像装置 | |
JP2015100093A (ja) | 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置 | |
JP2022083613A (ja) | 圧電アクチュエーター、超音波素子、超音波探触子、超音波装置、及び電子デバイス | |
JP2021007117A (ja) | 圧電トランスデューサ及び圧電モジュール | |
JP2020039064A (ja) | 静電容量型デバイスおよび圧電型デバイス | |
JP2019165307A (ja) | 超音波センサ | |
JP7312274B2 (ja) | 超音波デバイス及び超音波診断装置 | |
JP2021007118A (ja) | 圧電トランスデューサ及び圧電モジュール | |
CN117943268A (en) | Ultrasonic transducer and method for producing an ultrasonic transducer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150611 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160524 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20160609 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160720 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6065421 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |