JP2007259165A - 超音波送受信デバイス,超音波探触子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超音波を送受信するために必要な空洞であるギャップ16より上方に位置する膜のうち、第4の絶縁膜19を圧縮応力の酸化シリコン膜に、第5の絶縁膜20を引張り応力の窒化シリコン膜とする。
【効果】圧縮応力と引張応力が相殺し、ギャップ上部膜の反りが低減する。また、第4の絶縁膜19と第5の絶縁膜20の膜圧を調整すれば、反り量の調整が可能である。
【選択図】図2
Description
Mechanical Systems)技術による微細加工を適用する。これらの微細加工技術は、シリコンをベース基板としたものであり、その上に絶縁膜,金属膜を積層して、フォトリソグラフィー,エッチングによりパターンを形成する。特許文献1にあるように、ギャップ上部膜として、絶縁膜に窒化シリコン、上部電極に金属膜、その上に保護層として窒化シリコンを積層した構造では、各膜の内部応力の差(バイメタル効果)でギャップ上部膜に反りが発生し、ギャップ間隔が変化して、超音波送受信デバイスの電気信号の条件に影響する。また、上部電極とシリコン基板との間の絶縁膜が窒化シリコンの場合、電極への電圧印加により窒化シリコン内に電荷注入が起こりやすく、超音波探触子の特性にドリフト等の影響を及ぼす可能性が高い。
10aが数千から数万で超音波送受信デバイス10を形成する。図示した8個の超音波送受信セル10aの周囲にも他の超音波送受信セル10aが配列されているが、図示は省略してある。本実施例では、六角形の超音波送受信セル10aを示しているが、円形、または多角形でも良く、高密度に配列できる形状が好ましい。
40の先端に超音波送受信デバイス10を備えており、超音波送受信デバイスからは、コネクタ41につながる配線42が接続されている。コネクタ41は、超音波送受信デバイス10を超音波送受信デバイス10から、配線42を有するフレキ基板46とを接続し、フレキ基板46のコネクタ41を介して、外部接続システム(図示せず)と接続する。外部接続システムは、超音波送受信デバイス10に電気信号を与えて駆動させるとともに被検体からの受波を画像化させるものである。超音波送受信デバイス10の先には、被検体と音響インピーダンスをマッチングさせるシリコゲルからなる整合層43を備えている。超音波送受信デバイス10のシリコンと被検体との間の音響インピーダンスが大きいため、その界面で反射が大きくなる。整合層43は、この反射を小さくするために,音響インピーダンスをマッチングさせるシリコンゲルを入れている。整合層43の先には、超音波送受信デバイスから発生した超音波を被検体方向にフォーカスするためのシリコン樹脂の音響レンズ44を備えている。超音波送受信デバイス10は、整合層43,音響レンズ
44を経て、人体等の被検体45に超音波を送受信する。
25を発生させ、ギャップ16上部の第3,第4,第5の絶縁膜17,19,20を振動させることによって、超音波26を発生させる(図3(b))。一方、超音波の受信を行うためには、あらかじめ直流電圧印加によりギャップ16を変形させておき(図3(c))、被検体から反射した超音波27をギャップ16に入射することでギャップ16が伸縮し、上部膜17,18,19,20に振動28を誘起する(図3(d))。この際に下部電極14と上部電極18との間隔が変化して静電容量が変化し、これによって生じた交流電流を検出回路29でとらえることで行う。
CVDで第3の絶縁膜17を200nmを積層する(図4(c))。次に、上部電極18を400nm、第4の絶縁膜19を1200nm順次形成した後に、フォトリソ/エッチングにより犠牲層30除去用の貫通孔31を形成する(図4(d))。犠牲層30をエッチングしてギャップ16を形成した(図(e))後、孔埋め用の第5の絶縁膜20を800nm積層して、犠牲層30除去用の貫通孔31を埋める(図4(f))。
(−150MPa)の酸化シリコンの膜を、第5絶縁膜20に引張応力(100MPa)の窒化シリコンを積層する。ここで例えば、第4の絶縁膜19の酸化シリコン膜を800nm、第5の絶縁膜20の窒化シリコン膜を1200nmとすることで、被検体側(図面の上方)に数十nm変形させた構造で超音波送受信デバイスを形成できる。また、第4絶縁膜19に圧縮応力の酸化シリコンを200nm、第5絶縁膜20に引張応力の窒化シリコンを1800nm積層することでギャップ側に数十nm変形させた構造で超音波送受信デバイスを形成できる。したがって、第4絶縁膜19および第5絶縁膜20の内部応力,膜厚を制御することでギャップ上部膜の変位量を制御できる。なお、本実施例では第4絶縁膜19を圧縮応力の酸化シリコン膜、第5絶縁膜を引張応力の窒化シリコン膜としたが、これに限られず、第4絶縁膜19を圧縮応力の窒化シリコン膜、第5絶縁膜を引張応力の酸化シリコン膜としてもよい。また、更に多層の絶縁膜としても、圧縮応力の膜と引張り応力の膜の組み合わせが含まれていれば、それらの内部応力と膜圧を適宜選択することにより、上部絶縁膜の反りを調整できるという本願発明の効果を奏する。最後に保護膜
21を第5の絶縁膜上に設置する。保護膜21としては、半導体素子等に使用されているポリイミドを用いるのが好ましい。
17,19,20の剛性を高くすることで、反りを低減することができる。上部電極18の面積が、ギャップ16の水平面方向の面積の70%以上あれば、上部電極18の端部からギャップ16の端部までの距離が小さくなり、本願発明の効果を有することとなる。上部電極18の面積がギャップのギャップ16の水平面方向の面積よりも大きくし、上部電極18の端部がギャップ16の端部よりも外側にあるようにすれば、更に望ましい。この実施例の利点としては、上部電極18を大きくするだけなので、製造方法が従来と同様であること、ギャップ端部の剛性を上げることに加えて、電圧印加時に上部電極18の端部に発生する電荷集中による電荷注入しやすい箇所をギャップ16の端部もしくはその外部に配置できるため、超音波送受信デバイスの電気的ドリフトによる特性変化を低減できることが挙げられる。
27…超音波、30…犠牲層、31…貫通孔。
Claims (15)
- 超音波を送受信する超音波送受信デバイスにおいて、
半導体基板と、
前記半導体基板より上に設けられた下部電極と、
前記下部電極より上に設けられたギャップと、
前記ギャップの上に設けられた第3の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜よりも上に設けられる上部電極と、
前記上部電極より上に設けられた第4の絶縁膜と、
前記第4の絶縁膜上に設けられた第5の絶縁膜とを備え、
前記第4絶縁膜と、第5絶縁膜は、引張応力の膜と圧縮応力の組み合わせであることを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 請求項1において、
前記第4の絶縁膜は、圧縮応力の膜であり、
前記第5の絶縁膜は、引張応力の膜であることを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 請求項2において、
前記第4の絶縁膜は、酸化シリコンの膜であり、
前記第5の絶縁膜は、窒化シリコンの膜であることを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 超音波を送受信する超音波送受信デバイスにおいて、
半導体基板と、
前記半導体基板より上に設けられた下部電極と、
前記下部電極より上に設けられたギャップと、
前記ギャップの上に設けられた第3の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜よりも上に設けられる上部電極と、
前記上部電極より上に設けられた第4の絶縁膜と、
前記第4の絶縁膜上に設けられた第5の絶縁膜とを備え、
前記第4絶縁膜と、第5絶縁膜は、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の組み合わせであることを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 請求項4において、
前記第4の絶縁膜は、酸化シリコン膜であり、
前記第5の絶縁膜は、窒化シリコン膜であることを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 請求項1または請求項4において、
前記半導体基板上に設けられた第一の絶縁膜と、
前記第一の絶縁膜上に設けられる前記下部電極と、
前記下部電極の上に設けられた第二の絶縁膜とを備え、
前記第一,第二及び第3の絶縁膜は、酸化シリコンで形成されることを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 超音波を送受信する超音波送受信デバイスにおいて、
半導体基板と、
前記半導体基板より上に設けられた下部電極と、
前記下部電極より上に設けられたギャップと、
前記ギャップの上に設けられた第3の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜よりも上に設けられる上部電極と、
前記上部電極より上に設けられた第4の絶縁膜と、
前記第4の絶縁膜上に設けられた第5の絶縁膜とを備え、
前記第3の絶縁膜,前記第4の絶縁膜,前記第5の絶縁膜は、引張応力の膜と圧縮応力の膜とを含むことを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 超音波を送受信する超音波送受信デバイスにおいて、
半導体基板と、
前記半導体基板より上に設けられた下部電極と、
前記下部電極の上に設けられた第二の絶縁膜と、
前記下部電極より上に設けられたギャップと、
前記ギャップの上に設けられた第3の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜よりも上に設けられる上部電極と、
前記上部電極より上に設けられた第4の絶縁膜と、
前記第4の絶縁膜上に設けられた第5の絶縁膜とを備え、
前記第2の絶縁膜及び前記第3絶縁膜は、酸化シリコン膜であり、
前記第4絶縁膜と第5絶縁膜のいずれか一つは、窒化シリコン膜であることを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 請求項1において、
前記第4の絶縁膜または前記第5の絶縁膜は、その膜上端は、前記ギャップの周囲の上の膜上端が、前記ギャップの中心の上の膜上端よりも高いことを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 請求項1において、
前記上部電極の面積は、前記ギャップ水平面の面積の70%以上であることを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 請求項1において、
前記上部電極は、端部が前記ギャップの端部よりも外側にあることを特徴とする超音波送受信デバイス。 - 請求項1乃至11のいずれかに記載の超音波送受信デバイスを備えた超音波探触子。
- 超音波を送受信する超音波送受信デバイスの製造方法において、
半導体基板上に酸化膜及び下部電極を形成する工程と、
前記酸化膜上にギャップを形成するための犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層の上に第3の絶縁膜を形成する工程と、
前記犠牲層及び前記第3の絶縁膜の上に上部電極を形成する工程と、
前記上部電極の上に第4の絶縁膜を形成する工程と、
前記第3の絶縁膜及び前記第4の絶縁膜に、前記犠牲層まで貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、
前記第4の絶縁膜上に第5の絶縁膜を形成するとともに、前記第5の絶縁膜で前記貫通孔を埋める工程とを有することを特徴とする超音波送受信デバイスの製造方法。 - 請求項13において、
前記第4絶縁膜と、第5絶縁膜は、引張応力の膜と圧縮応力の組み合わせであることを特徴とする超音波送受信デバイスの製造方法。 - 請求項13において、
前記第4絶縁膜と、第5絶縁膜は、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の組み合わせであることを特徴とする超音波送受信デバイスの製造方法。
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010154734A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-07-08 | Canon Inc | 電気機械変換装置およびその製造方法 |
JP2011234061A (ja) * | 2010-04-27 | 2011-11-17 | Canon Inc | 電気機械変換装置及びその製造方法 |
JP2012222514A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | Canon Inc | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP2012222516A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | Canon Inc | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
WO2013122075A1 (ja) | 2012-02-14 | 2013-08-22 | 日立アロカメディカル株式会社 | 超音波探触子及びそれを用いた超音波診断装置 |
JP2014183589A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-29 | Sonosite Inc | 微細加工超音波トランスデューサのための音響レンズ |
JP2016072661A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 日立アロカメディカル株式会社 | 超音波トランスデューサ、その製造方法、超音波トランスデューサアレイ及び超音波検査装置 |
JP2016086441A (ja) * | 2016-01-18 | 2016-05-19 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP2017208845A (ja) * | 2017-07-13 | 2017-11-24 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP2018106048A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 大日本印刷株式会社 | 構造体および構造体を用いた回折格子 |
JP2020136532A (ja) * | 2019-02-21 | 2020-08-31 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8119426B2 (en) * | 2008-06-17 | 2012-02-21 | Hitachi, Ltd. | Method of manufacturing an ultrasonic transducer semiconductor device |
EP2346269B1 (en) * | 2008-11-04 | 2019-02-13 | Olympus Corporation | Acoustic oscillator |
CN101797557A (zh) * | 2010-04-09 | 2010-08-11 | 广州市番禺奥迪威电子有限公司 | 超声波清洗器的换能片 |
KR101793047B1 (ko) | 2010-08-03 | 2017-11-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 디스플레이 및 이의 제조 방법 |
FR2965249B1 (fr) * | 2010-09-28 | 2013-03-15 | Eurocopter France | Systeme de degivrage ameliore pour voilure fixe ou tournante d'un aeronef |
JP5855373B2 (ja) * | 2011-07-11 | 2016-02-09 | オリンパス株式会社 | 超音波エレメントおよび超音波内視鏡 |
WO2013056071A1 (en) | 2011-10-14 | 2013-04-18 | Beam Technologies, Llc | Oral health care implement and system with oximetry sensor |
US9250146B2 (en) * | 2013-02-12 | 2016-02-02 | Western New England University | Multidimensional strain gage |
US9613246B1 (en) | 2014-09-16 | 2017-04-04 | Apple Inc. | Multiple scan element array ultrasonic biometric scanner |
US9952095B1 (en) | 2014-09-29 | 2018-04-24 | Apple Inc. | Methods and systems for modulation and demodulation of optical signals |
US9904836B2 (en) | 2014-09-30 | 2018-02-27 | Apple Inc. | Reducing edge effects within segmented acoustic imaging systems |
US9607203B1 (en) * | 2014-09-30 | 2017-03-28 | Apple Inc. | Biometric sensing device with discrete ultrasonic transducers |
US9747488B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-08-29 | Apple Inc. | Active sensing element for acoustic imaging systems |
US9824254B1 (en) | 2014-09-30 | 2017-11-21 | Apple Inc. | Biometric sensing device with discrete ultrasonic transducers |
US9979955B1 (en) | 2014-09-30 | 2018-05-22 | Apple Inc. | Calibration methods for near-field acoustic imaging systems |
US9984271B1 (en) | 2014-09-30 | 2018-05-29 | Apple Inc. | Ultrasonic fingerprint sensor in display bezel |
US10133904B2 (en) | 2014-09-30 | 2018-11-20 | Apple Inc. | Fully-addressable sensor array for acoustic imaging systems |
US20170370768A1 (en) * | 2015-01-22 | 2017-12-28 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Micro-electro-mechanical-systems based acoustic emission sensors |
US11048902B2 (en) | 2015-08-20 | 2021-06-29 | Appple Inc. | Acoustic imaging system architecture |
US10198610B1 (en) | 2015-09-29 | 2019-02-05 | Apple Inc. | Acoustic pulse coding for imaging of input surfaces |
JP6606034B2 (ja) * | 2016-08-24 | 2019-11-13 | 株式会社日立製作所 | 容量検出型超音波トランスデューサおよびそれを備えた超音波撮像装置 |
US10802651B2 (en) | 2018-01-30 | 2020-10-13 | Apple Inc. | Ultrasonic touch detection through display |
US11950512B2 (en) | 2020-03-23 | 2024-04-02 | Apple Inc. | Thin-film acoustic imaging system for imaging through an exterior surface of an electronic device housing |
WO2022104099A1 (en) * | 2020-11-12 | 2022-05-19 | Jumbe Nelson L | Transducers, their methods of manufacture and uses |
US12000967B2 (en) | 2021-03-31 | 2024-06-04 | Apple Inc. | Regional gain control for segmented thin-film acoustic imaging systems |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005252056A (ja) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Sony Corp | 集積回路装置およびその製造方法 |
WO2005120355A1 (ja) * | 2004-06-07 | 2005-12-22 | Olympus Corporation | 静電容量型超音波トランスデューサ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5160870A (en) * | 1990-06-25 | 1992-11-03 | Carson Paul L | Ultrasonic image sensing array and method |
US5295487A (en) * | 1992-02-12 | 1994-03-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe |
US5619476A (en) * | 1994-10-21 | 1997-04-08 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Jr. Univ. | Electrostatic ultrasonic transducer |
US6271620B1 (en) * | 1999-05-20 | 2001-08-07 | Sen Corporation | Acoustic transducer and method of making the same |
JP2001338978A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-12-07 | Hitachi Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4221638B2 (ja) * | 2001-02-16 | 2009-02-12 | ソニー株式会社 | プリンタヘッドの製造方法及び静電アクチュエータの製造方法 |
US7309948B2 (en) * | 2001-12-05 | 2007-12-18 | Fujifilm Corporation | Ultrasonic transducer and method of manufacturing the same |
US6784600B2 (en) * | 2002-05-01 | 2004-08-31 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Ultrasonic membrane transducer for an ultrasonic diagnostic probe |
US7388318B2 (en) * | 2002-06-20 | 2008-06-17 | Ube Industries, Ltd. | Thin film piezoelectric resonator, thin film piezoelectric device, and manufacturing method thereof |
WO2004012942A1 (en) * | 2002-08-06 | 2004-02-12 | Ricoh Company, Ltd. | Electrostatic actuator formed by a semiconductor manufacturing process |
-
2006
- 2006-03-24 JP JP2006081897A patent/JP4730162B2/ja active Active
-
2007
- 2007-01-23 US US11/657,186 patent/US7667374B2/en active Active
- 2007-01-26 EP EP20070001771 patent/EP1837087A3/en not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005252056A (ja) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Sony Corp | 集積回路装置およびその製造方法 |
WO2005120355A1 (ja) * | 2004-06-07 | 2005-12-22 | Olympus Corporation | 静電容量型超音波トランスデューサ |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010154734A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-07-08 | Canon Inc | 電気機械変換装置およびその製造方法 |
JP2011234061A (ja) * | 2010-04-27 | 2011-11-17 | Canon Inc | 電気機械変換装置及びその製造方法 |
US10189050B2 (en) | 2011-04-06 | 2019-01-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Electromechanical transducer and method of producing the same |
JP2012222514A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | Canon Inc | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP2012222516A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | Canon Inc | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
WO2013122075A1 (ja) | 2012-02-14 | 2013-08-22 | 日立アロカメディカル株式会社 | 超音波探触子及びそれを用いた超音波診断装置 |
JP2013165753A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-29 | Hitachi Aloka Medical Ltd | 超音波探触子及びそれを用いた超音波診断装置 |
US9846145B2 (en) | 2012-02-14 | 2017-12-19 | Hitachi, Ltd. | Ultrasound probe and ultrasound equipment using same |
JP2014183589A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-29 | Sonosite Inc | 微細加工超音波トランスデューサのための音響レンズ |
US10770058B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-09-08 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Acoustic lens for micromachined ultrasound transducers |
US10013969B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-07-03 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Acoustic lens for micromachined ultrasound transducers |
JP2016072661A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 日立アロカメディカル株式会社 | 超音波トランスデューサ、その製造方法、超音波トランスデューサアレイ及び超音波検査装置 |
JP2016086441A (ja) * | 2016-01-18 | 2016-05-19 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP2018106048A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 大日本印刷株式会社 | 構造体および構造体を用いた回折格子 |
JP2017208845A (ja) * | 2017-07-13 | 2017-11-24 | キヤノン株式会社 | 電気機械変換装置及びその作製方法 |
JP2020136532A (ja) * | 2019-02-21 | 2020-08-31 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
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