JP2013532390A - 印刷回路基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明による方法は、絶縁基板を準備するステップ、グレートーンマスクにレーザーを照射して上記絶縁基板の表面をエッチングして回路パターン溝及びビアホールを同時に形成するステップ、そして上記回路パターン溝及び上記ビアホールを埋める埋込回路パターン及びビアを形成するステップを含む。したがって、ビアホールを形成する別途の工程無しでグレートーンのマスクを使用して回路パターン溝とビアホールとを同時に形成することによって、工程が単純化され、費用が低減される。
【選択図】なし
Description
Claims (17)
- 印刷回路基板を製造する方法であって、
絶縁基板を準備するステップと、
マルチトーンマスクまたはグレートーンマスクに光を照射して前記絶縁基板の表面をエッチングし、回路パターン溝及びビアホールを同時に形成するステップと、
前記回路パターン溝及び前記ビアホールを埋めて埋込回路パターン及びビアを形成するステップと、
を含む方法。 - 前記回路パターン溝及びビアホールを形成するステップは、
前記ビアホールに対応する第1マスクパターン、前記回路パターン溝に対応する第2マスクパターン、及び前記第1及び第2マスクパターンの以外の領域に配置された第3マスクパターンを形成するステップと、
前記第1乃至第3マスクパターンを通じて前記レーザーを照射するステップと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記レーザーはエキシマレーザーである、請求項1に記載の方法。
- 前記第1マスクパターンは前記レーザーを全部貫通させるホール領域を含み、
前記第3マスクパターンは前記レーザーを遮断する不透過領域であり、
前記第2マスクパターンは前記レーザーを選択的に透過する低透過領域である、請求項2に記載の方法。 - 前記ビアホールは、前記ホール領域に対応する中央領域及び前記中央領域を囲む外周領域を含み、
前記第1マスクパターンは、前記ホール領域の周囲に前記レーザーを選択的に透過する外周マスクパターンをさらに含む、請求項4に記載の方法。 - 前記外周マスクパターンは、前記ホール領域周囲の複数の同心円をなすリング型の低透過パターンを含む、請求項5に記載の方法。
- 前記エキシマレーザーのソースとして、XeCl、KrF、及びArFのうち1つが用いられる、請求項3に記載の方法。
- 前記マルチトーンマスクは、
石英またはガラス材質のベース透明基板と、
前記ベース透明基板の上に形成され、クロム及び酸化クロムのうち、1つ以上の物質で形成された複数の光透過部と、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記回路パターン溝及びビアホールを形成するステップは、
前記レーザーを用いてエッジを有する前記回路パターン溝を形成するステップと、
前記回路パターン溝をエッチングして断面が曲線型である回路パターンを形成するステップと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記埋込回路パターンを形成するステップは、
前記回路パターン溝の表面に第1金属層をめっきするステップと、
前記第1金属層をシード層としてめっきして、前記回路パターン溝を埋める第2金属層を形成するステップと、
前記絶縁基板の表面が露出するように前記回路パターン溝の以外の前記第1及び第2金属層をエッチングするステップと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記埋込回路パターンを形成するステップは、
前記回路パターン溝に伝導性ペーストを充填するステップと、
充填された前記伝導性ペーストを乾燥させるステップと、
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記絶縁基板を準備するステップは、
絶縁プレートを準備するステップと、
前記絶縁プレートの上に銅箔層をパターニングして基礎回路パターンを形成するステップと、
前記基礎回路パターンを覆って、前記絶縁プレートの上に絶縁層を形成するステップと、を含み、
前記回路パターン溝は前記絶縁層の表面に形成される、請求項1に記載の方法。 - 前記絶縁層を形成した後、前記基礎回路パターンを露出させる前記ビアホールを前記絶縁層に形成する、請求項12に記載の方法。
- 絶縁プレートと、
前記絶縁プレートの上にパターニングされている基礎回路パターンと、
前記基礎回路パターンを覆って、前記絶縁プレートの上に形成され、断面が曲線で形成されている複数の回路パターン溝及び前記基礎回路パターンを露出させるビアホールが表面に形成されている絶縁層と、
前記絶縁層の前記回路パターン溝を埋め、断面が曲線を有するように形成される複数の埋込回路パターンと、
前記ビアホールを埋める伝導性ビアと、
を含む、印刷回路基板。 - 前記埋込回路パターンは、前記回路パターン溝の表面に形成されている第1金属層と、
前記第1金属層の上に形成され、前記回路パターン溝を埋める第2金属層と、
を含む、請求項14に記載の印刷回路基板。 - 前記ビアホールは、前記ビアホールの周りの外部に拡張される外周溝をさらに含む、請求項14に記載の印刷回路基板。
- 前記ビアホールの外周溝は前記回路パターン溝と同一の深さを有する、請求項16に記載の印刷回路基板。
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