JP6011235B2 - 超音波測定装置、プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置 - Google Patents
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Description
図1(A)、図1(B)に本実施形態の超音波測定装置が有する超音波トランスデューサー素子(薄膜圧電型超音波トランスデューサー素子)10の基本的な構成例を示す。本実施形態の超音波トランスデューサー素子10は、振動膜(メンブレン、支持部材)42と、圧電素子部とを有する。圧電素子部は、下部電極(第1電極層)21、圧電体膜(圧電体層)30、上部電極(第2電極層)22を有する。なお、本実施形態の超音波素子10は図1(A)、図1(B)の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
図2に、本実施形態の超音波測定装置301の第1の構成例を示す。超音波測定装置301は、超音波トランスデューサーデバイス200、第1の送信回路510及び第2の送信回路520を含む。超音波トランスデューサーデバイス200は、複数の開口45がアレイ状に配置された基板60、超音波素子アレイ100、第1〜第n(nは2以上の整数)の第1端辺側端子XA1〜XAn、第1〜第nの第2端辺側端子XB1〜XBn及びコモン電圧端子COMを含む。なお、本実施形態の超音波測定装置301は図2の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素に置き換えたり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。
sinθs=c×Δt/d (1)
で与えられる。ここでcは音速、Δtは駆動信号の時間差、dは素子間隔である。
ここでVXは交流成分の電圧振幅、ωは交流成分の角周波数、VDは直流成分の電圧である。
VE2=VDR−VC2=VX×sinωt+VD−VC2 (4)
VE3=VDR−VC3=VX×sinωt+VD−VC3 (5)
VC1>VC2>VC3である場合には、各印加電圧の直流成分は次のような関係になる。
従って、印加電圧VE1、VE2、VE3は、図12に示すように、それぞれの直流成分VD−VC1、VD−VC2、VD−VC3を中心に±VXの範囲で変化する。印加電圧と変位量の関係が非線形であるために、VE1、VE2、VE3に対応する変位量をDX1、DX2、DX3とすると、DX1>DX2>DX3となる。即ち、超音波素子10−1の変位量が最も大きく、超音波素子10−1から超音波素子10−3に向かって変位量が減少する。従って、超音波素子10−1から出射される超音波の強度が最も大きく、超音波素子10−1から超音波素子10−3に向かって、出射される超音波の強度が減少する。その結果、出射される超音波の強度分布のピーク位置をシフトさせることができる。
図14に、本実施形態の電子機器(超音波診断装置)400の基本的な構成例を示す。超音波診断装置400は、超音波プローブ300、超音波診断装置本体401を含む。超音波プローブ300は、プローブヘッド310、処理装置330を含む。超音波診断装置本体401は、制御部410、処理部420、ユーザーインターフェース部(UI部)430、表示部440を含む。
21 第1電極層(下部電極)、22 第2電極層(上部電極)、
30 圧電体膜(圧電体層)、40 空洞領域、45 開口、50 振動膜、
60 基板、100 超音波素子アレイ、130 第1のフレキシブル基板、
140 第2のフレキシブル基板、200 超音波トランスデューサーデバイス、
210 接続部、240 プローブ筐体、250 支持部材、
300 超音波プローブ、301 超音波測定装置、310 プローブヘッド、
320 プローブ本体、330 処理装置、334 送受信制御部、335 受信部、
350 ケーブル、400 電子機器(超音波診断装置)、
401 電子機器本体(超音波診断装置本体)、410 制御部、420 処理部、
421、422 コネクター、425 ヘッドユニット側コネクター、
426 プローブ本体側コネクター、430 ユーザーインターフェース部、
440 表示部、510 第1の送信回路、520 第2の送信回路、
XA1〜XAn 第1端辺側端子、XB1〜XBn 第2端辺側端子、
VTA1〜VTAn 第1の駆動信号、VTB1〜VTBn 第2の駆動信号
Claims (14)
- 超音波素子アレイと、第1の端辺側に設けられる第1の第1端辺側端子〜第n(nは2以上の整数)の第1端辺側端子と、前記第1の端辺に対向する第2の端辺側に設けられる第1の第2端辺側端子〜第nの第2端辺側端子とを有する超音波トランスデューサーデバイスと、
前記第1の第1端辺側端子〜前記第nの第1端辺側端子に対して、第1の駆動信号を出力する第1の送信回路と、
前記第1の第2端辺側端子〜前記第nの第2端辺側端子に対して、第2の駆動信号を出力する第2の送信回路とを含み、
前記第1の駆動信号及び前記第2の駆動信号の少なくとも一方の振幅を可変に設定することを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項1において、
前記第1の送信回路及び前記第2の送信回路の少なくとも一方により、前記第1の駆動信号の振幅と前記第2の駆動信号の振幅との差を変化させることで、前記超音波トランスデューサーデバイスから出射される超音波のビームのスキャン方向に沿った面であるスキャン面の設定位置を変化させることを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項2において、
前記第1の送信回路及び前記第2の送信回路の少なくとも一方は、
前記第1の駆動信号の振幅を前記第2の駆動信号の振幅より大きくすることで、前記スキャン面を第1の設定位置に設定し、
前記第1の駆動信号の振幅を前記第2の駆動信号の振幅より小さくすることで、前記スキャン面を、前記第1の設定位置とは異なる第2の設定位置に設定することを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項3において、
前記第1の送信回路及び前記第2の送信回路の少なくとも一方は、
前記第1の駆動信号の振幅と前記第2の駆動信号の振幅とを同一にすることで、前記スキャン面を前記第1の設定位置と前記第2の設定位置との間の第3の設定位置に設定することを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記第1の送信回路は、位相走査を行うための前記第1の駆動信号を出力し、
前記第2の送信回路は、前記位相走査を行うための前記第2の駆動信号を出力することを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記第1の送信回路は、リニアスキャンを行うための前記第1の駆動信号を出力し、
前記第2の送信回路は、前記リニアスキャンを行うための前記第2の駆動信号を出力することを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記第1の第1端辺側端子〜前記第nの第1端辺側端子に接続される第1のフレキシブル基板と、
前記第1の第2端辺側端子〜前記第nの第2端辺側端子に接続される第2のフレキシブル基板とを含み、
前記第1の送信回路は、前記第1のフレキシブル基板に実装され、
前記第2の送信回路は、前記第2のフレキシブル基板に実装されることを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記超音波素子アレイは、
第1の方向に沿って配置される第1の超音波素子群〜第nの超音波素子群を有し、
前記第1の超音波素子群〜前記第nの超音波素子群のうちの第j(jは1≦j≦nである整数)の超音波素子群の第1端辺側ノードは、前記第1の第1端辺側端子〜前記第nの第1端辺側端子のうちの第jの第1端辺側端子に接続され、
前記第jの超音波素子群の第2端辺側ノードは、前記第1の第2端辺側端子〜前記第nの第2端辺側端子のうちの第jの第2端辺側端子に接続され、
前記第jの超音波素子群は、
複数の超音波素子と、
前記第1の方向に交差する第2の方向に沿って配線され、一端が前記第1端辺側ノードに接続され、他端が前記第2端辺側ノードに接続される駆動電極線とを有し、
前記第jの超音波素子群の前記複数の超音波素子がそれぞれ有する第1の電極は、前記駆動電極線に接続されることを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項8において、
コモン電圧を出力するコモン電圧生成回路を含み、
前記超音波トランスデューサーデバイスは、
第1のコモン電圧端子〜第m(mは2以上の整数)のコモン電圧端子を有し、
前記超音波素子アレイは、
前記第1の方向に沿って配線され、前記第1のコモン電圧端子〜前記第mのコモン電圧端子に接続される第1のコモン電極線〜第mのコモン電極線を有し、
前記第jの超音波素子群の前記複数の超音波素子がそれぞれ有する第2の電極は、前記第1のコモン電極線〜前記第mのコモン電極線のうちのいずれかに接続され、
前記コモン電圧生成回路は、
前記第1のコモン電圧端子〜前記第mのコモン電圧端子に対して、互いに異なる電圧の前記コモン電圧を出力することを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項8又は9において、
前記超音波トランスデューサーデバイスは、
複数の開口がアレイ状に配置された基板を有し、
前記第jの超音波素子群が有する前記複数の超音波素子の各超音波素子は、前記複数の開口の各開口ごとに設けられ、
前記複数の超音波素子の各超音波素子は、
前記開口を塞ぐ振動膜と、
前記振動膜の上に設けられる圧電素子部とを有し、
前記圧電素子部は、
前記振動膜の上に設けられる下部電極と、
前記下部電極の少なくとも一部を覆うように設けられる圧電体膜と、
前記圧電体膜の少なくとも一部を覆うように設けられる上部電極とを有し、
前記第1の電極は、前記上部電極及び前記下部電極のいずれか一方であることを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の超音波測定装置を含むことを特徴とするプローブヘッド。
- 請求項11に記載のプローブヘッドと、
前記超音波測定装置からの信号を処理する処理装置とを含むことを特徴とする超音波プローブ。 - 請求項12に記載の超音波プローブを含むことを特徴とする電子機器。
- 請求項13に記載の超音波プローブと、
表示用画像データを表示する表示部とを含むことを特徴とする超音波診断装置。
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