JP2016049193A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 6
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Images
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014175113A JP6402983B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器 |
| CN201510524464.7A CN105380676B (zh) | 2014-08-29 | 2015-08-24 | 超声波器件及其制造方法、探测器、测量装置、电子设备 |
| US14/839,056 US10085720B2 (en) | 2014-08-29 | 2015-08-28 | Ultrasonic device, method for producing ultrasonic device, ultrasonic probe, ultrasonic measurement apparatus, and electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014175113A JP6402983B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016049193A JP2016049193A (ja) | 2016-04-11 |
| JP2016049193A5 true JP2016049193A5 (enExample) | 2017-08-10 |
| JP6402983B2 JP6402983B2 (ja) | 2018-10-10 |
Family
ID=55401156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014175113A Active JP6402983B2 (ja) | 2014-08-29 | 2014-08-29 | 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10085720B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6402983B2 (enExample) |
| CN (1) | CN105380676B (enExample) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2900479A1 (en) | 2013-02-06 | 2014-08-14 | Sonavation, Inc. | Biometric sensing device for three dimensional imaging of subcutaneous structures embedded within finger tissue |
| JP6402983B2 (ja) * | 2014-08-29 | 2018-10-10 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器 |
| JP6610058B2 (ja) * | 2015-07-29 | 2019-11-27 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、及び電子機器 |
| US10422772B1 (en) | 2015-10-20 | 2019-09-24 | Sonavation, Inc. | Acoustic sensing through a barrier |
| ITUA20163033A1 (it) * | 2016-04-29 | 2017-10-29 | St Microelectronics Srl | Trasduttore acustico integrato con ridotta propagazione di onde acustiche indesiderate |
| US11006925B2 (en) * | 2016-05-30 | 2021-05-18 | Canon Medical Systems Corporation | Probe adapter, ultrasonic probe, and ultrasonic diagnostic apparatus |
| JP6663997B2 (ja) * | 2016-08-04 | 2020-03-13 | オリンパス株式会社 | 超音波振動子モジュールの製造方法および超音波内視鏡 |
| JP6836121B2 (ja) * | 2016-08-19 | 2021-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 実装構造体、超音波デバイス、超音波探触子、超音波装置、電子機器、及び実装構造体の製造方法 |
| JP6834289B2 (ja) * | 2016-09-21 | 2021-02-24 | セイコーエプソン株式会社 | 実装構造体、超音波デバイス、超音波探触子、超音波装置、及び電子機器 |
| US12263041B2 (en) | 2016-09-29 | 2025-04-01 | Exact Imaging Inc. | Signal processing pathway for an ultrasonic imaging device |
| JP2018093380A (ja) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイスの製造方法、超音波プローブの製造方法、電子機器の製造方法及び超音波画像装置の製造方法 |
| JP6753293B2 (ja) * | 2016-12-09 | 2020-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び超音波装置 |
| JP6922300B2 (ja) * | 2017-03-22 | 2021-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイスユニット、超音波探触子、及び超音波装置 |
| JP6829701B2 (ja) * | 2018-03-28 | 2021-02-10 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子およびそれを用いた超音波計測装置 |
| CA3134525A1 (en) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | Exo Imaging, Inc. | Handheld ultrasound imager |
| JP7396071B2 (ja) * | 2020-01-23 | 2023-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス |
| JP2023148289A (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー、及び超音波センサーの製造方法 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH071856B2 (ja) * | 1984-03-13 | 1995-01-11 | 日本電波工業株式会社 | アレー型表面励振型超音波トランスジューサの製造方法 |
| CN101536547B (zh) * | 2006-11-08 | 2013-05-22 | 株式会社日立医药 | 超声波探头及使用了其的超声波诊断装置 |
| WO2009004558A2 (en) | 2007-07-03 | 2009-01-08 | Koninklijke Philips Electronics N. V. | Thin film detector for presence detection |
| JP2013144063A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Olympus Medical Systems Corp | 超音波ユニット、超音波内視鏡、および超音波ユニットの製造方法 |
| JP5990930B2 (ja) * | 2012-02-24 | 2016-09-14 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
| JP5990929B2 (ja) * | 2012-02-24 | 2016-09-14 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
| JP5978649B2 (ja) * | 2012-02-24 | 2016-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブヘッドおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
| DE102012203373A1 (de) * | 2012-03-05 | 2013-09-05 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Schallwandleranordnung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren |
| JP6102075B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2017-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
| JP5900107B2 (ja) | 2012-03-30 | 2016-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
| JP6011235B2 (ja) * | 2012-10-17 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波測定装置、プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置 |
| JP6205704B2 (ja) * | 2012-10-25 | 2017-10-04 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置 |
| JP2014083281A (ja) * | 2012-10-25 | 2014-05-12 | Seiko Epson Corp | 超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び診断装置 |
| JP6189033B2 (ja) * | 2012-12-14 | 2017-08-30 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子の製造方法、超音波探触子、及び超音波診断装置 |
| JP6175780B2 (ja) * | 2013-01-28 | 2017-08-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波プローブ、電子機器および超音波画像装置 |
| JP6175779B2 (ja) * | 2013-01-28 | 2017-08-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波プローブ、電子機器および超音波画像装置 |
| JP6160120B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2017-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、超音波測定装置、ヘッドユニット、プローブ及び超音波画像装置 |
| JP2015023995A (ja) * | 2013-07-26 | 2015-02-05 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波測定装置、超音波ヘッドユニット、超音波プローブ及び超音波画像装置 |
| JP6347180B2 (ja) * | 2014-08-28 | 2018-06-27 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス及び超音波測定装置。 |
| JP6402983B2 (ja) * | 2014-08-29 | 2018-10-10 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器 |
| JP6623596B2 (ja) * | 2015-07-24 | 2019-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波モジュール、電子機器、及び超音波測定装置 |
| JP6597026B2 (ja) * | 2015-07-30 | 2019-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び超音波モジュール |
-
2014
- 2014-08-29 JP JP2014175113A patent/JP6402983B2/ja active Active
-
2015
- 2015-08-24 CN CN201510524464.7A patent/CN105380676B/zh active Active
- 2015-08-28 US US14/839,056 patent/US10085720B2/en active Active
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