JP7224190B2 - 超音波トランスデューサ、その製造方法および超音波撮像装置 - Google Patents
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Description
以下、図2を参照して、実施形態1の超音波トランスデューサの構成を詳しく説明する。
つぎに、実施形態1の超音波トランスデューサの製造方法を図3(a)~(e)および図4(a)~(d)を用いて説明する。
まず図3(a)に示すように、基板101上に絶縁層102、下部電極103を順次形成する。絶縁層102や下部電極103は、プラズマCVD法、蒸着法、スパッタリング法など公知の成膜技術により形成することができる。
次に下部電極103の上面に、図3(b)に示すように、スパッタリング法等により金属膜(犠牲層)118を均一性の高い膜厚となるように形成する。犠牲層118は、空洞層105を形成するために一時的に設けられる層であり、後にエッチャントによってエッチング除去される。犠牲層118の材料としては、エッチャントによる除去しやすさやエッチング選択性を考慮し、コバルト(Co)を用いる。犠牲層118には他にもアルミニウム(Al)、チタン(Ti)、クロム(Cr)などを用いることができる。犠牲層118の厚みは空洞層105の高さを決定するものである。
続いて公知の成膜技術により、図3(c)に示すように、犠牲層118の上面に絶縁層104を堆積させる。
続いてリソグラフィ法やドライエッチング法を用いて、図3(d)に示すように、絶縁層104に、犠牲層118の上面まで達する開口104aを形成する。開口104aの面積は、振動空間105bの上部のメンブレンが所定の共振周波数を有するように、メンブレンのサイズに合わせて設定する。
続いて、図3(e)に示すように、絶縁層104と、工程4で形成した開口104aから露出している犠牲層118の上面を覆うように、上部電極107の材料を成膜した後、パターニングする。上部電極107は、空洞層105を形成するために後の工程で形成される上下方向の貫通孔を含む領域(非電極領域107a)を除くようにパターニングする。
続いて公知の成膜技術を用いて、図4(a)に示すように、上部電極107を覆うように絶縁層106を形成する。このとき、非電極領域107aにも、絶縁層106と同じ絶縁材料を埋め込むことが好ましい。
続いて、貫通孔109を、図4(b)に示すように、絶縁層106の上面から非電極領域107aを貫通し、犠牲層118に達するように形成する。
続いて、図4(c)に示すように、貫通孔109からエッチャントEを導入して犠牲層118を溶解させ、空洞層105を形成する。エッチャントには、犠牲層118の周囲の絶縁層104や電極を溶解することなく、犠牲層118を選択的に溶解するものを使用することができ、例えば塩酸を用いることができる。
犠牲層118のエッチングが十分に進んで空洞層105の形成が完了したら絶縁層106の上面に絶縁材料を成膜して、図4(d)に示すように、絶縁層108を形成する。このとき、貫通孔109も絶縁層108と同じ絶縁材料によって充填することが好ましい。以上のような製造方法により、実施形態1の超音波トランスデューサが製造される。
以下、実施形態2の超音波トランスデューサについて、図5を参照し、実施形態1の超音波トランスデューサと異なる点を説明する。実施形態1では、空洞層105が平坦な形状を有している超音波トランスデューサについて説明したが、実施形態2の超音波トランスデューサは、空洞層105が段差形状を有している。
次に、実施形態2の超音波トランスデューサの製造方法を図6(a)~(d)および図7(a)~(c)を用いて説明する。
まず図6(a)に示すように、図3(a)を参照して説明した実施形態1の工程1と同様に基板101上に絶縁層102、下部電極103を順次形成する。下部電極103の上面には、図3(c)の工程3と同様の成膜技術を用いて絶縁層104を成膜する。絶縁層104には、リソグラフィ法やドライエッチング法を用いて、下部電極103の上面まで達する開口104aを形成する。
次に、絶縁層104と、開口104aから露出している下部電極103の上面を覆うように、図6(b)に示すように、金属膜(犠牲層)118を形成する。犠牲層118の材料および膜厚は、実施形態1の工程2と同様である。
続いて、上部電極107の材料を形成した後、図6(c)に示すように、非電極領域107aを除くようにパターニングする。
続いて、図6(d)に示すように、上部電極107を覆うように絶縁層106を形成する。このとき、非電極領域107aにも、絶縁層106と同じ絶縁材料を埋め込むことが好ましい。
続いて、図7(a)に示すように、貫通孔109を、絶縁層106の上面から非電極領域107aを貫通し、犠牲層118に達するように形成する。実施形態2では、絶縁層104が形成されている領域の上部で、犠牲層118に達する貫通孔109を形成するため、犠牲層118が薄くて貫通孔109が犠牲層118を貫通しても、絶縁層104が埋め込み部(貫通孔109の部分)を下部電極103に到達させないストッパとして作用する。
続いて実施形態1の工程8と同様に、図7(b)に示すように、貫通孔109からエッチャントEを導入して犠牲層118を溶解させ、空洞層105を形成する。
犠牲層118のエッチングが十分に進んで空洞層105の形成が完了したら、図7(c)に示すように、絶縁層106の上面に絶縁材料を成膜して絶縁層108を形成する。このとき、貫通孔109も絶縁層108と同じ絶縁材料によって充填することが好ましい。以上のような製造方法により、実施形態2の超音波トランスデューサが製造される。
なお、実施形態2の超音波トランスデューサは空洞層105が上部電極107の段差形状に沿った段差形状を有している構造としたが、図8に示すように、絶縁層104が上部電極107の段差形状に沿った段差形状を有している構造であってもよい。本変形例の超音波トランスデューサは、空洞層105が平坦な形状であり、駆動時に振動する振動空間の下部に絶縁層104の角部や壁面が位置していない。そのためこの超音波トランスデューサでは、駆動時に上部電極107が振動しても絶縁層104の角部や側面に接触にくく、駆動信頼性がより向上する。
以下、実施形態3の超音波トランスデューサについて、図9を参照して説明する。実施形態1では、下部電極103が平坦な形状で上部電極107が段差形状を有している超音波トランスデューサについて説明したが、実施形態3の超音波トランスデューサは、上部電極107が平坦な形状で下部電極103が段差形状を有している。なお実施形態3の超音波トランスデューサでは、空洞層105は、実施形態1の超音波トランスデューサの空洞層と同様に平坦な形状を有している。
次に、実施形態3の超音波トランスデューサの製造方法を図10(a)~(f)および図11(a)~(e)を用いて説明する。
まず図3(a)を参照して説明した実施形態1の工程1と同様に、図10(a)に示すように基板101上に絶縁層102を順次形成する。
次に、リソグラフィ法やドライエッチング法を用いて、図10(b)に示すように、絶縁層102を段差形状にパターニングする。このとき、絶縁層102の段差の高さが後の工程で形成する絶縁層104の高さと等しくなるように、絶縁層102をパターニングする。
続いて、図10(c)に示すように、絶縁層102を覆うように下部電極103を均一な膜厚で成膜する。
続いて、図10(d)に示すように、下部電極103の全面を覆うように絶縁材料を形成する。
続いて工程4で形成した絶縁材料をエッチングして、図10(e)に示すように、下部電極103の段差形状の上段の上面が露出するように、絶縁層104を形成する。これにより、絶縁層104の上面が下部電極103の上面と同じ高さになる。
続いて、絶縁層104と下部電極103の上面に、図10(f)に示すように、スパッタリング等により犠牲層118を形成する。犠牲層118の材料および膜厚は、実施形態1の工程2と同様とすることができる。工程5で形成した絶縁層104の上面が下部電極103の上面と同じ高さのため、犠牲層118は平坦な形状となる。
続いて、犠牲層118の上面に上部電極107の材料を形成した後、図11(a)に示すように、非電極領域107aを除くようにパターニングする。
続いて、図11(b)に示すように、上部電極107を覆うように、絶縁層106を形成する。このとき、非電極領域107aにも、絶縁層106と同じ絶縁材料を埋め込むことが好ましい。
続いて、貫通孔109を、図11(c)に示すように、絶縁層106の上面から非電極領域107aを貫通し、犠牲層118に達するように形成する。
続いて実施形態1の工程8と同様に、図11(d)に示すように、貫通孔109からエッチャントEを導入して犠牲層118を溶解させ、空洞層105を形成する。
犠牲層118のエッチングが十分に進んで空洞層105の形成が完了したら、図11(e)に示すように、絶縁層106の上面に絶縁材料を塗布して絶縁層108を形成する。このとき、貫通孔109も絶縁層108と同じ絶縁材料によって充填することが好ましい。以上のような製造方法により、実施形態3の超音波トランスデューサが製造される。
以下、本発明の超音波撮像装置100について図12を用いて説明する。
超音波撮像装置100は、超音波トランスデューサ10と、超音波トランスデューサ10の駆動を制御しながら超音波画像を生成する装置本体1とを少なくとも備えている。
Claims (11)
- 上下一対の電極と、
前記一対の電極に直接挟まれている振動用空間を有している空洞層と、
前記一対の電極に挟まれており、かつ、前記振動用空間の周囲に配置されている絶縁層とを備え、
前記絶縁層の上下方向の厚さが、前記空洞層の上下方向の厚さよりも厚く、
前記空洞層の上下を挟む位置に配置されている前記一対の電極の電極間距離が、前記絶縁層の上下を挟む位置に配置されている前記一対の電極の電極間距離よりも小さくなるように、前記一対の電極の少なくとも一方は段差形状を有しており、
前記空洞層は、前記段差形状をなす電極と前記絶縁層との間に、前記段差形状に沿った非振動用空間を有していることを特徴とする超音波トランスデューサ。 - 前記一対の電極のうち下側の電極は平坦な形状を有しており、
前記一対の電極のうち上側の電極は、前記振動用空間の上面に配置されている領域が前記絶縁層の上面に配置されている領域よりも低くなるような段差形状を有していることを特徴とする請求項1に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記一対の電極のうち上側の電極は平坦な形状を有しており、
前記一対の電極のうち下側の電極は、前記振動用空間の下面に配置されている領域が前記絶縁層の下面に配置されている領域よりも高くなるような段差形状を有していることを特徴とする請求項1に記載の超音波トランスデューサ。 - 前記絶縁層の前記厚さは前記空洞層の前記厚さの5倍以上であることを特徴とする請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- 複数のトランスデューサ素子が配置されている超音波トランスデューサであって、前記トランスデューサ素子は請求項1に記載の超音波トランスデューサであることを特徴とする超音波トランスデューサ。
- 基板の上に、第1の絶縁層と第1の電極をこの順に積層する工程と、
前記第1の電極の上に、犠牲層および第2の絶縁層を積層する工程と、
前記犠牲層および前記第2の絶縁層を覆う第2の電極を積層する工程と、
前記第2の電極の上に第3の絶縁層を積層する工程と、
前記第3の絶縁層から前記犠牲層までを貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔を介して前記犠牲層をエッチング除去して空洞層を形成する工程と、
前記貫通孔に絶縁材料を埋め込む工程とを含み、
前記犠牲層と前記第2の絶縁層を積層する工程は、前記第2の絶縁層の上下方向の厚さが、前記犠牲層の上下方向の厚さよりも厚くなるように、前記犠牲層と前記第2の絶縁層を積層する工程であり、
前記犠牲層および前記第2の絶縁層を積層する工程は、
前記第1の電極の上に前記第2の絶縁層を成膜する工程と、
成膜した前記第2の絶縁層のうち、前記空洞層の前記第1の電極と前記第2の電極とに直接挟まれる振動用空間を形成する領域に配置されている前記第2の絶縁層を取り除く工程と、
前記第2の絶縁層を取り除いたことで露出する前記第1の電極と、前記第2の絶縁層とを覆うように前記犠牲層を成膜する工程とを含む
ことを特徴とする超音波トランスデューサの製造方法。 - 前記犠牲層および前記第2の絶縁層を積層する工程は、
前記第1の電極の上に前記犠牲層を成膜する工程と、
前記犠牲層の上に前記第2の絶縁層を成膜する工程と、
成膜した前記第2の絶縁層のうち、前記空洞層の前記第1の電極と前記第2の電極とに直接挟まれる振動用空間を形成する領域の上部に配置されている前記第2の絶縁層を取り除く工程と、を含むことを特徴とする請求項6に記載の超音波トランスデューサの製造方法。 - 前記第1の絶縁層は、
前記第1の電極と前記第2の電極とで前記犠牲層を直接挟む領域の下部の領域が、前記直接挟む領域の下部以外の領域よりも、前記基板からの高さが高い段差形状を有するように形成される
ことを特徴とする請求項6に記載の超音波トランスデューサの製造方法。 - 請求項1に記載の超音波トランスデューサを備えていること特徴とする超音波撮像装置。
- 請求項5に記載の超音波トランスデューサを備えていること特徴とする超音波撮像装置。
- 検査対象に超音波を送信する送信用超音波トランスデューサと、
前記検査対象から反射された超音波を受信する受信用超音波トランスデューサとそれぞれ有し、
前記受信用超音波トランスデューサは、請求項1に記載の超音波トランスデューサであることを特徴とする超音波撮像装置。
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