JP2013219332A - ヘテロエピタキシャルpn接合酸化物薄膜を有する積層薄膜 - Google Patents
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Abstract
ヘテロPN接合の様に、結晶成長技術により、異種半導体を原子層レベルの急激な組成変化を示す界面で接合し、その半導体層の結晶性を良好なまま積層する手段を提案する。
【解決手段】
単結晶基板2上に形成されたPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜であって、前記PN接合酸化物薄膜におけるN型半導体酸化物薄膜6及びP型半導体酸化物薄膜7が(00k)で表されるC軸配向にエピタキシャル成長した、ヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜1による。
【選択図】図1
Description
本実施の形態で用いる基板は、C軸配向エピタキシャル成長を促進する観点からSi、MgO、SrTiO3、LiNbO3から選択することが好ましい。更にC軸配向の結晶性を向上するために、Si(100)単結晶表面を有する基板が最も好ましい。Si単結晶基板を用いる場合、基板と積層薄膜とは、それぞれの面内に存在する軸同士も平行となる。基板の形状、厚み、不純物ドープ量などは特に限定されない。
バッファ層は、下部金属薄膜5と基板との間に設けられる。なお、バッファ層は、絶縁体としても機能する。
以下、製造方法の具体例として、安定化ジルコニアからなるバッファ層の形成について説明する。
本実施の形態の積層薄膜を電子デバイスの構成要素として利用する場合、下部金属薄膜5は主に電極として機能する。本発明においては、下部金属薄膜5の積層条件において、単結晶膜となり得る成膜温度や成膜圧力が満たされていれば、成膜方法は、PVD方式による、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、分子線エピタキシー法、イオンプレーティング、イオンビームデポジション、スパッタリングや、CVD方式による熱CVD、光CVD、プラズマCVD、エピタキシャルCVD、アトミックレイヤーCVD、MO−CVDでも可能である。
下部金属薄膜5は、単結晶膜となり得る成膜温度や成膜圧力が満たされていれば、成膜方法は問わないが、蒸着法とスパッタ法を併用すると効率的である。蒸着法・スパッタ法時の基板温度は500〜750℃とすることが好ましい。基板温度が低すぎると結晶性の高い膜が得られにくく、基板温度が高すぎると膜の表面の凹凸が大きくなりやすい。
N型半導体酸化物薄膜6は、下部金属薄膜5とP型半導体酸化物薄膜7との間に設けられる。N型半導体酸化物薄膜6は、上層に積層されるP型半導体酸化物薄膜7の結晶の格子定数値と下層に積層されている下部金属薄膜5の結晶の格子定数値の中間値に近いペロブスカイト型化合物を選択することが望ましい。ペロブスカイト構造とは、一般式RMO3で表され、立方晶系の単位格子をもち、立方晶の各頂点に金属Rが、体心に金属Mが、そして金属Mを中心として酸素Oは立方晶の各面心に配置している。酸素と金属Mから成る MO6 八面体の向きは、金属Rとの相互作用により容易に歪み、対称性の低い斜方晶や正方晶に相転移しその特性を変化させる。
N型半導体酸化物薄膜6は、各種PVD法により形成することが好ましいが、各種CVD法等を用いることもできる。PVD法の例としては、平行平板型RFマグネトロンスパッタ法を用いることもできる。成膜時は、プラズマダメージを回避するため、基板ステージの電位を調整することが好ましい。スパッタ時の基板温度は400℃〜750℃とするのが好ましく、基板温度が低すぎると結晶性の高い膜が得られにくく、基板温度が高すぎるとエピタキシャル膜となっても表面の凹凸が大きくなりやすく、上層に積むP型半導体酸化物薄膜7の面内面方位も単結晶基板2の面方位と合わせることが難しくなる。
P型半導体酸化物薄膜7は、N型半導体酸化物薄膜6の上層に積層されヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を形成する。このヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜は、機能積層膜として諸特性を持ち合わせ、ヘテロエピタキシャルPN接合酸化積層物薄膜を使用したデバイスのデバイス特性を意味付ける特性の根幹膜である。本実施の形態に関しての実施例としては、SnO、NiO、Cu2Oを挙げているが、それぞれ面心立法格子構造であり、バンドギャップが2.0V〜4.0V程度のP型半導体酸化物薄膜7を選択し形成を行ったものである。本実施例では、C軸配向にエピタキシャル成長するN型半導体酸化物薄膜6上にP型半導体酸化物薄膜7をC軸配向にエピタキシャル成長させへテロエピタキシャルPN接合酸化物積層膜を実現させている。それぞれ格子定数も違うP型半導体金属酸化物薄膜の材料での確認結果より、面心立方格子構造のP型半導体酸化物薄膜7の材料にて応用可能である。
P型半導体酸化物薄膜7は、各種PVD法により形成することが好ましいが、各種CVD法を用いることもできる。PVD法としては、PVD法の例としては、平行平板型RFマグネトロンスパッタ法を用いることもできる。成膜時は、プラズマダメージを回避するため、基板ステージの電位を調整することが好ましい。スパッタ時の基板温度は400℃〜900℃とするのが好ましく、基板温度が低すぎると結晶性の高い膜が得られにくく、基板温度が高すぎると膜の表面の凹凸が大きくなりやすい。
上部金属薄膜8は、下部金属薄膜5同様の形成方法を行うことで同様の効果が得られるが、ただ電極としての用途のみに使用するのであれば、各種PVD法、CVD法により常温成膜形成することも可能である。
P型半導体酸化物薄膜7、N型半導体酸化物薄膜6、上部金属薄膜8、下部金属薄膜5、及びバッファ層の結晶性は、X線回折における反射ピークのロッキングカーブの半値幅や、反射高速電子線回折像のパターンで評価することができる。また、表面性は、原子間力顕微鏡及び走査型電子顕微鏡で評価することができる。
本実施の形態により、基板を単結晶とし、積層薄膜にヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を用い、エピキタキシャル成長させ、X線回折による測定にて、PN接合積層されるN型及びP型酸化膜の積層膜の配向面の反射最大ピーク強度に対して、前記反射ピーク以外のピーク強度が10%以下となることを可能とし、また、機能膜の面内面方位が、単結晶基板2の面内面方位に対して1°以内にすることを可能とした。その結果、物性上及び成膜後のばらつきが減少することにより、結果として従来と比較しP型半導体酸化物薄膜7の諸特性及びその再現性向上、積層薄膜間の面内面方位の差異による弾性率の安定性、積層薄膜間の密着性等の信頼性の向上が見込まれる。
Si(100)単結晶基板上に、ZrO2薄膜、Y2O3薄膜、Pt薄膜、SrTi80Nb20O3薄膜、Ni90Li10O薄膜がこの順で積層された積層薄膜を、以下の手順で形成した。
前記実施例1において、SrTi80Nb20O3(001)からなるN型半導体酸化物薄膜上にCu2Oを50nmの厚さに形成して、Cu2O(001)/SrTi80Nb20O3(001)/Pt(001)/Y2O3(100)/ZrO2(001)/Si(100)の積層薄膜を得た。ただし、SrTi80Nb20O3、Cu2O、形成時の基板温度は、400〜900℃で行った。積層薄膜を図2に示す様なX線回折装置を使用しθ/2θ法を用いてX線回折測定を行った。積層薄膜のX線回折データを、それぞれ図7および表6に示す。X線回折よりSrTi80Nb20O3及びCu2O薄膜はC軸単一配向膜であることがわかる。
前記実施例1において、Pt(001)からなる金属薄膜上にN型酸化膜半導体としてCaMn95Zn5O3、を50nmの厚さに形成して、更にその上層にSnO(001)を50nmの厚さに形成し、SnO(001)/CaMn95Zn5O3(001)/Pt(001)/Y2O3(100)/ZrO2(001)/Si(100)の積層薄膜を得た。ただし、CaMn95Zn5O3、SnO形成時の基板温度は、400〜900℃で行った。積層薄膜を図2に示す様なX線回折装置を使用しθ/2θ法を用いてX線回折測定を行った。積層薄膜のX線回折データを、それぞれ図9及び表7に示す。X線回折よりCaMn95Zn5O3及びSnO薄膜はC軸単一配向膜であることがわかる。
前記実施例1、3でSi(100)単結晶基板上に、ZrO2薄膜、Y2O3薄膜、Pt薄膜、N型酸化膜半導体、それぞれ、SrTi80Nb20O3とCaMn95Zn5O3、まで成膜したSi単結晶基板上の積層薄膜上に接着樹脂膜をスピンコートにより塗布する。
前記実施例1、3でSi(100)単結晶基板上に、ZrO2薄膜、Y2O3薄膜、Pt薄膜、N型酸化膜半導体、P型半導体、それぞれNi90Li10O、Cu2O、SnO、まで成膜したSi単結晶基板上の積層薄膜上に接着樹脂膜をスピンコートにより塗布する。
2,21,37 単結晶基板
3,22,36 バッファ層A
4,23,35 バッファ層B
5,24,34 下部金属薄膜
6,25,33 N型半導体酸化物薄膜
7,26,32 P型半導体酸化物薄膜
8,27 上部金属薄膜
10 単結晶基板上積層薄膜試料
11 入射X線
12 面内回転軸
13 回折X線
14 回折ピーク検出角度θχ
15 面内回転軸を面内回転動作させた角度φ
16 アウトオブプレーン検出器
17 インプレーン検出器
20 実施例におけるN型半導体酸化物/P型半導体酸化物接合ダイオードの素子構造を示す模式図
30 アルミナ基板
31 接着層
38 蒸着電極
Claims (9)
- 単結晶基板上に形成されたPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜であって、前記PN接合酸化物薄膜におけるN型半導体酸化物薄膜及びP型半導体酸化物薄膜が(00k)で表されるC軸配向にエピタキシャル成長していることを特徴とするヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜。
- 前記ヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜は、単層もしくは複数層から成り、前記ヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜の下地膜であって、エピタキシャル成長した、ZrO2及びY2O3を含むバッファー層を備え、前記ヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜と前記バッファー層の間に形成され、エピタキシャル成長した、Pt、Ir、Pd、Ru、Rhの少なくとも1種を含有する金属薄膜を備えていることを特徴とする請求項1に記載のヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜。
- 前記N型半導体酸化物薄膜は、一般式RMO3で表されるペロブスカイト型化合物であってR及びM以外の金属Dをドープし、R(Mx,Dy)O3もしくは(Rx,Dy)MO3で表されるドープ処理ペロブスカイト型化合物であり、金属Dのドープ量を、x+y=1、0.03≦y≦0.3とすることで、前記N型半導体酸化物薄膜上に成膜されるP型半導体酸化物薄膜を(00k)で表されるC軸配向にエピタキシャル成長させる様に制御されたことを特徴とする請求項1から2に記載のヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜。
- 前記一般式RMO3で表されるペロブスカイト型化合物にR及びM以外の金属DをドープしR(Mx,Dy)O3もしくは(Rx,Dy)MO3で表されるドープ処理ペロブスカイト型化合物において、RはBa、Ca、Fe、K、La、Li、Mg、Mn、Na、Sr及びZnからなる群より選択され、MはCo、Fe、Hf、La、Mn、Nb、Ni、Si、Sn、Ta、Ti及びZrからなる群より選択され、Dは、Al、Ba、Ca、Ce、Co、Cr、Fe、Hf、K、La、Mg、Mn、Na、Nb、Ni、Sn、Sr、V、Y、Zn及びZrからなる群より選択されることを特徴とする請求項1から3に記載のヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜。
- 前記P型半導体酸化物薄膜は、SnO、NiO、Cu2O、からなる群より選択されることを特徴とする請求項1から4に記載のヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜。
- 前記ヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜において、N型半導体酸化物薄膜及びP型半導体酸化物薄膜の積層薄膜の配向面のX線回折により(00k)で表されるC軸配向の反射ピーク強度の最高強度に対して、C軸配向以外の反射ピーク強度が10%以下であることを特徴とする請求項1から5に記載のヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜。
- 前記ヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜において、N型半導体酸化物薄膜及びP型半導体酸化物薄膜の少なくとも一方が、X線回折により測定される(00k)で表されるC軸配向面をロッキングカーブ評価した時の半値幅の最低値が0.8°以内であることを特徴とする請求項1から6に記載のヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜。
- 前記単結晶基板の面内面方位と前記N型半導体酸化物薄膜の面内面方位及び、前記P型半導体酸化物薄膜の面内面方位の回転角の差異が1°以内であることを特徴とする請求項1から7に記載のヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜。
- 前記単結晶基板は、Si、MgO、SrTiO3、LiNbO3からなる群より選択されることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のヘテロエピタキシャルPN接合酸化物薄膜を有する積層薄膜。
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