JP6776074B2 - 圧電デバイスおよび超音波装置 - Google Patents
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Description
まず、第1実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。
つぎに、第2実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
つぎに、第3実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
第4実施形態では、上述した実施形態における圧電デバイスおよび超音波装置の変形例について説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
つぎに、第5実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。上述した実施形態では、エレメント間の機械的な結合を切断するための構成として、各エレメントの周辺部を物理的に固定する支持体103aが設けられていた。これに対し、第5実施形態では、上述した実施形態とは異なる構成にてエレメント間の機械的な結合を切断する場合について、例を挙げて説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
つぎに、第6実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。上述した第5実施形態では、分離された第1電極101同士を電気的に接続するための構成として、トレンチT1内に設けられたトレンチ内配線501が用いられていた。これに対し、第6実施形態では、トレンチT1の形成によって分離された第1電極101同士を電気的に接続するための構成の他の例について説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
つぎに、第7実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。第7実施形態では、上述した実施形態における圧電デバイスを用いた超音波装置(超音波プローブを含む)について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下の説明では、第1実施形態にかかる圧電デバイス100を用いた場合を例示するが、これに限定されず、他の実施形態にかかる圧電デバイスを用いることも可能である。また、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
つぎに、第8実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。第8実施形態では、上述した第7実施形態にかかる超音波装置700Aの変形例について、例を挙げて説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
つぎに、第9実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。第9実施形態では、上述した第7実施形態にかかる超音波装置700Aの他の変形例について、例を挙げて説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
つぎに、第10実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。第10実施形態では、上述した第7実施形態にかかる超音波装置700Aの変形例として、圧電デバイスを超音波の送信器として用いる超音波プローブを例に挙げて説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。また、以下の説明では、第8実施形態にかかる超音波装置800Aをベースとして説明するが、これに限定されず、第9実施形態またはその他の実施形態にかかる圧電デバイスを用いた超音波装置についても同様に適用することが可能である。
つぎに、第11実施形態にかかる圧電デバイスおよび超音波装置について、図面を参照して詳細に説明する。第11実施形態では、上述した第7実施形態にかかる超音波装置700Aの変形例として、圧電デバイスを超音波の送受信器として用いる超音波診断装置を例に挙げて説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
第12実施形態では、上述した実施形態におけるpMUT素子の構成例について、具体的に説明する。なお、以下の説明では、第3実施形態にかかる圧電デバイス300が備えるpMUT素子を引用して説明するが、その他の実施形態にかかるpMUT素子に対しても同様に適用することが可能である。また、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、その重複する説明を省略する。
Claims (14)
- 支持層と、
前記支持層上に形成される圧電薄膜と、
前記圧電薄膜の第1面に設けられた第1電極と、
電極パッドを備える基板と、
前記基板に対して前記圧電薄膜を固定するように、前記圧電薄膜における前記第1面と反対側の第2面と前記基板における前記電極パッドとの間に設けられた柱状の複数の第1支持体と、
前記圧電薄膜の前記第2面の一部から前記第1支持体の側面を介して前記電極パッドに電気的に接続する複数の第2電極と、
を備え、
前記支持層は、前記圧電薄膜とともに撓むことにより振動可能であり、
前記支持層と、前記圧電薄膜と、前記第1電極と、前記複数の第2電極とは、それぞれが1つの振動要素である複数のダイアフラムを構成し、
前記複数の第1支持体は、各ダイアフラムを区画する位置に設けられ、
前記支持層、前記第1電極、および、前記圧電薄膜は、前記複数のダイアフラムで共通に設けられている
圧電デバイス。 - 前記第2電極は、前記複数の第1支持体と1対1に対応して設けられ、
各第2電極は、前記圧電薄膜の前記第2面の前記一部から前記第1支持体の側面を介して前記電極パッドまで延在している請求項1に記載の圧電デバイス。 - 各第2電極から前記第1支持体の側面を経て前記電極パッドまで延在する複数の補助電極をさらに備え、
前記第2電極は、前記圧電薄膜の前記第2面における前記複数の第1支持体で区画された領域の略中央に設けられている
請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記複数のダイアフラムのうちの少なくとも2つのダイアフラムで構成されるエレメントの周辺部において前記基板に対して前記圧電薄膜を固定するように、前記圧電薄膜の前記第2面と前記基板における前記電極パッドとの間に設けられた第2支持体と、
前記圧電薄膜の前記第2面の一部から前記第2支持体の側面を介して前記電極パッドに電気的に接続する複数の第3電極と、
をさらに備え、
前記第2支持体には、気体が流通するための連通路が設けられている
請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記複数のダイアフラムのうちの少なくとも2つのダイアフラムで構成されるエレメントの周辺部において前記基板に対して前記圧電薄膜を固定するように、前記圧電薄膜の前記第2面と前記基板における前記電極パッドとの間に設けられた第2支持体と、
前記圧電薄膜の前記第2面の一部から前記第2支持体の側面を介して前記電極パッドに電気的に接続する複数の第3電極と、
をさらに備え、
前記基板には、気体が流通するための連通路が設けられている
請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記第1支持体は、前記複数のダイアフラムのうちの少なくとも2つのダイアフラムは、前記圧電薄膜の前記第2面に沿った面積が互いに異なる請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記圧電薄膜の前記第1面側に設けられた保護膜をさらに備える請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記複数のダイアフラムのうちの少なくとも2つのダイアフラムで構成されるエレメントの周辺部には、前記圧電薄膜および前記第1電極を複数に分割するように前記圧電薄膜および前記第1電極を貫通するトレンチが設けられている請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記トレンチによって分割された前記複数の第1電極を電気に接続するように前記トレンチ内に設けられたトレンチ内配線をさらに備える請求項8に記載の圧電デバイス。
- 前記トレンチによって分割された前記複数の圧電薄膜に亘って設けられた導体膜と、
前記トレンチによって分割された前記複数の第1電極と前記導体膜とを電気的に接続する配線と、
をさらに備える請求項8に記載の圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスを備える超音波装置。
- 請求項1に記載の圧電デバイスを備え、
前記複数のダイアフラムは、それぞれ少なくとも2つのダイアフラムを含む複数のエレメントに区画され、
前記基板は、前記複数のエレメントを1つ以上の駆動グループにグループ分けし、前記駆動グループ単位で駆動する駆動回路を含み、
前記圧電デバイスは、各エレメントを区画する第1隔壁を含み、
前記圧電薄膜と前記基板と前記第1隔壁とは、前記エレメントごとに第1空間を形成し、
前記第1隔壁には、第1の駆動グループに属するエレメントの前記第1空間を、前記第1の駆動グループとは異なる第2の駆動グループに属するエレメントの前記第1空間に連通させるための連通路が設けられている
超音波装置。 - 前記連通路のうち少なくとも1つは、外気に連通している請求項12に記載の超音波装置。
- 前記圧電薄膜および前記基板とともに前記第1空間と異なる第2空間を形成する第2隔壁をさらに備え、
前記連通路のうち少なくとも1つは、前記第2空間に連通している請求項12に記載の超音波装置。
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