JP2013165753A - 超音波探触子及びそれを用いた超音波診断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板5と、基板5上に形成される絶縁膜と、基板5と前記絶縁膜との間に形成される空洞17と、基板5に対して平行に空洞17を挟んで設けられる一対の電極7,11と、を備える超音波送受信素子2を有する超音波探触子1において、超音波送受信素子2は、一対の電極7,11のうちの基板5から離れた電極11の上に、応力の異なる材料からなる膜が積層されてなる多層構造の梁部100が設けられ、梁部100は、引張応力を与える膜と圧縮応力を与える膜とが積層されてなることを特徴とする、超音波探触子1。
【選択図】図3
Description
図1に示すように、本実施形態の超音波探触子1は、cMUT素子2と、バッキング3と、フレキ基板4と、コネクタ91と、配線92と、回路基板97と、接続端子98とを備える。超音波探触子1は、例えば医療機関における人体検査(心臓、血管等の循環器検査、腹部検査等)に用いられる。
超音波探触子1に適用されるcMUT素子2の表面(音響レンズ94に対応する面)を拡大した様子が図3である。なお、cMUT素子2は通常複数のセルにより構成されている。そのため、図3には、当該複数のセルのうちの一つのセルを拡大して示している。
図5は、図3に示すcMUT素子2の変更例である。なお、図5に示すcMUT素子2aにおいて、図3に示すcMUT素子2と同じ部材については同じ符号を付すものとし、その詳細な説明は省略する。
図3に示すcMUT素子2、図5に示すcMUT素子2a、並びに比較例のcMUT素子(図示せず)のそれぞれについて、メンブレンの間隔変動量について検討した。なお、比較例のcMUT素子においては、梁部が設けられるとともに、梁部の最上層膜より下の絶縁膜が二酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の2層構造のものである。即ち、図3に示すcMUT素子2において、絶縁膜12,13a,13bが省かれた梁部100及びリム部101を備えるcMUT素子である。
次に、本実施形態の超音波探触子を備える超音波診断装置(本実施形態の超音波診断装置)について、図8を参照しながら説明する。即ち、図8は、前記の超音波探触子1を備える超音波診断装置201を示す図である。
以上、具体的な実施形態を挙げて本実施形態を説明したが、本実施形態は前記の内容に何ら制限されるものではない。例えば、各絶縁膜を構成する材料としては、前記の実施形態においては二酸化ケイ素及び窒化ケイ素を用いているが、引張応力を与える材料と圧縮応力を与える材料とを適宜組み合わせて用いればよい。
2 cMUT素子(超音波送受信素子)
3 バッキング
4 フレキ基板
6 絶縁膜
7 下電極(電極)
8 絶縁膜
9 絶縁膜
10 絶縁膜
11 上電極(電極)
12 絶縁膜(第2の絶縁膜)
13a、13b 絶縁膜(第1の絶縁膜)
14a、14b 絶縁膜(第2の絶縁膜)
15a、15b 絶縁膜(第1の絶縁膜)
16 絶縁膜
17 空洞
18a、18b 絶縁膜
20 リム端
21 空洞端
41 樹脂
42 ワイヤ
43 ケース
44 樹脂
45 樹脂
46 樹脂
47 封止樹脂
91 コネクタ
92 配線
94 音響レンズ
95 被検体
97 回路基板
98 接続端子
100 梁部
101 リム部
102 メンブレン
103 応力中立面
104 梁中立面
105 上面端部
106 上面
201 超音波診断装置
204 超音波送受信部
205 超音波画像形成部
206 表示部
207 制御部
208 コントロールパネル
Claims (10)
- 基板と、前記基板上に形成される絶縁膜と、前記基板と前記絶縁膜との間に形成される空洞と、前記基板に対して平行に前記空洞を挟んで設けられる一対の電極と、を備える超音波送受信素子を有する超音波探触子において、
前記超音波送受信素子は、
前記一対の電極のうちの前記基板から離れた電極の上に、応力の異なる材料からなる膜が積層されてなる多層構造の梁部が設けられ、
前記梁部は、引張応力を与える膜と圧縮応力を与える膜とが積層されてなる
ことを特徴とする、超音波探触子。 - 請求項1に記載の超音波探触子において、
前記梁部に含まれる膜の層数は、前記梁部以外の部位を構成する絶縁膜の層数よりも多くなっている
ことを特徴とする、超音波探触子。 - 請求項1又は2に記載の超音波探触子において、
前記引張応力を与える膜、並びに、前記圧縮応力を与える膜は、絶縁膜である
ことを特徴とする、超音波探触子。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載の超音波探触子において、
前記基板上に形成されている絶縁膜の前記基板に垂直な方向の応力中立面が、前記梁部の前記基板に垂直な方向の梁中立面よりも、前記基板から離れた位置に存在する
ことを特徴とする、超音波探触子。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載の超音波探触子において、
前記超音波送受信素子の外表面には引張応力を与える膜が形成され、
前記梁部は、前記基板に近い方から、引張応力を与える膜、圧縮応力を与える膜、引張応力を与える膜、及び圧縮応力を与える膜がこの順で積層されてなる
ことを特徴とする、超音波探触子。 - 請求項1〜5の何れか1項に記載の超音波探触子において、
前記引張応力を与える膜は窒化ケイ素であり、
前記圧縮応力を与える膜は二酸化ケイ素である
ことを特徴とする、超音波探触子。 - 請求項1〜6の何れか1項に記載の超音波探触子において、
前記超音波送受信素子の外表面には引張応力を与える膜が形成され、
前記梁部の最上膜として、前記外表面の引張応力を与える膜に接して、タングステン、炭化タングステン、ほう化タングステン、窒化チタン、炭化チタン、モリブデン、ほう化モリブデン、炭化モリブデン、ほう化チタン及び炭化ケイ素からなる群より選ばれる1種以上の膜が形成されている
ことを特徴とする、超音波探触子。 - 請求項1〜7の何れか1項に記載の超音波探触子において、
前記基板上に形成される膜の応力の総和が引張応力である
ことを特徴とする、超音波探触子。 - 請求項1〜8の何れか1項に記載の超音波探触子において、
前記梁部に離間してリム部が設けられ、
前記リム部は、応力の異なる材料からなる膜が積層されてなる多層構造であり、
前記リム部が、前記空洞の端部よりも前記空洞側に張り出している
ことを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1〜9の何れか1項に記載の超音波探触子を備える
ことを特徴とする、超音波診断装置。
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