JPWO2017221863A1 - Iii族窒化物積層体、及び該積層体を備えた縦型半導体デバイス - Google Patents
Iii族窒化物積層体、及び該積層体を備えた縦型半導体デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2017221863A1 JPWO2017221863A1 JP2018524067A JP2018524067A JPWO2017221863A1 JP WO2017221863 A1 JPWO2017221863 A1 JP WO2017221863A1 JP 2018524067 A JP2018524067 A JP 2018524067A JP 2018524067 A JP2018524067 A JP 2018524067A JP WO2017221863 A1 JPWO2017221863 A1 JP WO2017221863A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type
- contact layer
- layer
- group iii
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
- C30B29/406—Gallium nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/18—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
- C30B25/186—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate being specially pre-treated by, e.g. chemical or physical means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
- H01L33/0075—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds comprising nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system containing nitrogen
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system containing nitrogen
- H01L33/325—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system containing nitrogen characterised by the doping materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0016—Processes relating to electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/40—Materials therefor
Abstract
Description
本発明における単結晶n型AlXGa1-XN(0.7≦X≦1.0)は、単結晶からなるn型半導体である。
本発明のn型コンタクト層は、n型AlXGa1-XN(0.7≦X≦1.0)上に直接形成された(AlYGa1-Y)2O3(0.0≦Y<0.3)からなる層である。一般的に、ZnOやGa2O3(本発明のn型コンタクト層におけるY=0のn型コンタクト層に相当)などの酸化物半導体は、半導体層中に形成される酸素欠陥によって弱いn型導電性を示し、ドナー不純物をドーピングすることによってn型導電性が向上することが知られている。本発明のn型コンタクト層では、ドナー不純物としてSiもしくはSnから選ばれる少なくとも一種のn型ドーパントを、n型コンタクト層中に1018〜1021cm-3の範囲で含んでいることが好ましく、さらに好ましくは1019〜5×1020cm-3である。n型コンタクト層中の不純物濃度は、n型AlXGa1-XN(0.7≦X≦1.0)と同様にSIMSなどの公知の技術によって測定することができる。
本発明において、電極は、n型コンタクト層との電極抵抗を低減できる材料であれば、公知の材料を制限なく使用することができる。例えば、特開2015−002293に記載されたような、Au、Al、Ti、Sn、Ge、In、Ni、Co、Pt、W、Mo、Cr、Cu、Pb等の金属、これらの金属のうちの2つ以上を含む合金、又はITO等の導電性化合物や、異なる2つの金属からなる2層構造(例えばTi/Al、Ti/Au、Ti/Pt、Al/Au、Ni/Au、Au/Ni)を用いることができる。このような電極は、真空蒸着法、スパッタリング法などの、公知の薄膜形成手法によって形成することができる。これらの電極は、n型コンタクト層との電極抵抗を低減させる目的で、電極形成後にアニール処理を行うことが好ましい。アニール処理の雰囲気、温度は特に限定されるものではないが、例えば、特開2015−002293に記載されているように、窒素雰囲気下で500℃程度とすればよい。
以下、本発明のIII族窒化物積層体を備えた縦型半導体デバイスについて図を用いて説明する。図1は、本発明のIII族窒化物積層体を備えたフリップチップ型の発光ダイオードの模式断面図を示す。また、図2は、本発明のIII族窒化物積層体を備えた縦型発光ダイオードの模式断面図を示す。
PVT法により作製されたφ23mmのC面AlN単結晶基板を準備した。このAlN種基板は、オフ角度は0.05〜0.5°であり、転位密度は104cm-2以下である。
実施例1のトリメチルガリウム流量を11μmol/minに変更し、n型Al0.8Ga0.2N層(n型AlXGa1-XN層)を1.0μm形成した以外は、実施例1と同様のプロセスで、n型コンタクト層および電極を形成した。n型Al0.8Ga0.2N層中のSi濃度およびエッチピット密度は実施例1と同等であった。また、n型Al0.8Ga0.2N層の電子濃度および比抵抗は、それぞれ2×1018cm-3、0.07Ωcmであった。また、測定電圧−20〜20Vの範囲で電極間の電流―電圧測定を行って見積もられたショットキーバリアは0.1V以下であった。
実施例1で得られたn型Al0.9Ga0.1N層(n型AlXGa1-XN層)が形成された7×7mmの基板の二つを、HVPE装置のサセプター上に設置した。850℃に加熱した金属Gaと塩素ガスを反応させることによって得られる塩化ガリウムガス(供給分圧9×10-4atm)、550℃に加熱した金属Alと塩化水素ガスを反応させることによって得られる塩化アルミニウムガス(供給分圧8×10-5atm)、酸素(供給分圧5×10-3atm)、四塩化ケイ素ガス(供給分圧1×10-6atm)を、窒素キャリアガスとともに、1000℃に加熱した基板上に供給し、n型Al0.9Ga0.1N層上にSiをドーピングした(AlYGa1-Y)2O3(n型コンタクト層)を形成した。n型コンタクト層が形成された基板の一つについて、XRDω−2θ測定を行った。その結果、n型コンタクト層が(−201)面に配向したベータ型(Al0.1Ga0.9)2O3単結晶層(Y=0.1)であることを確認した。さらに、同じ基板を使用してSIMS分析を行った結果、n型コンタクト層中のSi濃度は3×1019cm-3であった。
実施例1と同様のPVT法により作製されたC面AlN単結晶基板を準備した。このAlN基板をHVPE装置内のサセプター上に設置した後、HVPE装置内の圧力を750Torrとし、水素、窒素の混合キャリアガス雰囲気下で、種基板を1450℃に加熱した。この際、全キャリアガス流量(10slm)に対して0.5体積%になるようにアンモニアガスを供給した。次いで、450℃に加熱した金属Alと塩化水素ガスを反応させることによって得られる塩化アルミニウムガスを全キャリアガス供給量に対して0.05体積%になるように供給し、種基板上にn型AlN層を330μm形成した。この際、サセプター上に石英片(□3mm×厚み1mm)を5個設置し、成長時に起こる石英の反応・分解現象を利用して、AlN層中にSiをドーピングした。
実施例1で7×7mmに切断した基板の一つについて、ホール効果測定用サンプルと同手順で、n型Al0.9Ga0.1N層上に複数の300×300μmの電極を形成した。測定電圧−20〜20Vの範囲で電極間の電流―電圧測定を行った結果、ショットキーバリア高さは1.8Vであった。
実施例2で7×7mmに切断した基板の一つについて、ホール効果測定用サンプルと同手順で、n型Al0.8Ga0.2N層上に複数の300×300μmの電極を形成した。測定電圧−20〜20Vの範囲で電極間の電流―電圧測定を行った結果、ショットキーバリア高さは0.8Vであった。
実施例2の塩化アルミニウムガスの供給分圧を1×10-3atmとした以外は、実施例2と同様にして、n型Al0.9Ga0.1N層上にn型コンタクト層を形成した。n型コンタクト層が形成された基板の一つについて、XRDω−2θ測定を行った。その結果、n型コンタクト層が(−201)面に配向したベータ型(Al0.4Ga0.6)2O3単結晶層(Y=0.4)であることを確認した。さらに、同じ基板を使用してSIMS分析を行った結果、n型コンタクト層中のSi濃度は5×1019cm-3であった。
実施例4で得られたn型AlN基板の窒素極性面上に、実施例1の、ホール効果測定用サンプルと同手順で、複数の300×300μmの電極を形成した。測定電圧−20〜20Vの範囲で電極間の電流―電圧測定を行った結果、ショットキーバリア高さは8.2Vであった。
実施例1で7×7mmに切断した基板の一つを用いて、四塩化ケイ素ガスの供給分圧を1×10-8atmに変更した以外は、実施例1と同様にしてn型Al0.9Ga0.1N層上にSiをドーピングしたGa2O3(n型コンタクト層)を形成した。n型コンタクト層が形成された基板の一つについて、XRDω−2θ測定を行った。SIMS分析を行った結果、n型コンタクト層中のSi濃度は9×1016cm-3であった。実施例1と同手順で、複数の300×300μmの電極を形成した。測定電圧−20〜20Vの範囲で電極間の電流―電圧測定を行った結果、ショットキーバリア高さは1.3Vであった。
Claims (9)
- 単結晶n型AlxGa1-xN(0.7≦X≦1.0)と、電極を備えたIII族窒化物積層体であって、単結晶n型AlxGa1-xN(0.7≦X≦1.0)と電極との間に、(AlYGa1-Y)2O3(0.0≦Y<0.3)からなるn型コンタクト層が設けられたことを特徴とするIII族窒化物積層体。
- 前記n型コンタクト層が、Si、Snから選ばれる少なくとも一種のn型ドーパントを含み、該n型ドーパント濃度が1018〜1021cm-3であることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物積層体。
- 前記n型コンタクト層が、単結晶もしくは多結晶であることを特徴とする請求項1又は2に記載のIII族窒化物積層体。
- 前記単結晶n型AlXGa1-XN(0.7≦X≦1.0)がn型AlNであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のIII族窒化物積層体。
- 前記電極が形成される単結晶n型AlXGa1-XN(0.7≦X≦1.0)表面が窒素極性面であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のIII族窒化物積層体。
- 請求項5に記載のIII族窒化物積層体を備えた縦型半導体デバイス。
- 単結晶n型AlxGa1-xN(0.7≦X≦1.0)上に、(AlYGa1-Y)2O3(0.0≦Y<0.3)からなるn型コンタクト層を形成し、該n型コンタクト層上に電極を形成することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のIII族窒化物積層体および縦型半導体デバイスの製造方法。
- 前記n型コンタクト層を、単結晶n型AlXGa1-XN(0.7≦X≦1.0)の窒素極性面上に形成することを特徴とする請求項7に記載のIII族窒化物積層体および縦型半導体デバイスの製造方法。
- 前記n型コンタクト層をハイドライド気層成長法によって形成することを特徴とした、請求項7に記載のIII族窒化物積層体および縦型半導体デバイスの製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016125477 | 2016-06-24 | ||
JP2016125477 | 2016-06-24 | ||
PCT/JP2017/022454 WO2017221863A1 (ja) | 2016-06-24 | 2017-06-19 | Iii族窒化物積層体、及び該積層体を備えた縦型半導体デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017221863A1 true JPWO2017221863A1 (ja) | 2019-04-11 |
JP6934473B2 JP6934473B2 (ja) | 2021-09-15 |
Family
ID=60784300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018524067A Active JP6934473B2 (ja) | 2016-06-24 | 2017-06-19 | Iii族窒化物半導体発光素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10731274B2 (ja) |
JP (1) | JP6934473B2 (ja) |
WO (1) | WO2017221863A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019110168A (ja) | 2017-12-15 | 2019-07-04 | スタンレー電気株式会社 | 光半導体素子 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004179365A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2006261358A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 半導体発光素子 |
JP2007234902A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Toyoda Gosei Co Ltd | 発光素子およびその製造方法 |
WO2008096884A1 (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-14 | National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology | n型導電性窒化アルミニウム半導体結晶及びその製造方法 |
WO2009090821A1 (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-23 | National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology | Al系III族窒化物単結晶層を有する積層体の製造方法、該製法で製造される積層体、該積層体を用いたAl系III族窒化物単結晶基板の製造方法、および、窒化アルミニウム単結晶基板 |
JP2011082570A (ja) * | 2011-01-11 | 2011-04-21 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
WO2012137781A1 (ja) * | 2011-04-08 | 2012-10-11 | 株式会社タムラ製作所 | 半導体積層体及びその製造方法、並びに半導体素子 |
JP2016082200A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | 株式会社タムラ製作所 | 結晶積層構造体及びその製造方法、並びに半導体素子 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5159040B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2013-03-06 | 株式会社光波 | 低温成長バッファ層の形成方法および発光素子の製造方法 |
US20070134833A1 (en) | 2005-12-14 | 2007-06-14 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Semiconductor element and method of making same |
JP5352248B2 (ja) | 2009-01-09 | 2013-11-27 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
JP5415806B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2014-02-12 | 古河電気工業株式会社 | 電界効果トランジスタ |
JP5313816B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2013-10-09 | 住友電気工業株式会社 | 窒化物系半導体素子、及び窒化物系半導体素子を作製する方法 |
CN102687247B (zh) | 2009-12-22 | 2015-01-07 | 株式会社德山 | Ⅲ族氮化物半导体的n型接触电极及其形成方法 |
JP5594530B2 (ja) | 2010-10-21 | 2014-09-24 | 創光科学株式会社 | 窒化物半導体紫外線発光素子 |
JP2017157725A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 株式会社タムラ製作所 | 窒化物半導体テンプレート及びその製造方法、並びに紫外線led |
-
2017
- 2017-06-19 JP JP2018524067A patent/JP6934473B2/ja active Active
- 2017-06-19 US US16/312,885 patent/US10731274B2/en active Active
- 2017-06-19 WO PCT/JP2017/022454 patent/WO2017221863A1/ja active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004179365A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2006261358A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 半導体発光素子 |
JP2007234902A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Toyoda Gosei Co Ltd | 発光素子およびその製造方法 |
WO2008096884A1 (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-14 | National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology | n型導電性窒化アルミニウム半導体結晶及びその製造方法 |
WO2009090821A1 (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-23 | National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology | Al系III族窒化物単結晶層を有する積層体の製造方法、該製法で製造される積層体、該積層体を用いたAl系III族窒化物単結晶基板の製造方法、および、窒化アルミニウム単結晶基板 |
JP2011082570A (ja) * | 2011-01-11 | 2011-04-21 | Showa Denko Kk | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
WO2012137781A1 (ja) * | 2011-04-08 | 2012-10-11 | 株式会社タムラ製作所 | 半導体積層体及びその製造方法、並びに半導体素子 |
JP2016082200A (ja) * | 2014-10-22 | 2016-05-16 | 株式会社タムラ製作所 | 結晶積層構造体及びその製造方法、並びに半導体素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190323146A1 (en) | 2019-10-24 |
US10731274B2 (en) | 2020-08-04 |
JP6934473B2 (ja) | 2021-09-15 |
WO2017221863A1 (ja) | 2017-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8853828B2 (en) | Epitaxial substrate for semiconductor device, method for manufacturing epitaxial substrate for semiconductor device, and semiconductor device | |
JP5818853B2 (ja) | n型窒化アルミニウム単結晶基板を用いた縦型窒化物半導体デバイス | |
TWI447959B (zh) | 製造氮化物半導體晶體層的方法 | |
CN102484180B (zh) | 氮化镓系化合物半导体发光元件 | |
US10644199B2 (en) | Group III nitride stacked body, and semiconductor device having the stacked body | |
JP6242941B2 (ja) | Iii族窒化物半導体及びその製造方法 | |
JP2017506434A (ja) | オプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法及びオプトエレクトロニクス半導体チップ | |
TW201539739A (zh) | 氮化物半導體元件與氮化物半導體晶圓 | |
US20150084163A1 (en) | Epitaxial substrate, semiconductor device, and method for manufacturing semiconductor device | |
US10297721B2 (en) | Multistep deposition of zinc oxide on gallium nitride | |
JP5507234B2 (ja) | ZnO系半導体装置及びその製造方法 | |
JP2010040692A (ja) | 窒化物系半導体素子及びその製造方法 | |
JPWO2008117750A1 (ja) | P型iii族窒化物半導体およびiii族窒化物半導体素子 | |
KR20170038801A (ko) | n형 질화 알루미늄 단결정 기판 | |
WO2017221863A1 (ja) | Iii族窒化物積層体、及び該積層体を備えた縦型半導体デバイス | |
US9312436B2 (en) | Nitride semiconductor device, nitride semiconductor wafer, and method for manufacturing nitride semiconductor layer | |
EP2797108A1 (en) | Nitride semiconductor substrate | |
JP2014192246A (ja) | 半導体基板およびそれを用いた半導体素子 | |
CN110050330A (zh) | Iii族氮化物半导体 | |
WO2016002801A1 (ja) | 半導体積層構造体及び半導体素子 | |
JP4987240B2 (ja) | 化合物半導体素子、化合物半導体素子の製造方法、ダイオード素子 | |
TW202248472A (zh) | 積層膜結構體及其製造方法、半導體元件以及電子設備 | |
JPWO2014136749A1 (ja) | 窒化物半導体結晶の作製方法 | |
JP2013069722A (ja) | ZnO系化合物半導体素子 | |
JP2016164905A (ja) | p型GaN層の製造方法、及び該製造方法を利用した半導体デバイスの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210323 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210514 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210810 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210823 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6934473 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |